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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 ])nPPf  
    9T*v9d  
    任务/系统说明 U4b0*`o  
    s;6CExH  
    Qx+%"YO  
    x;8A!8w  
    亮点 H{=21\a\  
    !lj| cT9  
    <c2'0I >  
    Z7=`VNHc  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) lLF-{  
     严格分析光栅衍射效率 _t Yx~J2.Q  
     考虑入射光的方向分布 1*@'-mj  
    n:{qC{D-qS  
    说明:光源 U 15H2-`  
    z{o' G3  
    _t^{a]/H  
    oyYR-4m\  
    说明:光束分束器 `wDl<[V  
    Yi$vg  
    3ZXQoC '  
    EV*IoE$W]=  
    说明:检测透镜系统 ;{KV /<3  
    sXD1C2o  
    V;,{}  
    ~wkj&yVT  
    说明:微型晶片 Y7*U:I+N  
    v~@pMA$(h  
    !'cl"\h  
    Z2'Bk2 L  
    说明:检测物镜 @tZ&2RY1  
    (q(~de  
    .O0 +H+  
    4UW_Do  
    说明:探测器 MM x9(`t*.  
    &L,nqc\3D5  
    4}eepJOn  
    nv~%#|v_W  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 6er-{.L=  
    B(n{e53 9f  
    CTZh0 x  
     y"H*%]  
    结果:3D光线追迹(所有级) +h r@#n4A  
    /XzH?n/{R  
    W8KDX_vGJ  
    )~HUo9K9  
    结果:光线追迹 6y9t(m  
    4Dw@r{  
    4DL)rkO  
    2gCX}4^3b  
    结果:场追迹 {ZI)nQ{  
    *rIk:FehLB  
    !>zo _fP  
    ! 3 f?:M  
    结果:线性偏振光的场追迹 q@nP}Pv&5  
    JU^lyi!  
    _YLfL  
    c0;t4( &8  
    文档和技术信息 Q=/</|  
    `O[};3O&  
    y*tZ !m2Gg  
    |ayVjqJ*  
    oBzfbg8p  
    QQ:2987619807 {:]9Q Tq  
     
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