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摘要 f ]DO2r {O (@} 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 'h{| ] N2\{h(*u
|5#iPw_wMY ]_y0wLq 建模任务 #6F/:j; a:}&v^v
0/,Dy2h faPgp 结果 ;*q q+cx.Rc# +w9X$<?_ k C=h[<' 文件信息 dc%0~Nz QRAw#
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