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摘要 Fxv5kho DPr~DO`b 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 W5,&*mo #\Zr$?t|V
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CiO 建模任务 EhAaaG 6/6{69tnr
1YNw= _p^$.\k" 结果 \03ZE^H |u]IOw&1 +Jh1D_+!9 +w/B3b 文件信息 K[yP{01 AQwai>eL
+{0v@6<(02 CaC \\5wl [}!0PN?z~A QQ:2987619807 @FZbp
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