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    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 @$ea-fK??  
    sT^^#$ub  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 -i}@o1o\  
     O 0lQ1<=  
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    建模任务 8+b ?/Rn0  
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    结果 dB^')-wA  
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    b;[u=9ez  
    结果 u/D=&"tL  
    jx=2^A/i2-  
    Z~.3)6,z  
    结果 CpAdE m{  
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    D:uBr|('  
    文件信息 /FZ@Z]Q0G  
    e:BKdZGW  
    Cu%|}xq  
    QQ：2987619807
     
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