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成像系统>包括光栅 ])nPPf 9T*v9d 任务/系统说明 U4b0*` o s;6CExH Qx+%"YO x;8A!8w 亮点 H{=21\a\ !lj| cT9
<c2'0I > Z7= `VNHc 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) lLF-{ 严格分析光栅衍射效率 _tYx~J2.Q 考虑入射光的方向分布 1*@'-mj n:{qC{D-qS 说明:光源 U
15H2-` z{o'
G3 _t^{a]/H oyYR-4m\ 说明:光束分束器 `wDl<[V Yi$vg 3ZXQoC ' EV*IoE$W]= 说明:检测透镜系统 ;{KV /<3 sXD1C2o V;,{} ~wkj&yVT 说明:微型晶片 Y7*U:I+N v~@pMA$(h !'cl"\h Z2'Bk2 L 说明:检测物镜 @tZ&2RY1
(q(~de .O0+H+ 4UW_Do 说明:探测器 MMx9(`t*. &L,nqc\3D5 4}eepJOn nv~%#|v_W 结果:3D光线追迹(只有0级) 6er-{.L= B(n{e53 9f CTZh0x y"H*%] 结果:3D光线追迹(所有级) +h r@#n4A /XzH?n/{R W8KDX_vGJ )~HUo9K9 结果:光线追迹 6y9t(m 4 Dw@r{
4DL) rkO 2gCX}4^3b 结果:场追迹 {ZI)nQ{ *rIk:FehLB
!>zo_fP !3 f?:M 结果:线性偏振光的场追迹 q@nP}Pv&5 JU^lyi! _YLfL c0;t4(
&8 文档和技术信息 Q=/</| `O[};3O&
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