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摘要 7kKy\W 22(*J< 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 CXtU"X ":3 VJ(eY
e4OeoQ@ > qW 1V85FG 建模任务 W(fr<<hL ~"Gf<3^y+
QCPID: KNgH|5Pb 结果 A~nf#(!^] Z['\61 -)!>M>=s :T3/yd62N 文件信息 \RQ='/H* eK /?%t
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