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摘要 H~:g=Zw 1yeD-M"w 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 iztgk/(+G bNoZ{ 7
-:wV3D 概述 %v^qQWy=* 2]r5e; xX~m Fz0C •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 McN'J.Sxp •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 6K >(n •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 BJqb'Hjd v'Up& /(
WK.,q># N8!e(YK_ 衍射级次的效率和偏振 fL gHQ F^!mgU X bf[l4$3k •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 - @KT# •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 y;hco •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 clr]gib •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 HBw0N? •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 4Cvo^k/I
W\e!rq @VsK7Eo 光栅结构参数 6X$\:> v^ 1x} u;8bbv4 •此处探讨的是矩形光栅结构。 ^AO2%09.S •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 U"Z%_[* •因此,选择以下光栅参数: ]`}EOS-Q
- 光栅周期:250 nm 5zt5]zl' - 填充系数:0.5 6|1#Prj - 光栅高度:200 nm ^{g+HFTA@ - 材料n1:熔融石英 Z3iX^ - 材料n2:TiO2(来自目录) 24Htr/lPCT =[Tf9uQY A^F0}MYT dW#l3_'3T 偏振状态分析 u_$Spbc]/ 92*Y( > >JN[5aus •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 oXqx]@7 •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 &oDu$%dkT •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 ;fv/s]X86I ;giT[KK
vpk~,D07yR 3[To"You 产生的极化状态 uL@'Hv A @'S !G"\
;] #Q! AdRt\H < yy\d<-X~ 其他例子 Zg!E}B:z 1;+(HB {>#4{D00 •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ' :,p6 •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 nZUBblRJ) {7FD-Q[tS =v=H{*dWA 8f#&CC!L 光栅结构参数 }-M%$~` "gi 1{ $ZE"o`=7 •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 z^9df( •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 t`A5wqm •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 Gt?ckMB •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 YCB=RT]&`
HLDg_ On8 )TgjaR9G 光栅#1 [Uu!:SZ 0CUUgwA/
^VB_>|UN4 gOA]..lh jhSc9 •仅考虑此光栅。 {-\VX2:;[9 •假设侧壁表现出线性斜率。 Hk;) l3oB •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 7~ok*yG w •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 q
oVp@=\:" 81U(*6 }!RFX)T 假设光栅参数: _ ;_NM5 •光栅周期:250 nm Mo+HLN •光栅高度:660 nm LP:C9Ol\ •填充系数:0.75(底部)
&+Pcu5 •侧壁角度:±6° 'm+)n08[ •n1:1.46 Z"G@I= Q( •n2:2.08 fmj-&6 ~4+=C\r 光栅#1结果 bi[gyl# hSDuByoi QK%6Ncv •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 p,+$7f1S •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 $ OMGo`z •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 q#N8IUN}4 NbnuQPb' "J%/xj hUy\)GsT 光栅#2 w/HGmVa YkLEK|d
v-@xO&< ,-*oc> rTjV/~ •同样,只考虑此光栅。 ,kKMUshBi •假设光栅有一个矩形的形状。 Ni[2 p •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 {'#^ 假设光栅参数: v1Lu.JQC$ •光栅周期:250 nm Iz\IQa •光栅高度:490 nm 85 tQHm6j •填充因子:0.5 X}v]iX •n1:1.46 RHGs(d7- •n2:2.08 ~Xg@,?Zr S:GX!6> 光栅#2结果 PuhFbgxy )_nc;&%w )Aky:kM$ •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 xA9{o+ •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 p}NIZ)]$ •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 :8bz+3p NQ@."8
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