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摘要 n$
dw<y !&JiNn(' 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 5 H *> BkV(81"C
H+R7X71{ pg!`SxFD 建模任务 AWL[zixR `oVB!eapl
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pw;r 25 结果 */Cj$KY70 OM{Dq| )Oe`s(O@[I 0[i}rC9& 文件信息 6WO7+M;z ig$jKou
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