切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2175阅读
    • 0回复

    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    7172
    光币
    30001
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 -e ml  
    b/<mRQ{  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 os$nL'sq  
    NfwYDY  
    i2PZ'.sL  
    概述 Y)M8zi>b  
    _ 08];M|  
    3.vgukkk5  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 DMZ`Sx  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 &U"X $aFc  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 yC !/PQ"  
    7pet Hi  
    XP?*=Z]  
    /\E [  
    衍射级次的效率和偏振
    m^I,}1H4  
    Zw$ OKU  
    *)>do L  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 ai;\@$ cq  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 Yc`<S   
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 d ?hz LX  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 kNPDm6m  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 S~3\3qt$  
    6sB$<#  
    |J3NR`-R  
    光栅结构参数 !/hsJ9  
    nl n OwyMJ  
    }1QF+C f  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 Fr5 Xp  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 "!L kp2\  
    •因此,选择以下光栅参数: YaL]>.;Z:"  
    - 光栅周期:250 nm Hwu4:^OL|  
    - 填充系数:0.5 "C74  
    - 光栅高度:200 nm {1~T]5  
    - 材料n1:熔融石英 : ejJV 6.  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) uLVBM]Qj  
    };S0 G!  
    n29(!10Px  
    #a,9B-X  
    偏振状态分析 C6QbBo  
    'M/ ([|@  
    z"379b7cN  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 w>979g  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 DDw''  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 ::"E?CQLV  
     `w<J25  
    KQmZ#W%2m  
    IOEM[zhb$  
    产生的极化状态 `# ^0cW  
    ctJ&URCi#  
    SSmHEy*r)  
    )^/0cQcJ  
    D:E9!l'  
    其他例子 9_huI'"p  
    cm@;*  
    KCtX $XGL  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 1;wb(DN*c  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 !'W-6f  
    9UD @MA  
    L`3n2DEBf  
    q#[`KOPV  
    光栅结构参数 TlRk*/PlJ  
    'Q|c@t  
    n?QZFeI`  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 i_l+:/+G+  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 r@$ w*%  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 ?[TW<Yx  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 /[pqI0sf<A  
    j _ ;fWBD:  
    WS,7dz  
    光栅#1 &<1 `O  
    FPv" N'/  
    Y25uU%6t_  
    )[&zCq Dc  
    {o|k.zy  
    •仅考虑此光栅。 %ROwr[Dj=  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 xRxy|x[  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 ClQe4uo{  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 w^;DG  
    (S9f/i ^  
    ,XB%\[pKe  
    假设光栅参数: jk7 0u[\  
    •光栅周期:250 nm "wM1qX  
    •光栅高度:660 nm ct n, ]ld  
    •填充系数:0.75(底部) ^T079=$5  
    •侧壁角度:±6° S`= WF^  
    •n1:1.46 ~W{-Q.  
    •n2:2.08 AW8'RfC.  
    (Hp'B))2  
    光栅#1结果 gH7z  
    .SS<MDcqIt  
    R7_VXvm>z  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 o"+ i&Wp~  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 A lwtmDa  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    ~]fJlfR*  
    ,=PKd&  
    }Dfwm)]Q  
    Tls a%pn  
    光栅#2 OAe#Wf!c  
    o0I9M?lP  
    1ThqqB  
    5<R%H{3j  
    iHBB,x  
    •同样,只考虑此光栅。 rAukHeH  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 "(TkJbwC[  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 H^AE|U*-G  
    假设光栅参数: Y A&`&$  
    •光栅周期:250 nm MXZ>"G  
    •光栅高度:490 nm 8q^o.+9  
    •填充因子:0.5 K4 %/!`  
    •n1:1.46 @;^Y7po6u  
    •n2:2.08
    YT-=;uK^S  
    MC!ZX)mF  
    光栅#2结果 [EZYsOr.  
    ALT^8c&K  
    QMp r v*i  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 4IsG=7   
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 Sycw %k  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 <+U|dX  
    Ew,T5GG  
    elO<a]hX  
    文件信息 }DjYGMrTB  
    a. %LHb  
    cxyM\@QB3  
    0kDBE3i#  
    ZxHJ<2oD  
    QQ:2987619807 SoQR#(73HK  
     
    分享到