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    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 JM M\  
    )~WxNn3rx  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 ]5} =r  
    ZL@7Mr!e  
    fXL$CgXG\x  
    ` !rHH  
    建模任务 !.F`8OD`u  
    v1;`.PWD  
    8rw;Yo<k  
    概观 QPGssQR6  
    s=28.  
    V&qXsyg  
    光线追迹仿真 ?X=9@m  
    u(d>R5}'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 ;B tRDKn  
    C YnBZ  
    •点击Go！ @P)GDB7A  
    •获得3D光线追迹结果。 <6Br]a60RR  
    -BB5bsjA  
     JP[BSmhAV  
    h NP|  
    光线追迹仿真 |~'{ [?a*  
    Oa*/jZjr  
    F!.@1Fi1  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 5vY1 XZt{  
    •单击Go！ fv)-o&Q#  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     l&E-H@Pe  
    /X8b=:h  
    DGp'Xx_8  
    )%)?M *  
    场追迹仿真 V_0e/7}Ya  
    "bC8/^  
    O^ f[ ugs  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 2)mKcUL-  
    •单击Go！     }Z2Y>raA\  
    g pO@xk$  
    KJSN)yn\  
    UD"e:O_  
    场追迹结果（摄像机探测器） #{<Jm?sU  
     lQ)ZsFs=  
    "i9$w\lm  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 pNE!waR>  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。  c~dX8+  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 (}bP`[@rX!  
    ,TP^i 0  
    AvhmN5O =  
     y?Fh%%uNr  
    场追迹结果（电磁场探测器） u9'4q<>&  
    2D&tDX<  
    1jQz%^~  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     A2F+$N  
    V .$<  
    ,7tN&R_  
    文件信息 ~vG~Z*F  
    +-HaYB|p  
     }LQ&AIRN  
    <gJ|Wee  
     U =T[-(:H  
    QQ：2987619807 +5 @8't  
     
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