切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1592阅读
    • 0回复

    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 t=nZ1GZyM  
    8:t!m>(*  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 >\br8=R  
    niA>afo  
    []lMv ZW  
    h* 72 f/#  
    建模任务 =jEVHIYt  
    p40;@gUug  
    6Y`rQ/F  
    概观 *{:Zdg'~E  
    V15/~  
    ^'%Q>FVb  
    光线追迹仿真 XX7zm_>+  
    MgO_gFr  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 >sjvE4s  
    |.*nq  
    •点击Go！ ;nq"jm  
    •获得3D光线追迹结果。 DD5cUlOSu  
    ;fW`#aE  
     8vkCmV  
    Etn uEU  
    光线追迹仿真 redMlHM  
    WA6reZ  
    `h%K8];<6f  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 d>gQgQ;g  
    •单击Go！ s6F0&L;N&  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     ~9y/MR  
    kyi"U A82  
    >*MGF=.QG  
    YEa<zhO8  
    场追迹仿真 f AY(ro9Q(  
    *(s0X[-  
    }<qZXb1  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 0.\}D:x(z  
    •单击Go！     g@'2 :'\  
    C2CR#b=)i  
    Nwj M=GG  
    G#Kw6  
    场追迹结果（摄像机探测器） x4i&;SP0  
     W|Cs{rBc?  
    uZTbJ3$$  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 n8E3w:A-  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 @Q7^caG  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 \sAkKPI  
    ]eUD3WUe>q  
    OI_Px3) y  
     bE,#,  
    场追迹结果（电磁场探测器） 4/V;g%0uN;  
    b0sj0w/  
    cQ;@z2\  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     7z_ZD0PxPc  
    wV\7  
     wh#IQ.E-  
    文件信息 )(OGo`4Qz  
    ;eJ|) *  
     PWeWz(]0Z4  
    ^M1jv(  
     194n   
    QQ：2987619807 {Hie% 2V  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表