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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 cOQy|v`KD,  
    >g&`g}xZQ  
    任务/系统说明 'gGB-=yvbO  
    wO#+8js  
    f<wgZM  
    tp<VOUa  
    亮点 iIFQRnpu;3  
    0pFHE>  
    p2G8 Qls  
    z"3c+?2  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) L ~w=O!  
     严格分析光栅衍射效率 oK6lCGM5  
     考虑入射光的方向分布 /Hmo!"W`  
    M lFvDy  
    说明:光源 7;NV 1RV  
    j,XKu5w)Oi  
    )^TQedF  
    J~q+G  
    说明:光束分束器 9f,:j  
    VaxO L61xE  
    ]B4mm__  
    aTsfl  
    说明:检测透镜系统 R6;>RRU_  
    #=(op?]  
    EcIQ20Z_-  
    @3YuV=QfH  
    说明:微型晶片 fP58$pwu  
    !\1W*6U8;  
    " 44?n <1  
    ;L2bC3  
    说明:检测物镜 rzDJH:W{2  
    $sZHApJV+  
    OU@x1G{Cy  
    s.'\&B[  
    说明:探测器 P-[K*/bPw  
    <q2nZI^  
    zF&UdS3  
    *K'ej4"u  
    结果:3D光线追迹(只有0级) /Ph&:n\4  
    E]U0CwFtr  
    (PcK(C!}=\  
    4Z9wzQ>  
    结果:3D光线追迹(所有级) ,hLSRj{  
    k&iDJt  
    mthl?,I|  
    z\>X[yNpA  
    结果:光线追迹 j#t8Krd] "  
    c8tC3CrKp=  
    bs EpET  
    2Fgt)`{!  
    结果:场追迹 Ir"Q%>K0f  
    Cfo 8gX*  
    aGb. Lh9  
    ([b!$o<v  
    结果:线性偏振光的场追迹 l/zC##1+.  
    c[_^bs>k  
    8`2<g0V2  
    Y{vwOs  
    文档和技术信息 Q4Fq=kTE  
    1]Q 2qs  
    DnsP7k.8T  
    8KwC wv  
    "C.7;Rvkp>  
    QQ:2987619807 )nHE$gVM s  
     
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