切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1117阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 ut26sg{s(  
    sg@)IEg</v  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 6J/"1 _  
     ,S"a ,}8  
    aXi5~,Ks_  
    建模任务 + 3+^J?N  
    qRXQL"Pe_l  
    IIC1T{D}v  
    结果 RU} M&&  
    .&Uu w  
    tK9_]663  
    结果 a.P7O!2Lp  
    6Y!hz7D  
    8?ig/HSt2  
    结果 =HJ)!(  
    "Mt4~vy  
    =4RXNWkud  
    文件信息 V6)e Jy  
    kpc3l[.A  
    J;Y=o B  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表