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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 u yFn}y62  
    :lK4 db  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 }w@gj"\H  
    h4Ia>^@  
    =O,JAR"ug  
    概述 h 'l^g%;  
    7IW> >RBF  
    =D].`  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 >dk 9f}7-  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 {]^2R>0Q  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 S8%n.<OB  
    !qA8Zky_  
    IZ8y}2  
    NhA#bn9y?  
    衍射级次的效率和偏振
    Q2eXK[?*  
    ) r9b:c\  
    w>qCg XU3  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 :tM?%=Q  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 H?uukmZl  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 ANMYX18M  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 Gy!P,a)z  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 .Pw%DZ'  
    3sFeP &  
    /)9W1U^B  
    光栅结构参数 Pr+~Kif  
    Q2/.6O8  
    JRO$<  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 i[150g?K  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 HM&1y ubh#  
    •因此,选择以下光栅参数: -(>qu.[8=  
    - 光栅周期:250 nm =-~;OH /  
    - 填充系数:0.5 aI(>]sWJ  
    - 光栅高度:200 nm e7xj_QH  
    - 材料n1:熔融石英 ni6r{eSQ  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) aq Mc6N`z  
    $ [7 Vgs  
    ug *D52?  
    o2=A0ogz?  
    偏振状态分析 H{V)g  
    s&'BM~WI  
    \k@Z7+&7  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ->E=&X  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 5| w&dM  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 #U=;T]!'$  
    j7 d:v7+_  
    kIvvEh<L=  
    nrpI5t.b  
    产生的极化状态 !QEL"iJ6M'  
    f: xWu-  
    #Qbl=o4  
    k\N4@UK  
    (][LQ6Pc  
    其他例子 :Q@)*kQH  
    0oU=RbC  
    ;/LD)$_  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 [vTMS2  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 GBP-V66  
    =Q(vni83<  
    @Bs0Avj.  
    u3ZCT" !  
    光栅结构参数 feEMg  
    "tu*YNP\Q  
    &~-~5B|3"  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ^# e~g/  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 G'x .NL  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 :b/jNHJU  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 [@"wd_f{l  
    H4<Nnd\   
    P<;7j?  
    光栅#1 TJy4<rb  
    nWWM2v  
    ~ 3T,&?r  
    |(% u}V?  
    i0pU!`0  
    •仅考虑此光栅。 onte&Ed\  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 D>sYPrf  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 hu5!ev2  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 orIQ~pF#  
    RT*5d;l0  
    Llz[ '"m  
    假设光栅参数: 2t1I3yA'{z  
    •光栅周期:250 nm {G*QY%j^  
    •光栅高度:660 nm H:S,\D?%2x  
    •填充系数:0.75(底部) ZR3nK0  
    •侧壁角度:±6° MZv\ C  
    •n1:1.46 S~F`  
    •n2:2.08 p!W[X%`)  
    )\ 0F7Z  
    光栅#1结果 9dKul,c  
    8_we: 9A  
    R+=a`0_S  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 \4bWWy  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 :tGYs8UK  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    vRhnX  
    kA#vByf`v  
    d"T Ht}  
    G?hK9@ |v  
    光栅#2 O/OiQ^T  
    yA7 )Y})>  
    <GIwRVCU  
    F $yO  
    0SV\{]2  
    •同样,只考虑此光栅。 [CN$ScK,  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 ,M6ZZ* ,e  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 ($!KzxF3  
    假设光栅参数: %mI~ =^za  
    •光栅周期:250 nm *\XH+/]+  
    •光栅高度:490 nm m],Ud\  
    •填充因子:0.5 )0CQP  
    •n1:1.46 .v`b[4M4  
    •n2:2.08
    xJ(:m<z  
    z,Lzgh  
    光栅#2结果 N{joXHCu  
    'K@0Wp  
    [*Ju3  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 sH!O0WL  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 LAs7>hM  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 Dpqt;8"2L  
    x8[MP?Wz  
    YUkud2,j  
    文件信息 @LX6hm*}  
    UuJjO^t  
    45+{nN[  
    ;e s^R?z  
    -l*g~7|j  
    QQ:2987619807 grcbH  
     
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