切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1591阅读
    • 0回复

    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 YM/3VD  
    8&[<pbN)  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 gm\o>YclS  
    $izpH  
    L-:L= snO  
    o0+BQ&A)s*  
    建模任务 Y\9*e5?`I3  
    D$!p+Q  
    $m0x8<7nu  
    概观 lNeF>zz  
    nXaX=  
    ?g#t3j>zoF  
    光线追迹仿真 qy(/   
    F3|pS:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 Vwg|?sG_  
    >(4S `}K  
    •点击Go！  p:>?  
    •获得3D光线追迹结果。 I=Dk'M  
    7tO$'q*h  
     ~W2&z]xD  
    E/-Kd!|"  
    光线追迹仿真 , p=8tf#  
    !*. nR(>d  
    qvT+d l3#[  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 4 J2F>m40  
    •单击Go！ T@.m^|~  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     V~"d`j  
    R6o<p<fTh  
    &fhurzzAm  
    >w#3fTJ  
    场追迹仿真 dnc!=Z89  
    _ll aH  
    2s ,n!u Fd  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 k3h53QTmC  
    •单击Go！     M\4;d #  
    n|2-bRK-  
    KKJ[  
    <a}|G1 h  
    场追迹结果（摄像机探测器） ;9\0x  
     =C2C~Xd  
    'ZgW~G]S  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 7%}}m&A7h  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 qfe%\krN{i  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 3;gtuqwD$  
    !h(0b*FUJ  
    +ANIm^@  
     `3s-\>  
    场追迹结果（电磁场探测器） m;1 exa  
    B y8Tw;aL  
    +Z0E?,Oz  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     ^Exq=oV  
    zX Pj7K*  
    +34jot.!  
    文件信息 7B :aJfxM  
    1k({(\>qq  
       `.-C6!  
    'F~SNIay  
     OyZ>R~c'B  
    QQ：2987619807 G\AQql(f4  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表