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摘要 -eml b/<mRQ{ 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 os$nL'sq Nfw YDY i2PZ'.sL 概述 Y)M8zi>b _ 08];M| 3.vgukkk5 •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 DMZ`Sx •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 &U"X$aFc •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 yC
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XP?*=Z] /\E [ 衍射级次的效率和偏振 m^I,}1H4 Zw$
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L •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 ai;\@$ cq •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 Yc`<S •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 d?hz LX •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 kNPDm6m •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 S~3\3qt$
6sB$<# |J3NR`-R 光栅结构参数 !/hsJ9 nl
n OwyMJ }1 QF+Cf •此处探讨的是矩形光栅结构。 Fr5 Xp •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 "!Lkp2\ •因此,选择以下光栅参数: YaL]>.;Z:" - 光栅周期:250 nm Hwu4:^OL| - 填充系数:0.5 "C74 - 光栅高度:200 nm {1~T]5 - 材料n1:熔融石英 :ejJV
6. - 材料n2:TiO2(来自目录) uLV BM]Qj };S0 G! n29(!10Px #a,9B-X 偏振状态分析 C6QbBo 'M/([|@ z"379b7cN •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 w> 979g •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 DDw'' •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 ::"E?CQLV
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KQmZ#W%2m IOEM[zhb$ 产生的极化状态 `# ^0cW ctJ&URCi#
SSmHEy*r) )^/0cQcJ D:E9!l' 其他例子 9_huI'"p cm@;* KCtX$XGL •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 1;wb(DN*c •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 !'W- 6f 9UD
@MA L`3n2DEBf q#[`KOPV 光栅结构参数 TlRk*/PlJ 'Q|c@t n?QZFeI` •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 i_l+:/+G+ •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 r@$ w*% •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 ?[TW<Yx •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 /[pqI0sf<A
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_ ;fWBD: WS,7dz 光栅#1 &<1`O FPv"N'/
Y25uU%6t_ )[&zCqDc {o|k.zy •仅考虑此光栅。 %ROwr[Dj= •假设侧壁表现出线性斜率。 xRxy|x[
•蚀刻不足的部分基板被忽略了。 ClQe4uo{ •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 w^;DG (S9f/i^ ,XB%\[pKe 假设光栅参数: jk70u[\ •光栅周期:250 nm "wM1 qX •光栅高度:660 nm ctn,
]ld •填充系数:0.75(底部) ^T079=$5 •侧壁角度:±6° S`=WF^ •n1:1.46 ~W{-Q. •n2:2.08 AW8'RfC. (Hp' B))2 光栅#1结果 gH7z .SS<MDcqIt R7_VXvm>z •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 o"+
i&Wp~ •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 A lwtmDa •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 ~]fJlfR* ,=PKd& }Dfwm)]Q Tlsa%pn 光栅#2 OAe#Wf!c o0I9M?lP
1ThqqB 5<R%H{3j iHBB,x •同样,只考虑此光栅。 rAukHeH •假设光栅有一个矩形的形状。 "(TkJbwC[ •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 H^AE|U*-G 假设光栅参数: YA&`&$ •光栅周期:250 nm MXZ>"G •光栅高度:490 nm 8q^o.+9 •填充因子:0.5 K4%/!` •n1:1.46 @;^Y7po6u •n2:2.08 YT-=;uK^S MC!ZX)mF 光栅#2结果 [EZYsOr. ALT^8c&K QMp rv*i •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 4IsG=7 •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 Sycw %k •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 <+U|dX Ew,T 5GG
elO<a]hX 文件信息 }DjYGMrTB a.%LHb
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