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摘要 6T! *YrS "*CQ<@+ 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 mjO4GpG3 ~McmlJzJG
9G_bM(q'^2 !4\`g? 建模任务 kE;h[No&K Y*/:IYr`
,+-l1GpL mYJ%gdTpo 结果 ,#hS#?t 3 GmU$w eu@hmR8T *%5.{J! 文件信息 )XV|D \W=~@k
6d& dB VHwb 7f]gq :akEl7/& QQ:2987619807 U\a.'K50F
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