切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1313阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6621
    光币
    27254
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 $O)3 q $|  
    _zWfI.o  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 vVl; |  
     .iD*>M:W  
    w= P 9FxB  
    建模任务 "vZ!vt#'Y  
    $~;D9  
    OTDg5:>  
    结果 ^Yj xeNY  
    fw6UhG  
    \>QF(J [8  
    结果 ',^+bgs5  
    Y!J>U  
    ,#?uJTLH  
    结果 j hbonuV_  
    $37 g]ZD  
    mZz="ZLa:  
    文件信息 ?L&|Uw+  
    YH&bD16c3  
    ^z6_Uw[  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表