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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 \ m 2[  
    N}.h_~6  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 TKj9s'/  
    h2uO+qEsu  
    ng<|lsZd  
    概述 nQ/(*d  
    .}a@OLJd  
    J+Y&a&j.  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 N"HN] Y@w  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 V3F2Z_VH2  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 -FE5sW  
    Sy8o/-  
    q]'VVlP)  
    (K0FWTmm  
    衍射级次的效率和偏振
    0=-h9W{zI  
    .F%RW8=Q  
    bpKb<c  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 .@1\26<  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 8FbBv"LI,g  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 |@V<}2zCZ  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 o.y4&bC14;  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 &z%7Nu  
    MIi:\m5  
    s_E iA _  
    光栅结构参数 &b{L|I'KYT  
    mufF_e)  
    _gw~A {O  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 #[Ns\%Ri0  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 u~a<Psp&|  
    •因此,选择以下光栅参数: 7\5 [lM  
    - 光栅周期:250 nm 1/ j}VC  
    - 填充系数:0.5 w[]7{ D];  
    - 光栅高度:200 nm CX\# |Q8q  
    - 材料n1:熔融石英 $yc&f(Tv  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) |bB..b  
    |A0kbC.  
    qj=12;  
    OG}0{?  
    偏振状态分析 ~ TurYvf  
    LH0\SmhU  
    ^Z2%b>  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 =p^*y-z  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 tXPS@4F  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 2Ni2Gkf@  
    BA L!6  
    7F.>M  
    [,G]#<G?q  
    产生的极化状态 .B>|>W O  
    K;S&91V)=  
    VZw("a*TB  
    @HaWd 3  
    rZGA9duy  
    其他例子 !4-NbtT  
    PvKe|In(  
    =d( 6 )  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 Q/0;r{@Tq}  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 P_Po g^  
    Y$Os&t@bu  
    cUS2* 7h  
    g/JAr<  
    光栅结构参数 *4=Fy:R]O  
    42Ql^ka  
    RC\TPG/8!  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ZtDHN L  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 {s_0[>  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 +.[#C5  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 Y5Ey%M m6  
    5%,n[qj4IT  
    y\)bxmC  
    光栅#1 7.akp  
    %Sxy!gGz%%  
    j+Wgjf  
    aLhTaB-va  
    9$S2:2(G  
    •仅考虑此光栅。 yTbBYx9Bi  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 P),%S9jP;  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 I>G)wRpfR'  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 p7 2+:I  
    }{E//o:Ta  
    zXZy:SD  
    假设光栅参数: )mwY] !  
    •光栅周期:250 nm rA{h/T"  
    •光栅高度:660 nm kZF\V7k  
    •填充系数:0.75(底部) H${Ym BG  
    •侧壁角度:±6° uyAhN  
    •n1:1.46 qY#*zx  
    •n2:2.08 ; Sh|6  
    6o6!O l  
    光栅#1结果 :GGsQ n  
    $+*ZsIo   
    $0cMrf@  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 LhV4 ^\+  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 -cIc&5CS  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    |!IJ/ivEgw  
    Rp.@  
    g/V C$I!'  
    EA?:GtH  
    光栅#2 r]8tl  
    <*4=sX@  
    y~U+MtSf#  
    o&I 0*~ sN  
    5Ko "-  
    •同样,只考虑此光栅。 EKwS~G.b!  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 s?OGB}  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 .%~ L  
    假设光栅参数: @A$%baH0  
    •光栅周期:250 nm q@Q|oB0W$)  
    •光栅高度:490 nm G++kU o<  
    •填充因子:0.5 r@s, cCK9?  
    •n1:1.46 MZ0uc2L=  
    •n2:2.08
    <|.S~HLTQ  
    uiHlaMf  
    光栅#2结果 ?9=yo5M}  
    hRc\&+#/  
    rKi)VVkx_  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 F(SeD)ml  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 Q9W*)gBv n  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 7B7I'{d  
    Jz3q Pr  
    Q5ohaxjF  
    文件信息 E7*1QR{Q  
    W,wg@2  
    j7"E0Wc^o_  
    5<d Y,FvX  
    p'xj:bB  
    QQ:2987619807 xx/DD%IZ  
     
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