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摘要 =.f<"P51k _dynqF8* 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 n]J;BW&Av oSB0P
v#Y9O6g]T ,: 4+hJ<q 建模任务 %XK<[BF 9$e6?<`(Y
S9@)4|3C|p s14; \ 结果 L$s;tJ -H
AUKY@;5 j#JE4(& ]>k>Z#8E* 文件信息 -MT.qhx TH#5j.uUs
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