切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1277阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 =6#Eh=7N  
    d5z`BH.  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 [ps*uva  
     hDq`Z$_+KX  
    0,8okA H  
    建模任务 HOh!Xcu  
    ^w06<m  
    O5t[  
    结果 )@'}\_a3[]  
    XEZF{lP  
    _H=Uwi_g  
    结果 U!Z,xx[]  
    ^Js9 s8?$  
    '!a'ZjYyi  
    结果 ~**.|%Kc  
    9pxc~=  
    mS~kJy_-  
    文件信息 6qd\)q6T&x  
    f:.I0 ST  
    V}NbuvDB@  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表