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摘要 }K`KoM WW+F9~S 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 q`.=/O' d[5v A/8O
_sZ&=-FR , s otZT 建模任务 7&/1K%x9; ?m+];SJk
Ju&FwY+ 5`$!s17 结果 mlLqQ< $CJf 0[| ZHUW1:qs J#FHR/zV 文件信息 v=+3AW-|v hOkn@F.
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