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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 4s- !7  
    kVgTGC"L=  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 3fj4%P"  
    tmq OJ  
    [,Gg^*umS  
    概述 6x`t{g]f,  
    js(pC@<q5  
    Z@HEj_n  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 j#|ZP-=1_  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 }2jn[${ pr  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 H_a[)DT  
    7!1S)dup  
    (PL UFT  
    cuX)8+  
    衍射级次的效率和偏振
    #a#F,ZT  
    O- wzz  
    V3Bz Mw\9r  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 _BufO7 `.  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 5BIY<B+i  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 dtDFoETz  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 &>O+}>lr9  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 =;L|gtH"  
    #!=tDc &  
    ZJoM?g~WFI  
    光栅结构参数 6tZI["\   
    ! nx{ X  
    WJi]t93  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 UKGPtKE<  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 y_)FA"IkE  
    •因此,选择以下光栅参数: tbr=aY$jY  
    - 光栅周期:250 nm +`4A$#$+y  
    - 填充系数:0.5 lE;!TQj:X  
    - 光栅高度:200 nm @Qe0! (_=  
    - 材料n1:熔融石英 rv;3~'V  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) P?<y%c<  
    )b)zm2;  
    Ri'n  
    @EAbF>>  
    偏振状态分析 NK+o1   
    \vNU,WO  
    %O<BfIZ  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 2oW"'43X  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ,4 rPg]r@  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 zs;JJk^  
    (H]AR8%W  
    1YA% -~  
    '-6~tWC~7  
    产生的极化状态 g0H[*"hj  
    Rcv9mj]l  
    0(I j%Wi,  
    a.'*G6~Qgw  
    b6[j%(   
    其他例子 N!32 wJ  
    C~[,z.FvO  
    :,^gj  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 c,22*.V/  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 g0 [w-?f  
    ;4a{$Lw~^9  
    Bq>m{  
    AGno6g  
    光栅结构参数 DlT{`  
    BY*Q_Et  
    h![#;>(  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 P2!C|SLK  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 l,: F  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 t5zKW _J7  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 4YHY7J  
    Fi1@MG5$2  
    P4?glh q#  
    光栅#1 7rA;3?p)  
    y]im Z4{/  
    :EH=_"  
    k8Xm n6X  
    :LTN!jj  
    •仅考虑此光栅。 YP9^Bp{0  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 ccnK#fn v  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 -+5>|N#  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 fV:83|eQ  
    &R siVBA  
    IAEAhqp  
    假设光栅参数: 2(nlJ7R  
    •光栅周期:250 nm OH"XrCX7n  
    •光栅高度:660 nm &?vgP!d&M  
    •填充系数:0.75(底部) W`&hp6Jq  
    •侧壁角度:±6° 6,uX,X5  
    •n1:1.46 m3ff;,  
    •n2:2.08 8] ikygt"  
    '!$%> ||S  
    光栅#1结果 7Qsgys#/=  
    ap~^Ty<>  
    v}(WaO#S  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 mqJ_W[y7  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 +*^H#|!  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    b6M  
    s <Fl p  
    x`?3C"N:<  
    akT6^cP^  
    光栅#2 p:%loDk  
    X jX2]  
    VD:/PL  
    O~QB!<Q+  
    05k0n E  
    •同样,只考虑此光栅。 g ci    
    •假设光栅有一个矩形的形状。 \4#W xZ  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Lp7SLkwh3M  
    假设光栅参数: bTu9;(  
    •光栅周期:250 nm p$>l7?h  
    •光栅高度:490 nm F>cv<l =6l  
    •填充因子:0.5 ]fD} ^s3G  
    •n1:1.46 :eg4z )  
    •n2:2.08
    Z<4AL\l 98  
    o lxByzTh>  
    光栅#2结果 <|\Lm20 G]  
    IMfqiH)  
    N36_C;K-z  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 ;'Nd~:-]  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 &w~d_</  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 LD g?'y;2  
    "Yca%:  
    ym6K !i]q4  
    文件信息 @fV9 S"TcM  
    <rmvcim{*  
    l0hlM#  
    N&V`K0FU  
    e*n@j  
    QQ:2987619807 L~>i,  
     
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