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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 3RG/X  
    GN8`xR{J*  
    任务/系统说明 jFK9?cLT  
    n$A(6]z5O  
    u^;sx/  
    ]*t*/j;N  
    亮点 u:p:*u_^I  
    kY0g}o'<  
    S<)RVm,!e  
    X,Q 6  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) $/-wgyP3m+  
     严格分析光栅衍射效率 Fb $5&~d  
     考虑入射光的方向分布 A X^3uRQJ  
    'R-JQ E-]  
    说明:光源 gs)%.k[BqG  
    mDe+ M {/  
    +;4AG::GN  
    %K/G+  
    说明:光束分束器 X.W#=$;$:  
    {jCu9 ]c!  
    *U5> j#,  
    ,T1XX2? :  
    说明:检测透镜系统 /(z0I.yE  
    OQX{<pQ6  
    t8wz'[z  
    1Tts3O .  
    说明:微型晶片 FcbA)7dD  
    a#~Z5>{  
    a5Acqa  
    _|Kv~\G!  
    说明:检测物镜 n?ZH2dI \0  
    |rms[1<_  
    _<' kzOj  
    $dWl A<u  
    说明:探测器 \?`d=n=  
    1rzq$,O  
    hZF&PV5H  
    &#EVE xL  
    结果:3D光线追迹(只有0级) y^+[eT&  
    XC8z|A-@  
    ?p/kuv{\o#  
    yP=isi#dDY  
    结果:3D光线追迹(所有级) _bV=G#qKK  
    (nP*  
    m3v* ,~  
    < c4RmnA  
    结果:光线追迹 /dP8F  
    x /Ky: Ky  
    {II7%\ya  
    U8I~co:h  
    结果:场追迹 )9W# 5V$  
    cX]{RVZo-/  
    #5"<.z  
    !NY^(^   
    结果:线性偏振光的场追迹 PQI,vr'R  
    Q*J ~wuE2  
    NS/L! "g  
    QvQf@o  
    文档和技术信息 QbKYB  
    X52jqXjg  
    ,Vn]Ft?n  
    nQYS{`hk  
    :?XHZ  
    QQ:2987619807 "aO,  
     
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