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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 o,| LO$~  
    QEKRAPw  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 Xb0$BAP  
    _[zZm*  
    z 6~cm6j  
    概述 Gp0H[-oF  
    6S#Y$2 P  
    ZLsfF =/G  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 t' )47k\  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 U} EaV<  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 `6`p~  
    ao4"=My*G  
    <Fkm7ME]  
    yc4?'k!  
    衍射级次的效率和偏振
    +_.k\CRms  
    YCv)DW;  
    ==zt)s.G(+  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 z >EOQe  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 ?gknJ:  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 W[pOLc-  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 |Ai/q6u  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 K gN=b  
    b2}>{Li0  
    NSQ}:m  
    光栅结构参数 {M`yYeo  
    #nK38W#  
    l(c2 B  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 i!H)@4jX  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 c$Vu/dgx  
    •因此,选择以下光栅参数: 4*k>M+o/C4  
    - 光栅周期:250 nm O$Wi=5  
    - 填充系数:0.5 ;yfKYN[  
    - 光栅高度:200 nm bW"bkA80  
    - 材料n1:熔融石英 bsfYz  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) Z XCq>  
    w_c)iJ  
    `pMI @"m  
    ChvSUaCS  
    偏振状态分析 75@!j[QL<  
    *QKxrg  
    SM57bN  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 u/wWP4'$J@  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 U0%T<6*H  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 #?x!:i$-  
    {e'P* j  
    i D6f/|g  
    '}4z=f`}  
    产生的极化状态 l ga%U~  
    vbt0G-%Z  
    r6.`9  
    JD`IPQb~E  
    qPI\Y3ZU  
    其他例子 #'DrgZ)W  
    {Ad4H[]|]  
    sj9j 47y  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 X8}m %  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 s ;3k#-w  
    lN(|EI  
    M =/+q  
    Tu!2lHK;  
    光栅结构参数 jHPkfwfAF  
    BlLK6"gJT  
    ,9A1p06  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ^sF/-/ {?U  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 B$=oU   
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 DOaTp f  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。  :EGvI  
    @AB}r1E2  
    }3825  
    光栅#1 FT F`-}Hz  
    :VkuK@Th`  
    OLH[F  
    T!f+H?6  
    _p^?_  
    •仅考虑此光栅。 #QUQC2P(~  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 u=6LPwiI  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Cs!z3QU  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 pZ`^0#Fo  
    2_/H,  
    +YJpVxYmZ  
    假设光栅参数: ~=P#7l\o1  
    •光栅周期:250 nm /"J3hSR  
    •光栅高度:660 nm +$uQ_ve  
    •填充系数:0.75(底部) A!^ d8#~.  
    •侧壁角度:±6° ; b`kN;s  
    •n1:1.46 Z|#G+$"QV  
    •n2:2.08 wsKOafrV  
    +=Y[RCXT  
    光栅#1结果 4)Bk:K  
    We`6# \Z X  
    @<TC+M5!  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 yI{4h $c  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 W>_K+: t  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    ixvF `S9  
    gLss2i.r  
    ;hV-*;>  
    0Yk$f1g  
    光栅#2 ?3_^SRW&a  
    _x`oab0@  
    I&J>   
    6M#}&Gv  
    b Y2:g )  
    •同样,只考虑此光栅。 4=nh' U38  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 8C=8Wjm  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 TFZxk  
    假设光栅参数: =h>jo&=Wad  
    •光栅周期:250 nm (|2:^T+  
    •光栅高度:490 nm }~#Tsv  
    •填充因子:0.5 YlC$L$%Zd.  
    •n1:1.46 o.g)[$M8cF  
    •n2:2.08
    h( DmSW  
    8b[<:{[YB  
    光栅#2结果 adn2&7H  
    X|'[\v2ld  
    Vv&GyqoO]  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 1>=]lMW  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 nIqNhJ+  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 p f`vH`r  
    n`X}&(O  
    c6Z"6-}$  
    文件信息 l+#uQo6cqQ  
    bO'?7=SC  
    Y`*h#{|  
    |/X+2K}3  
    "=Cjm`9~j  
    QQ:2987619807 v05$"Ig  
     
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