切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1119阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 R2N^'  
    *9dV/TT~f[  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 i$[,-4 v  
     2 {mY:\  
    }O.LPQ0  
    建模任务 N a. nA  
    ]{|fYt_-  
    (|<h^] y3  
    结果 tg7C;rJ  
    -_2Dy1  
    qSEB}1  
    结果 M)"]$TM  
    6%ZHP?  
    1 [fo'M  
    结果 (B>)2:T1  
    k;;nE o~6  
    iN<(O7B;  
    文件信息 #"Eks79s  
    J16=!q()  
    vIVw'Z(g}  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表