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摘要 uyFn}y62 :lK4
db 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 }w@gj"\H h4Ia>^@ =O,JAR"ug 概述 h'l^g%; 7IW> >RBF =D].` •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 >dk9f}7- •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 {]^2R>0Q •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 S8%n .<OB !qA8Zky_
IZ 8y}2 NhA#bn9y? 衍射级次的效率和偏振 Q2eXK[?* )r9b:c\ w>qCg XU3
•通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。
: tM?%=Q •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 H?uukmZl •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 ANMYX18M •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 Gy!P,a)z •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 .Pw%DZ'
3sFeP& /)9W1U^B 光栅结构参数 Pr+~Kif Q2/.6O8 JRO$< •此处探讨的是矩形光栅结构。 i[150g?K •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 HM&1yubh# •因此,选择以下光栅参数: -(>qu.[8= - 光栅周期:250 nm =-~;OH/ - 填充系数:0.5 aI(>]sWJ - 光栅高度:200 nm e7xj_QH - 材料n1:熔融石英 ni6r{eSQ - 材料n2:TiO2(来自目录) aqMc6N`z $
[7 Vgs ug*D52? o2=A0ogz? 偏振状态分析 H{V)g s&'BM~WI \k@Z7+&7 •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ->E=&X •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 5|w&dM •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 #U=;T]!'$ j7
d:v7+_
kIvvEh<L= nrpI5t.b 产生的极化状态 !QEL"iJ6M' f:xWu-
#Qbl=o4 k\N4@UK (][LQ6Pc 其他例子 :Q@)*kQH 0oU=RbC ;/LD)$_ •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 [vTMS2 •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 GBP-V66 =Q(vni83< @Bs0Avj. u3ZCT" ! 光栅结构参数 feEMg "tu*YNP\Q &~-~5B|3" •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ^#e~g/ •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 G'x .NL •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 :b/jNHJU •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 [@"wd_f{l
H4<Nnd\ P<;7j? 光栅#1 TJy4<rb nWWM2v
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3T,&?r |(% u}V? i0pU!`0 •仅考虑此光栅。 onte&Ed\ •假设侧壁表现出线性斜率。 D>sYPrf •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 hu5!ev2 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 orIQ~pF# RT*5d;l0 Llz['"m 假设光栅参数: 2t1I3yA'{z •光栅周期:250 nm {G*QY%j^ •光栅高度:660 nm H:S,\D?%2x •填充系数:0.75(底部) ZR3nK0 •侧壁角度:±6° MZv\ C •n1:1.46 S~F` •n2:2.08 p!W[X%`) )\ 0F7Z 光栅#1结果 9dKul,c 8_we:
9A R+=a`0_S •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 \4bWWy •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 :tGYs8UK •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 vR hnX kA#vByf`v d"THt} G?hK9@ |v 光栅#2 O/OiQ^T yA7)Y})>
<GIwRVCU F $yO 0SV \{]2 •同样,只考虑此光栅。 [CN$ScK, •假设光栅有一个矩形的形状。 ,M6ZZ* ,e •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 ($!KzxF3 假设光栅参数: %mI~
=^za •光栅周期:250 nm *\XH+/]+ •光栅高度:490 nm m],Ud\ •填充因子:0.5 )0CQP •n1:1.46 .v`b[4M4 •n2:2.08 xJ(:m<z z,Lzgh 光栅#2结果 N{joXHCu 'K@0Wp [*Ju3 •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 sH!O0WL •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 LAs7>hM •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 Dpqt;8"2L x8[MP?Wz
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