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成像系统>包括光栅 _tO2PIL@Z ^4saB+qm 任务/系统说明 9@*4^Ks p Z@Qf0
c T(~^X-k lw4#C`bx 亮点 rmI@ #' I+Fr#1
EkN>5). ?/p."N:]H 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) z]O>`50Q 严格分析光栅衍射效率 QkO4Td< 考虑入射光的方向分布 OQT i$2 $>%zNq-F 说明:光源
`k08M) rO1.8KKJ x/92],.Mz bW'Y8ok[v 说明:光束分束器 vF@.BM> m(WVxVB B#4 J![BX a+\s 0Qo< 说明:检测透镜系统 D/WzYc2h] 9Mv4=k^7|4 $I/RN jH4Wu`r;m 说明:微型晶片 E95VR?nUg )v.\4Q4 /B It^_?oiK 说明:检测物镜 j;*=
^s =iPQ\_ON@ h6(L22Hn 5d82M s 说明:探测器 ]PXpzruy 83"C~xe?p4 niM(0p HSk}09GV 结果:3D光线追迹(只有0级) C6b(\#g( f P1fm {*4Z9.2c* RjX#pb 结果:3D光线追迹(所有级) rB5+~
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DzCb'# aeF^&F0 结果:光线追迹 O<w7PS i{ /nHrN
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& |o V\L $d7{ q3K&1 结果:线性偏振光的场追迹 <3Hu(Jx<O k$} 6Qd h%@#jvh?4 b~FmX 文档和技术信息 /d-7n|#E ,cFp5tV$
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