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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 =0Z^q0.  
    F/91Es  
    任务/系统说明 7rF )fKW  
    qD@]FEw!O  
    k[{h$  
    =UGyZV:z5  
    亮点 rD"$,-h  
    2pKkg>/S  
    Bu[sSoA  
    avJ%J"j8z  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ,".1![b  
     严格分析光栅衍射效率 ULqFJ*nla  
     考虑入射光的方向分布 4=BIYC"Lu  
    ""0 cw  
    说明:光源 X+0+ }S  
    Rm i4ZPb.  
    d:j65yu  
    V 6DWYs>  
    说明:光束分束器 _#9F@SCA  
    t)!(s,;T  
    })v`` +  
    ! MTmG/^  
    说明:检测透镜系统 [&Yrnkgr  
    Y@jO#6R  
    E79'<;K,zs  
    /0.m|Th'm  
    说明:微型晶片 {WYJQKs8  
    cdBD.sg  
    ZGa;'  
    ]~YY#I":  
    说明:检测物镜 l2Gtw*i_I  
    yYdow.b!  
     S2;u!f  
    aEL^N0\d  
    说明:探测器 Vx gP^*  
    DlMT<ld  
    `RF0%Vm~t  
    ?M<q95pL  
    结果:3D光线追迹(只有0级) >}"9heF  
    W(gOid KKz  
    yi29+T7j4S  
    {*BZ;Xh\8  
    结果:3D光线追迹(所有级) 8M<\?JD~_f  
    |~+i=y  
    R [qfG! "  
    uK6'TJ  
    结果:光线追迹 43'!<[?x  
    3Fu5,H EJ  
    R^hlfKnt  
    rf ?\s/#OY  
    结果:场追迹 4#^E$N:  
    y#B4m`9  
    3J3Yt`  
    Ha)Vf+W  
    结果:线性偏振光的场追迹 /WxCsQn  
    :{g;J  
    '{ $7Dbo  
    b] 5i`  
    文档和技术信息 N6>ert1  
    Sc.@u3  
    >z"\l  
    PxvD0GTW  
    ;%ng])w=;  
    QQ:2987619807 q*^m8  
     
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