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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 =Vgj=19X(  
    39W"G7n?v  
    任务/系统说明 qlT'gUt=H  
    UTatcn  
    [l+1zt0w0  
    zh hH A9  
    亮点 P'prp=JD  
    zc<C %t[~y  
    49o5"M(  
    p^G:h6|+|  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) P1f?'i ?J  
     严格分析光栅衍射效率 C+ B`A9  
     考虑入射光的方向分布 A7~~{9  
    $-dz1}  
    说明:光源 J%?'Q{  
    g-c\ ;  
    EJ*  
    mdu5aL  
    说明:光束分束器 MQR@(>TZy  
    b|i94y(  
    tHhA _  
    iJg3`1@j  
    说明:检测透镜系统 NX?J  
    ,!"\L~6  
    "{0 o"k  
    kLKd O0  
    说明:微型晶片 h9)QQPP  
    ~eH+*U|\|M  
    M[ea!an  
    s)q;{wz  
    说明:检测物镜 56Q9RU(M  
    ;C8'7  
    Z:|2PQ4  
    .!kqIx*3  
    说明:探测器 cGw*edgp6  
    }hOExTz  
    H4'xxsx  
    PgZ~of&  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 8$!/Zg  
    dA<PQKm  
    F{ cKCqI?  
    XJ;kyEx3=O  
    结果:3D光线追迹(所有级) z<~gv"  
    yi3@-  
    KOWxP47b  
    rvRtR/*?j  
    结果:光线追迹 N1ZHaZ  
    .IYE+XzV  
    \M/XM6:UG4  
    jcF/5u5e  
    结果:场追迹 STp}?Cb  
    *ms?UFV[r  
    e[}R1/! L  
    o >{+vwK  
    结果:线性偏振光的场追迹 !8]W"@qb  
    6C>x,kU  
    QnikgV  
    ]* -9zo0  
    文档和技术信息 b w5|gmO  
    0Ha1pqR  
    1tG,V%iCp  
    6sl*Ko[  
    kEWC  
    QQ:2987619807 s,ZJ?[/  
     
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