切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1584阅读
    • 0回复

    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要  UBj&T^j  
    :vx<m_  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 RLL%l  
    lKQevoy'  
    % ;R&cSZ  
    概述 WHOX<YJs  
    7jQVm{{.  
    sWMln:=  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 >3ZhPvE-p'  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 ?8?vBkz~  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 2/tx5Nc  
    MxT&@pq  
    DpQWh+WRy  
    *h=>*t?I2  
    衍射级次的效率和偏振
    5*-RIs! 2  
    ;hV|W{=w  
    YTmHht{j#  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 zxIP-QaA  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 MP<]-M'|<  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 qO8:|q1%;\  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 ,EVPnH[F~  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 aaw[ia_EL  
    oWLP|c~ Ap  
    s :BW}PM  
    光栅结构参数 @1gURx&2_  
    ? daxb  
    {:VK}w  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 D)DD6  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 ceD6q~)  
    •因此,选择以下光栅参数: TU2oQ1  
    - 光栅周期:250 nm %eW7AO>  
    - 填充系数:0.5 x3#:C=  
    - 光栅高度:200 nm c2,g %(  
    - 材料n1:熔融石英 }o7-3!{L!  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) izGU&VeB  
    _G@Z n[v  
    L(u@%.S  
    }7b{ZbDI  
    偏振状态分析 3!/J!X3L  
    S9 $t9o  
    m ie~. "  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 &!O?h/&X3  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 1#7|au%:)  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 WAR!#E#J7  
    mAGD qz>f  
    rtQ{  
    pX*E(Q)@!  
    产生的极化状态 Q&w_kz.  
    DEhR\Z!  
    |6DJ5VFzD  
    ]v),[]Xs  
    ?V+\E2  
    其他例子 kONn7Itbu  
    V9}\0joM  
    m9sck:g#L1  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 6SE^+@jR  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 "=C~I W  
    :<{ 15:1  
    jPZ+~:m+  
    2)\MxvfOh  
    光栅结构参数 E'D16Rhp  
    &8Vh3QLEx  
    }`H{;A h  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 \b"|p%CL8  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 'nh2}  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 bpU> (j  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 '%ZKvZ-  
    zjcSn7iu  
    KWD{_h{R  
    光栅#1 $ kHXt]fU  
    SFtcO  
    9W\"A$;+&  
    t\ z@k9  
    w/*#TDR  
    •仅考虑此光栅。 $uFvZ?w&  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 ~}d\sQF .  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 u$zRm(!RB  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 Bsg^[~jWJu  
    x\~ <8o  
    YT'V/8US  
    假设光栅参数: 8%YyxoCH  
    •光栅周期:250 nm pV (Mh[ }P  
    •光栅高度:660 nm 'U ZzH$h  
    •填充系数:0.75(底部) |.yS~XFJS  
    •侧壁角度:±6° [_3&  
    •n1:1.46 ;/wH/!b  
    •n2:2.08 [*(1~PrlO,  
    8tv4_Lbx  
    光栅#1结果 ?f3R+4  
    8EdaqF  
    6bjZW ~  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 W)D?8*  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 Hf1b&8&:K  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    }|) N5bGQe  
    0g=vMLi  
    ZnAQO3%y  
    q27q/q8  
    光栅#2 F;_o `h  
    TJW8l[M  
    M;3q.0MU  
    {` bX*]  
    [PiMu,O[v  
    •同样,只考虑此光栅。 0[<' ygu  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 !ii( 2U  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 '-n Iy$>  
    假设光栅参数: >FHx],  
    •光栅周期:250 nm j r .{M  
    •光栅高度:490 nm ZBx,'ph}4  
    •填充因子:0.5 iR{@~JN=)  
    •n1:1.46 #?D[WTV  
    •n2:2.08
    /y4A?*w6  
    KQ6][2-  
    光栅#2结果 QQ{*j7i)  
    Q7F4OS5b  
    cL.>e=x$  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 AB+lM;_>  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 }W!w  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 Xg1TX_3Ml  
    =MM+(mD  
    tBZ?UAe;  
    文件信息 {&D$U'ye  
    lB/ ^  
    :@E^oNKa0  
    :2NV;7Wke6  
    ^{0*?,-x  
    QQ:2987619807 U1/ww-!Z  
     
    分享到