切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 近代光学系统设计概论 Zemax光学设计从入门到精通(中文版) 现代光学基础（第2版 钟锡华）
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 795阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4681
    光币
    17781
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 tJ .Ln  
    O;|jLf_If  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 Mkr &30il[  
     dptfIBYc+  
    5}a.<  
    建模任务 H;0K4|I  
    ([#'G+MC&  
    u8gqWsvruM  
    结果 >">Xd@Wk  
    r;p@T8k  
    <[$a7l i  
    结果 7}e5ac  
    ;@ G^eQ  
    lMcO2006L  
    结果 <$ qT(3w<y  
    Tp.:2[  
    ].sD#~L_  
    文件信息 O8Z+g{  
    (?ULp{VPFl  
    vy` lfbX@  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表