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成像系统>包括光栅
3RG/X GN8`xR{J* 任务/系统说明 jFK9?cLT n$A(6]z5O u^;sx/ ]*t*/j;N 亮点 u:p:*u_^I kY0g}o'<
S<)RVm,!e X,Q6 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) $/-wgyP3m+ 严格分析光栅衍射效率 Fb$5&~d 考虑入射光的方向分布 AX^3uRQJ 'R-JQE-] 说明:光源 gs)%.k[BqG mDe+ M{/ +;4AG::GN %K/G+ 说明:光束分束器 X.W#=$;$: {jCu9 ]c! *U5>j#, ,T1XX2?: 说明:检测透镜系统 /(z0I.yE OQX{<pQ6 t8wz'[z 1Tts3O. 说明:微型晶片 FcbA)7dD a#~Z5>{ a5Acqa _|Kv~\G! 说明:检测物镜 n?ZH2dI\0 |rms[1<_ _<' kzOj $dWl A<u 说明:探测器 \?`d=n= 1rzq$, O hZF&PV5H EVE xL 结果:3D光线追迹(只有0级) y^+[eT& |