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成像系统>包括光栅 cOQy|v`KD, >g&`g}xZQ 任务/系统说明 'gGB-=yvbO wO#+8js f<wgZM tp<V OUa 亮点 iIFQRnpu;3 0pFHE>
p2G8Qls z"3c+?2 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) L
~w=O! 严格分析光栅衍射效率 oK6lCGM5 考虑入射光的方向分布 /Hmo!"W` MlFvDy 说明:光源 7;NV
1RV j,XKu5w)Oi )^TQedF J~q+G 说明:光束分束器 9f,:j VaxO L61xE ]B4mm__ aTsfl 说明:检测透镜系统 R6;>RRU_ #=(op?] EcIQ20Z_- @3YuV=QfH 说明:微型晶片 fP58$pwu !\1 W*6U8; "44?n <1 ;L2bC3 说明:检测物镜 rzDJH:W{2 $sZHApJV+ OU@x1G{Cy s.' \&B[ 说明:探测器 P-[K*/bPw <q2nZI^ zF&UdS3 *K'ej4"u 结果:3D光线追迹(只有0级) /Ph&:n\4 E]U0CwFtr (PcK(C!}=\ 4Z9wzQ> 结果:3D光线追迹(所有级) ,hLSRj{ k &iDJt mthl?,I| z \>X[yNpA 结果:光线追迹 j#t8Krd] " c8tC3CrKp=
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