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成像系统>包括光栅 }Wk^7[Y NsPAWI|4 任务/系统说明 '3p7ee& q&DM*!Jq ]+"25V'L }&*wJ]j`L 亮点 Kl Kk?6> zu,F 0;De
RXi/&'+H iL$~d@AEn 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) d3[O!4<T 严格分析光栅衍射效率 } SNZl`> 考虑入射光的方向分布 wv7XhY} -MK9IO]i 说明:光源 <hV%OrBz- @^2?97i
c L0Ycf|[s, JK/gq}c 说明:光束分束器 anzt;V.;Y oSl@EI R PB%6z$ ^H(,^cVN 说明:检测透镜系统 F"ua`ercI = pCO1<wR ^[6S]Ft( S;8gX1Uf 说明:微型晶片 }eK.\_t= xU!eT'Y FK+`K< Q1'4xWu 说明:检测物镜 TPF5 ? E]0}&YG CX}==0od \3WQ<t)W 说明:探测器 BY5ODc$ ~-tKMc).X g}OZ!mKd p.|M:C\xL 结果:3D光线追迹(只有0级) ?/1Eu47 mUdj2vB$+' KCl85Wi' vve L|j 结果:3D光线追迹(所有级) Rn_FYP >X_5o^s2s d=DQS>Nz _'0C70 结果:光线追迹 p9-s' F|@i 'Z8=y[l
%F}i2!\<L $.F.xYS9IJ 结果:场追迹 DLH|y%" l2ARM3"
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