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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 (8$; 4q[!  
    )uJu.foE  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 (/oHj^>3N`  
    2^*a$ OJ  
    $^ wqoW%t  
    概述 @+,J^[ y  
    M y vyp  
    @S%ogZz*m  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 !MNnau%O  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 f=f8) +5  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 !i`HjV0wS  
    \*(A1Vk  
    1_aUU,|.  
    5R?[My  
    衍射级次的效率和偏振
    ?)# qBE ]  
    !pwY@} oL  
    =gYKAr^p5  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 U<aT%^_  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 h yPVt6Gkj  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 Bj-80d,  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 aT[qJbp1  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 V2&O]bR  
    VXM5 B  
    bJ$6[H-:  
    光栅结构参数 C1V@\mRi  
    4=T.rVS[  
    ?aMV{H*Q*  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 de&*#O5  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 WlJ $p$I`  
    •因此,选择以下光栅参数: -{^IT`  
    - 光栅周期:250 nm sX :)g>b   
    - 填充系数:0.5 %O=U|tuc$  
    - 光栅高度:200 nm p,)~w1|  
    - 材料n1:熔融石英 TH%J=1d  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) lHTW e'  
    =FB[<%  
    A$H;2T5N  
    b#17N2xkT  
    偏振状态分析 #%=6DHsK  
    D<DSK~  
    ++HHUM  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 =tS1|_  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 sb]{05:  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 $CXMeY{tOo  
    4=Wtv/ 3  
    \$iU#Z  
    y,.X5#rnX*  
    产生的极化状态 T&ECGF;Y/  
    6ojEEM  
    hhqSfafUX  
    W`qiPLk  
    TN+iv8sT  
    其他例子 r}9a3 1i  
    %ja8DRQ.  
    74h[YyVi  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 lU}y%J@  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 gc y'"d"  
    LhfI"fc  
    g}vOp3 ^  
    oC~8h8"l  
    光栅结构参数 MKnG:)T<?l  
    <#[_S$54  
    #lf3$Tm D  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 em@bxyMm  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 w[WyT`6h!  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 x=/`W^t2  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 ^"U-\cx  
    Ny\c>$z  
    7eM:YqT/#  
    光栅#1 lJ'. 1Z&  
    P$ a `8~w  
    RSK~<Y@]q{  
    \e=Iw"yd  
    \BoRYb9h  
    •仅考虑此光栅。 `YK2hr  
    •假设侧壁表现出线性斜率。  wfecM(  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 e]1&f.K  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 ({R-JkW: ;  
     Xf4   
    gH0' Ok'  
    假设光栅参数: DaA9fJ7a   
    •光栅周期:250 nm FuWMVT`Y  
    •光栅高度:660 nm HFtl4P  
    •填充系数:0.75(底部) F7FUoew<  
    •侧壁角度:±6° MM+xm{4l  
    •n1:1.46 go6XUe  
    •n2:2.08 Ve]ufn6  
    efc<lSUR  
    光栅#1结果 f>*D@TrU  
    k2"DFXsv  
    h~!KNF*XW  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 hPb erc2  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 0ESxsba  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    3?R56$-+  
    _F2 R x@Y  
    gB&8TE~Y  
    5-=&4R\k  
    光栅#2 #><P28m  
    ],?rFK{O  
    3@t&5UjwQ  
    GG9YAu  
    E`"<t:RzF  
    •同样,只考虑此光栅。 CTNeh%K;  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 RS8tE(  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 a/ k0(  
    假设光栅参数: xw>\6VNt  
    •光栅周期:250 nm (oftq!X2  
    •光栅高度:490 nm ]12ypcf  
    •填充因子:0.5 _3;vir%)  
    •n1:1.46 )jS9p~FS  
    •n2:2.08
    LU=<? "N6  
    aJ4y%Gy?  
    光栅#2结果 XBmAD!  
    J&B>"s,  
    0LjF$3GpZ  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 ' )0eB:  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 bzl-|+!yB  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 (3_m[N\F  
    ,?3)L   
    B@8M2Pl  
    文件信息 h@^d Vg  
    ^#V7\;v$G  
    6]Vf`i  
    q JdC5z\[  
    N084k}io  
    QQ:2987619807 daX$=n  
     
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