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成像系统>包括光栅 (I+e@UUiL W u$yB! 任务/系统说明 BP\6N%HC%& !*?9n ^PaF  vF [ 4kDHk h b 8L[ 4 亮点 UG}2q:ST
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 [ Q/kNK +m/n~- 6q 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） :l?mNm5 严格分析光栅衍射效率 R-wz+j# 考虑入射光的方向分布 ]I zD` e,W,NnCICj 说明：光源 Wu8^Z Z{ XGjFb4Tw7  $ \o)-3 F!*GrQms 说明：光束分束器 #l3)3k* ; .*.eY?,V  J(w FJg\/ k]`-Y E 说明：检测透镜系统 KeXt "U vJV/3-yX  gFT lP =q`T|9v 说明：微型晶片 .0~uM!3y !]RSG^%s{  xtLP 4VL _+(@? 说明：检测物镜 j-DWz>x Uqy/~n-v<  bMNr +N 0z4M/WrNt 说明：探测器 Kpa$1x ^H{YLO  G.v(2~QFd k}NM]9EAE 结果：3D光线追迹（只有0级） E0 E K8 8 dM P'Vnfj  !6@ 'H4cb= M} f(-,9 结果：3D光线追迹（所有级） =6"5kz10 I0z 7bx  j0V/\Ep)T< )5gj0#|CG@ 结果：光线追迹 VuH -> 2lOUNx Q$
 DuZ Zu 0K26 \1 结果：场追迹 L$.3, ./ fb>$p_s]
 X0$q ! y$SUYG'v 结果：线性偏振光的场追迹 $~W5! m nPqpat`E  *kg->J
g$?^bu dxv 文档和技术信息 r~ 2*'z B >X ' -J{4R
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