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摘要 hm3,?FMbq t1?e$s 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 r?Jxl< 9)0AwLlv
WXu:mv,'e tW 53&q\= 建模任务 $r|R`n = GdG1e%y]z
*F* c (rO_Vfaa 结果 S>}jsP:V !R;P"%PHV \]GO*]CaV g]85[xz 文件信息 t+Kxww58 9 tkj:8_
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