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摘要 >6+K"J-@ v2sU$M 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 }}1Q<puM qKC*jDW
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`4_<c= 建模任务 Jo <6M' ;$< ek(i7 UV.9KcN. K67 ?
d 结果 MNC!3d(D\R zK?[dO ]E^f8s0#V DA~ELje^j 文件信息 |vzWSm <vDm(-i3 NhX.yLb$ KL]!E ~i 9YhsJ~"Q QQ:2987619807 ?F{xDfqw
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