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摘要 D=OU61AA 9rid98~d 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 pTN_6=Y" ^{Vm,nAQqs
stDn{x. )l"0:1I g 建模任务 -5qO}^i$a y%GV9
2`},;i~[ }.hBmhnZmI 结果 Vnl~AQfk| JBYQ7SsAS0 [Ytia#Vv %*/[aq, # 文件信息 c49#aNR _<~05Eh
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