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成像系统>包括光栅 96S$Y~G# & }= B~n0 任务/系统说明 j{johV+`8 l](!2a=[  E@6gTx* h (^c5#. 亮点 -zWNQp$
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 0+[3>N y 0 ?a*w6,y. 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 8kC$Z ) 严格分析光栅衍射效率 .V\~#Ro$G 考虑入射光的方向分布 n/`!G?kvI tvBLfqIr 说明：光源 *> HS>#S XB@i{/6K  8C[ eHC*r wn|;Li 说明：光束分束器 eC WF0a :S}ZF$
$j%  _z1Qr?cY 4"\x# 说明：检测透镜系统 K7C!ZXw~ {NcJL< ;tS  Aar]eY\ TU;AO%5 说明：微型晶片 #DARZh U) \t`Vq JLyu  4E_u.tJ t~)4f.F: 说明：检测物镜 }@/Ox `t44.=%  \Ui8gDJ8y5 1]Cb i7 说明：探测器 t,'J%)j -SLk8x  !vVW8hb p h~qv_)F_ 结果：3D光线追迹（只有0级） T!Tp:&O- LE~vSm^#  V|F/ynJfA ( kyRx+gA 结果：3D光线追迹（所有级） / x]^Cqe . gN ziDO
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 ^CM@VmPp B*E"yB\N V 结果：线性偏振光的场追迹 uhnnjI Nf2lw]-G4  2yD ?f8P4
Z-pZyDz 文档和技术信息 1|s` z @HnahD
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