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摘要 ,;.B4 YOV : 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 rLJ[FqS v**z$5x9
Dz`k[mI j1YH9T#|D 建模任务 mz\NFC< @P:R~m2
8xF)_UV Xsd$*F@< 结果 c^=R8y-N oYz!O]j;a 6F`qi:a+ $Z;B QJVH 文件信息 ;8P_av}C c>ad0xce6
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