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摘要 L~0&
Q P1d,8~; 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 ;~tsF.= _-a|VTM
Yw"P)Zp ; h+ q 建模任务 @W9H9PWv& Gp1EJ2d8
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