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摘要 aR _NyA c7\VTYT 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 wzd`l?o, Ejv%,q/T(
]fZ<`w8u} t-WjL@$F/ 建模任务 w!\3ICB Av o|v>
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