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成像系统>包括光栅 .Yw'oYnS $4MrP$4TI 任务/系统说明 16SOIT 0kDK~iT MQ)L:R`L $)H@|<K 亮点 y$<Vha .vG,fuf8
-uh(?])H yPw'] " 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ;L&TxO>#J 严格分析光栅衍射效率 ~8aJ S,u 考虑入射光的方向分布 |j3'eW&= -YD+(c`l 说明:光源 fIGFHZy, SR*wvQnOx 7 h y&-< [31p&FxM 说明:光束分束器 ) _ I,KEe e?bYjJq s( <uo{ U:F/iXz 说明:检测透镜系统 #0 6-: m*X[ Jtr PA w-6; :fk2]{KTL 说明:微型晶片 n41@iK2l 6dAEM;$_Z 1}ZKc=Pfu d2s OYCKe 说明:检测物镜 >u%]6_[ }IEbyb p$7#}s ;v 说明:探测器 -G,^1AL> 4x%(9_8{- fri0XxF Hx$c
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