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摘要 2uR4~XjF AA%g^PWpR 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 Ecl7=-y Jz8#88cY
ZC-evy l#f]KLv4N_ 建模任务 8;Bwz RtgT D~?*Xv]s~
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