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摘要 v4@Z(M CI3XzH\IX* 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 }9nDo*A"} <&)v~-&O
Jx'i2&hGN 建模任务 cQ9q;r`% o)'y.-@Q B]tIi^ 结果 T#bu
V ca+[0w@S ;WldHaZ9r 结果 OyqNLR y8fsveX fGmT_C0t 结果 eb*#'\~' =y=cW1TG P./VmY' 文件信息 J,b&XD@m pmX#E WJ*n29^N^h
QQ:2987619807
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