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摘要 o,| LO$~ QEK RAPw 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 Xb0$BAP _[zZm* z6~cm6 j 概述 Gp0H[-oF 6S#Y$2
P ZLsfF
=/G •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 t')47k\ •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 U} EaV< •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 `6`p ~ ao4"=My*G
<Fkm7ME] yc4?'k! 衍射级次的效率和偏振 +_.k\CRms YCv)DW; ==zt)s.G(+ •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 z >EO Qe •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 ?gknJ: •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 W[pOLc- •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 |Ai/q6u •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 K gN=b
b2}>{Li0 NSQ}:m 光栅结构参数 {M`yYeo #nK38W# l(c2 B •此处探讨的是矩形光栅结构。 i!H)@4jX •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 c$Vu/dgx •因此,选择以下光栅参数: 4*k>M+o/C4 - 光栅周期:250 nm O$Wi=5 - 填充系数:0.5 ;yfKYN[ - 光栅高度:200 nm bW"bkA80 - 材料n1:熔融石英
bsfYz - 材料n2:TiO2(来自目录) ZXCq> w_c)iJ `pMI@"m ChvSUaCS 偏振状态分析 75@!j[QL< *QKxrg SM57bN •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 u/wWP4'$J@ •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 U0%T<6*H •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 #?x!:i$- {e'P*j
i D6f/|g '}4z=f`} 产生的极化状态 l ga%U~ vbt0 G-%Z
r 6.`9 JD`IPQb~E qPI\Y3ZU 其他例子 #'DrgZ)W {Ad4H[]|] sj9j47y •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 X8}m
% •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 s ;3k#-w lN(|EI M =/+q Tu!2lHK; 光栅结构参数 jHPkfwfAF BlLK6"gJT ,9A1p06 •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ^sF/-/ {?U •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 B$ =oU •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 DOaTp f •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 :EGvI
@AB}r1E2 }3825 光栅#1 FTF`-}Hz :VkuK@Th`
OLH[F T!f+H?6 _p^?_ •仅考虑此光栅。 #QUQC2P(~ •假设侧壁表现出线性斜率。 u=6LPwiI •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Cs!z3QU •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 pZ`^0#Fo 2_/H, +YJpVxYmZ 假设光栅参数: ~=P#7l\o1 •光栅周期:250 nm /"J3hSR •光栅高度:660 nm +$uQ_ve •填充系数:0.75(底部) A!^
d8#~. •侧壁角度:±6° ;b`kN;s •n1:1.46 Z|#G+$"QV •n2:2.08 wsKOafrV +=Y[RCXT 光栅#1结果 4)Bk:K We`6# \Z X @<TC+M5! •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 yI{4h $c •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 W>_K+:t •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 ixvF`S9 gLss2i.r ;hV-*;> 0Yk$f1g 光栅#2 ?3_^SRW&a _x` oab0@
I&J> 6M#}&Gv b Y2:g ) •同样,只考虑此光栅。 4=nh'
U38 •假设光栅有一个矩形的形状。 8C=8Wjm •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 TFZxk 假设光栅参数: =h>jo&=Wad •光栅周期:250 nm (|2:^T+ •光栅高度:490 nm }~#Tsv •填充因子:0.5 YlC$L$%Zd. •n1:1.46 o.g)[$M8cF •n2:2.08 h( DmSW 8b[<:{[YB 光栅#2结果 adn2&7H X|'[\v2ld Vv&GyqoO] •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 1>=]lMW •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 nIqNhJ+ •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 pf`vH`r n`X}&(O
c6Z"6-}$ 文件信息 l+#uQo6cqQ bO'?7=SC
Y`*h#{| | /X+2K}3 "=Cjm`9~j QQ:2987619807 v05$"Ig
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