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    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 ^jZ4tH3K  
    1A-ess\  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 /l$>W<}@  
    tJ!s/|u(  
    @F0+t;  
    fr([g?F%D  
    建模任务 xdd;!HK,  
    *S=zJyAO  
    l<=Y.P_2  
    概观 uP veAK}h  
    .@(9v.:_u  
    7>>6c7e  
    光线追迹仿真 QIZbAnn_  
    x6={)tj  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 .3yxg}E>{  
    {%Q &CQG_  
    •点击Go！ o$+"{3svw?  
    •获得3D光线追迹结果。 E8s&.:;+  
    6+Wkcr h  
     %>Y86>mVz  
    eW^_YG%(  
    光线追迹仿真 *P}v82C N  
    l d4#jV ei  
    j=~c( B  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 +Pm yFJH  
    •单击Go！ r^|AiYI)  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     0755;26Bx  
    }D>nXhO&  
    `cBV+00YS  
    OfSHZ;,  
    场追迹仿真 !R.*Vn[  
    k9pOY]_Y  
    46cd5SLK  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 wa*/Am9;~  
    •单击Go！     HKZD*E((  
    amY\1quD|  
    OPsg3pW!]  
    kxp, ZP  
    场追迹结果（摄像机探测器） {Ex*8sU%p%  
     43 h0i-%1  
    b7_uT`<  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 aOH$}QnS  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 EgT2a  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 Q(\U'|%J  
    SsE8;IGH  
    *6trK`tx^  
     ]d|:&h  
    场追迹结果（电磁场探测器） R|Lr@k{6+r  
    DZI:zsf;5Q  
    toCxY+"nbU  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     =6sL}$  
    ,>rr|O  
    "A6T'nOP  
    文件信息 >5Rcj(-&l  
    ;Xw'WMb*=  
     B8'e,9   
    0*F{=X~L  
     SCZ6:P"$qX  
    QQ：2987619807 oS/cS)N20  
     
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