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摘要 4s-!7 kVgTGC"L= 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 3fj4%P" tmq OJ [,Gg^*umS 概述 6x`t{g]f, js(pC@<q5 Z@HEj_n •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 j#|ZP-=1_ •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 }2jn[${ pr •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 H_a[)DT 7!1S)dup
(PLUFT cuX)8+ 衍射级次的效率和偏振 #a#F,ZT O-wzz V3Bz
Mw\9r •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 _BufO7`. •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 5BIY<B+i •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 dtDFoETz •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 &>O+}>lr9 •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 =;L|gtH"
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& ZJoM?g~WFI 光栅结构参数 6tZI["\ !
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X WJi]t9 3 •此处探讨的是矩形光栅结构。 UKGPtKE< •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 y_)FA"IkE •因此,选择以下光栅参数: tbr=aY$jY - 光栅周期:250 nm +`4A$#$+y - 填充系数:0.5 lE;!TQj:X - 光栅高度:200 nm @ Qe0! (_= - 材料n1:熔融石英 rv;3~'V - 材料n2:TiO2(来自目录) P?<y%c< )b)z m2; Ri'n @EAbF>> 偏振状态分析 NK+o1 \vNU,WO %O<BfIZ •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 2oW"'43X •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ,4rPg]r@ •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 zs;JJk^ (H]AR8%W
1YA% -~ '-6~tWC~7 产生的极化状态 g0H[*"hj Rcv9mj]l
0(Ij%Wi, a.'*G6~Qgw b6[j%(
其他例子 N!3 2 wJ C~[,z.FvO :,^gj •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 c,22*.V/ •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 g0
[w-?f ;4a{$Lw~^9 Bq>m{ AGno6g 光栅结构参数 DlT{` BY*Q_Et h![#;>( •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 P2!C|SLK •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 l,:F •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 t5zKW _J7 •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 4YHY7J
Fi1@MG5$2 P4?glh q# 光栅#1 7rA;3?p) y]imZ4{/
:EH=_" k8Xm n6X :LTN!jj •仅考虑此光栅。 YP9^Bp{0 •假设侧壁表现出线性斜率。 ccnK#fn v •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 -+5>|N# •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 fV:83|eQ &R siVBA IAEAhqp 假设光栅参数: 2(nlJ7R •光栅周期:250 nm OH"XrCX7n •光栅高度:660 nm &?vgP!d&M •填充系数:0.75(底部) W`&hp6Jq •侧壁角度:±6° 6,uX,X5 •n1:1.46 m3ff;, •n2:2.08 8] ikygt" '!$%> ||S 光栅#1结果 7Qsgys#/= ap~^Ty<> v}(WaO#S •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 mqJ_W[y7 •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 +*^H#|! •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 b6 M s<Fl p x`?3C"N:< akT6^cP^ 光栅#2 p:%loDk X jX2]
VD :/PL O~QB!<Q+ 05k0n E •同样,只考虑此光栅。 g ci •假设光栅有一个矩形的形状。 \4#W xZ •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Lp7SLkwh3M 假设光栅参数: bTu9;( •光栅周期:250 nm p$>l7?h •光栅高度:490 nm F>cv<l
=6l •填充因子:0.5 ]fD}
^s3G •n1:1.46 :eg4z ) •n2:2.08 Z<4AL\l 98 o lxByzTh> 光栅#2结果 <|\Lm20G] IMfqiH) N36_C;K-z •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 ;'Nd~:-] •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 &w~d_</ •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 LDg?'y;2 "Yca%:
ym6K!i]q4 文件信息 @fV9
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l0hlM# N&V`K0FU e*n@j QQ:2987619807 L~>i,
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