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摘要 4dN <B U t@R n#(~" 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 z.(DDj `e;r$Vpd_
a0k;way %H{;wVjK 建模任务 z{
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Is6}VLbB y5*zyd 结果 teb(gUy}L6 |RD)pvVM o+8H:7,o' 9fs-|E[5 文件信息 SAitufS 4 7mT
:J@3:+sr QEut@L RcJtVOrd QQ:2987619807 %2b^t*CQ
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