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摘要 `D>S;[~S7 cnSJ{T 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 ]P#XVDn+; flk=>h|
_ 6O\W%it 7x#Ckep:I 建模任务 LL] zT H0 {xwm^p(f
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