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摘要 6*B%3\z) n><ad*|MX 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 7(D)U)9h 48z%dBmTT* E!ZLVR.K <#8}![3Q 建模任务 auGK2i =?W7OV^BE R<fF
^^ +-b'+mF 结果 '+Jy//5? :YRHO| ;1yF[<a ]O}e{Q> 文件信息 T-yEn&r4) %7-(c
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