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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 .Yw'oYnS  
    $4MrP$4TI  
    任务/系统说明 16SOIT  
    0kDK~iT  
    MQ)L:R` L  
    $)H@|< K  
    亮点 y$<Vha  
    .vG,fuf8  
    -uh(?])H  
    yPw'] "  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ;L&TxO>#J  
     严格分析光栅衍射效率 ~ 8aJ S,u  
     考虑入射光的方向分布 |j3'eW&=  
    -YD+(c`l  
    说明:光源 fIGFHZy,  
    SR*wvQnOx  
    7hy&-<  
    [31p&FxM  
    说明:光束分束器 ) _ I,KEe  
    e?bYjJ q  
    s( <uo{  
    U:F/ iXz  
    说明:检测透镜系统 #0 6-:  
    m*X[ Jtr  
    PA w-6;  
    :fk2]{KTL  
    说明:微型晶片 n41@iK2l  
    6dAEM;$_Z  
    1}ZKc=Pfu  
    d2s OYCKe  
    说明:检测物镜 >u%]6_[  
    }IEb yb  
    p$7#}s  
     ;v  
    说明:探测器 -G,^1AL>  
    4x%(9_8 {-  
    fri0XxF  
    Hx$c N  
    结果:3D光线追迹(只有0级) u9=SpgB#  
    l<(Y_PE:  
    {2`=qt2  
    <\zCpkZ'B  
    结果:3D光线追迹(所有级) 97!>%d[0  
    B5X sGLV  
    fx8EB8A7K7  
    >MJ?g-  
    结果:光线追迹 c.\O/N   
    G1 o70  
    I &*_,d  
    ?t@v&s  
    结果:场追迹 hl&-\dc+  
    +MK6zf  
    dMx4ykrR  
    N?dvuB  
    结果:线性偏振光的场追迹 e7u^mJ  
    *sQcg8{^  
    0i[zup  
    zq5'i!s !0  
    文档和技术信息 m"c :"I6  
    ~#\i!I;RY}  
    Q '(ihUq*k  
    aKF*FFX  
    &p<(_|Af  
    QQ:2987619807 HEqWoV]{d  
     
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