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摘要 ;V~rWzKM( /esVuz 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 f]ue#O skI(]BDf
p?V?nCv1O 6QII&Fg 建模任务 |"R_-U DikdC5>O>m
\TbsoWX }Kj Ju; 结果 Y$`eg|$ T A\4uy6o [0&'cu> I/On3"U% 文件信息 CGC-"A/W V06CCy8n
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