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成像系统>包括光栅 $(JB"%S8c B`1"4[{ 任务/系统说明 ,8/Con|o n\G88)Dv`V qp)a`'Pq }6#u}^gy 亮点 QXg9ah~ 9Vh> ty1|_
U9:w ^t[Pp :L'U>)k 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) Q@HW`@i 严格分析光栅衍射效率 |E=8 考虑入射光的方向分布 ZB@Bj>,bp +rcDA| 说明:光源 SB}0u=5 z=/xv}, g (:%E %\ef
Mhn 说明:光束分束器 C^W9=OH k),!%6\( LtIw{*3 pk5W!K 说明:检测透镜系统 vE=)qn= a [sF
z ;Py] }'.k ZlxJY%oeu 说明:微型晶片 s)<^YASg @%}4R`S0 9u&q{I ;DXcEzV 说明:检测物镜 %e,X7W`'2 u{S J#3C5 c5f8pa
* .o?"=Epo 说明:探测器 ck"lX[d1 nC;2wQ6aO Jfs$VGZP; WP b4L9< 结果:3D光线追迹(只有0级) 2A^>>Q/,u ]J
aV +b'O =|_{J"sv 43p0k&;-7 结果:3D光线追迹(所有级) k@i+gV% FBCi,_
\4 UNB'Xjp}@ M]JD( 结果:光线追迹 f6d:5
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hb_J.Q @! gJOy 结果:线性偏振光的场追迹 ZI8*PX%2 r6#It$NU SK@%r cGVIO"(VP 文档和技术信息 vg6'^5S7 qek[p_7
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