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成像系统>包括光栅 \ERxr
/ Wjc\n$' 任务/系统说明 F~
\ONO5 *ls6k`ymL ipp`9 9 "RK"Pn+ 亮点 sCzpNJ"8
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&dmIv[LU b+J|yM<` 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) %N~c9B 严格分析光栅衍射效率 RMT9tXe*5 考虑入射光的方向分布 [ij) k@. 1t &_]q_ 说明:光源 ,&=7ir14>R xt pY* |UWIV WKlqm)m@ 说明:光束分束器 a6./;OC 3!gz^[!?EN N~CQh=< CkNR{?S 说明:检测透镜系统 .[]S!@+% _rIo
@v I5l%X{u"N 4_j_!QH87 说明:微型晶片 $fD%18 .*njgAq7 .`+~mQ
Wn wUr(i * 说明:检测物镜 z8}QXXa }(Fmr7%m ?;`GCE >W-xDzJry 说明:探测器 !J#P'x0 _[-MyU s jFe8s@7 |g^YD;9s. 结果:3D光线追迹(只有0级) f:~G) 5~DKx7P!Z 9(S=0< :M{
)&{D 结果:3D光线追迹(所有级) 27c0wzq NdLe|L?c 'R+^+urq^ fDB.r$|d 结果:光线追迹 %pOz%v~ lrKT?siB
,~Xe#eM NR_3nt^h 结果:场追迹 x+6z9{O ]] 0 M
+,)k@OI 3-:^mRPJ 结果:线性偏振光的场追迹 I
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hID ?87\_wL/j 文档和技术信息 $+44US %_Lz0L64k
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