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    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 $ 8WJ$73  
    6H:'_|G  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 *=~X1s  
    FK!UUy;  
    i#1~<U  
    Jz Z9ua  
    建模任务 =F>nqklc  
    :eR[lR^4*  
    \[5mBuk  
    概观 -7\6j#;l  
    uL[%R2  
    a8[Q1Fa4|  
    光线追迹仿真 a"|\n_  
    69tT'U3vb$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 Kj`sq":Je0  
    *d/,Y-tl  
    •点击Go！ {I~[a#^  
    •获得3D光线追迹结果。 J"W+9sI0  
    q1O}dSPwX  
     B$kp\yL  
    k w]m7 T  
    光线追迹仿真 *iW$>Yjb  
    WKB@9Vfju  
    Qx%]u8s  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 r" )zR,  
    •单击Go！ sxBRg=  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     xgQ]#{ tG  
    SjRR8p<   
    q7'[II;  
    TPeBb8v 8D  
    场追迹仿真 ~RS^O poa  
    avI   
    ^68BxYUoD\  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 6opu bI<  
    •单击Go！     Q8sCI An{  
    GOeYw[Vh  
    /^>yDG T,0  
    R.+yVO2  
    场追迹结果（摄像机探测器） ie+746tFW  
     H%\\-Z$#  
    8;r7ksE~  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 $EuWQq7OI2  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 LN?b6s75U  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 ?fXlrJ  
    V^^nJs tV  
    dqvgyyq  
     95G*i;E  
    场追迹结果（电磁场探测器） }nW)+  
    6$JRV  
    /rqaUC)A  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     =>7\s}QZ  
    XS'0fq a  
    .C2.j[>  
    文件信息 #(`@D7S"  
    Y=6b oT  
     ZoiCdXvTN  
    Y}C~&Ph  
     2 #+g4  
    QQ：2987619807 1wqsGad+;  
     
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