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摘要 t&*$@0A 1w35H9\g 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 yfq"atj .
a~J.0co F3+)bIz 建模任务 :.@gd7T K2!KMhvQ 2;A].5>l 结果 &a O3N ybfNG@N* ]zu"x9-` 结果 ($]y*|Obn Y6V56pOS TfMuQ i'> 结果 .F9>|Xx[ :H6Ipa r..\(r 文件信息 `_<K#AG Ai !J.qH%S5 .0nL;o
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