切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1260阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 F&x9.  
    |/-H:\5  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 !r*Ogv[  
     q}mQm'  
    IH1 fvW e  
    建模任务 A296 f(  
    "]C$"JR  
    I&O}U|l06  
    结果 eE/E#W8  
    7Z+4F=2ff  
    P Yp<eo\  
    结果 4:p+C-gs  
    `Al( AT(p  
    .. xg4V/  
    结果 w(KB=lA2  
    #4e Taik  
    h{&}p-X&[  
    文件信息 y BwgLn  
    *u4h+P  
    jKI0d+U  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表