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成像系统>包括光栅 ]_$[8#kg |l!aB(NW 任务/系统说明 vKR[&K{Z| Yr|4Fl~U  Qg/rRiV E(|>Ddv B& 亮点 yCo.cd-
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 5LMw?P.< @%SQFu@FJ 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） K,UMqAmk 严格分析光栅衍射效率 >R=|Wo`Ri 考虑入射光的方向分布 jj> ]9z A %-6`> 说明：光源 BJ0?kX@ FgO)DQm  LgYq.>Nl9 aQ~s`^D 说明：光束分束器 1Y Mh1+1 J=yTbSN\v  nj4/#W c[e}w+ uB 说明：检测透镜系统 ']oQ]Yx0 J8D,ZfPN`d  .e5Mnd%$M &.ACd+Cd 说明：微型晶片 \j.:3X r }1xo-mUg,  O
H7FkR 8XbT`y 说明：检测物镜 B-ESFATc xLn%hxm?,  $ulOp;~A% /7LR;>B j 说明：探测器 |'2d_vR hzC >~Ub5  },[}$m % C.QO#b 结果：3D光线追迹（只有0级） M: V_/@W. F5#YOck&,  5(8@%6>ruj ~_ a-E 结果：3D光线追迹（所有级） 2BobH_ H tI{_y  =":,.Ttq41 LIdF 0 结果：光线追迹 3ANQaU C ,2)6s\]/b
 I O> yIU[ c "xK`%e 结果：场追迹 9{uO1O\ ;=Us A B]
 rN{ c7/| kNL\m[W8$ 结果：线性偏振光的场追迹
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