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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要 H~:g =Zw  
    1y eD-M"w  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 iztgk/(+G  
    bNoZ{ 7  
    -:wV3D  
    概述 %v^qQWy=*  
    2 ]r5e;  
    xX~m Fz0C  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 McN'J. Sxp  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 6K >(n  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 BJqb'H jd  
    v'Up& /(  
    WK.,q>#  
    N8!e(Y K_  
    衍射级次的效率和偏振
    fL gHQ  
    F^!mgU X  
    bf[l4$3k  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 - @KT#  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 y;hco  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 clr]gib  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 HBw0 N?  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 4Cvo^k/I  
    W\e!rq  
    @VsK7Eo  
    光栅结构参数 6X$\:>  
    v^ 1x}  
    u;8bbv4  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 ^AO2%09.S  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 U"Z %_[*  
    •因此,选择以下光栅参数: ]`}EOS-Q  
    - 光栅周期:250 nm 5zt5]zl'  
    - 填充系数:0.5 6|1#Prj  
    - 光栅高度:200 nm ^{g+HFTA@  
    - 材料n1:熔融石英 Z3iX^  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) 24Htr/lPCT  
    =[Tf9u QY  
    A^F0}MYT  
    dW#l3_'3T  
    偏振状态分析 u_$Spbc]/  
    92*Y( >  
    >JN[5aus  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 oXqx]@7  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 &oDu$%dkT  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 ;fv/s]X86I  
    ;giT[KK  
    vpk~,D07yR  
    3[To"You  
    产生的极化状态 uL@'Hv A  
    @'S !G"\  
    ;] #Q!  
    AdRt\H<  
    yy\d<-X~  
    其他例子 Zg!E}B:z  
    1;+(HB  
    {>#4{D00  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 ':,p6  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 nZUBblRJ)  
    {7FD-Q[tS  
    =v=H{*dWA  
    8f#&CC!L  
    光栅结构参数 }-M% $ ~`  
    " gi 1{  
    $ZE"o`=7  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 z^9df(  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 t`A5wqm  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 Gt?ckMB  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 YCB=RT]&`  
    HLDg_ On8  
    )TgjaR9G  
    光栅#1 [Uu!:SZ  
    0CUUgwA /  
    ^VB_>|UN4  
    gOA]..lh  
    jhSc9  
    •仅考虑此光栅。 {-\VX2:;[9  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 Hk;) l3oB  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 7~ok*yGw  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 q oVp@=\:"  
    81U(*6  
    }!RFX)T  
    假设光栅参数: _ ;_NM5  
    •光栅周期:250 nm Mo+HLN  
    •光栅高度:660 nm LP:C9 Ol\  
    •填充系数:0.75(底部)  &+Pcu5  
    •侧壁角度:±6° 'm+)n08[  
    •n1:1.46 Z"G@I= Q(  
    •n2:2.08 fmj-&6  
    ~4+=C\r  
    光栅#1结果 bi[gyl#  
    hSD uByoi  
    QK%6Ncv  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 p,+$7f1S  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 $ OMGo`z  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    q#N8IUN}4  
    NbnuQPb'  
    "J%/xj  
    hUy\)GsT  
    光栅#2 w/HGmVa  
    YkLEK|d  
    v-@xO&<  
    ,-*oc>  
    rTjV/~  
    •同样,只考虑此光栅。 ,kKMUshBi  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 Ni[2 p  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 {'#^  
    假设光栅参数: v1Lu.JQC$  
    •光栅周期:250 nm Iz\IQa  
    •光栅高度:490 nm 85 tQHm6j  
    •填充因子:0.5 X} v]iX  
    •n1:1.46 RHGs(d7-  
    •n2:2.08
    ~Xg@,?Zr  
    S:GX!6>  
    光栅#2结果 PuhFbgxy  
    )_nc;&%w  
    )Aky:kM$  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 xA9{o+  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 p}NIZ)]$  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 :8bz+3p  
    NQ@."8  
    X,<n|zp  
    文件信息 it~>)_7*P  
    8*^Q#;^~99  
    5/v@VUzH  
    `\:9 2+  
    h@"dpmpe  
    QQ:2987619807 MKYXYR  
     
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