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摘要 :bo2H[U+ ZC$u8$+P 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 Mmgm6{ uJ|,-"~F
D,$M$f1 b4$g$() 建模任务 R,7.o4Wt %/)z!}{
7aRy])x 3f>9tUWhTy 结果 Q?.9BM1V (g dzgLHy {OQ)Np! }ub>4N[ 文件信息 8xj_)=(sV! 6ImW|%
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