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    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 B?QIN]  
    y5r4&~04  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 hP h-+Hb  
    "Q<MS'a  
    S/ *E,))m  
    ~u{uZ(~  
    建模任务 OI*H,Z "  
    baasGa3}s  
    |)&%A%m  
    概观 4*L_)z&4;  
    D9df=lv mD  
    _!6jR5&r,  
    光线追迹仿真 J,hCvm  
    ' QG?nu  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 `uFdwO'DD  
    <%d>v-=B  
    •点击Go！ HQ g^ h  
    •获得3D光线追迹结果。 ^~dWU>  
    O^.#d  
     ,}PgOJZ  
    LLo;\WGZ  
    光线追迹仿真 Y73C5.dNcE  
    do%&m]#;  
    EPm/r  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 ok[i<zl; '  
    •单击Go！ .8R@2c`}Cs  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     eDMO]5}Ht  
    i. "v4D  
    rsQtMtS2  
    |=w@H]r  
    场追迹仿真 S!UaH>Rh  
    H)?z #x  
    Wri<h:1  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 )UR7i8]!0  
    •单击Go！     %;_MGae  
    ZH8,K Y"  
     &HW9Jn  
    fl(wV.Je|  
    场追迹结果（摄像机探测器） tYS06P^<  
     Q?vlfZR`8  
    Wc#24:OKe3  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ~a:  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 D^O@'zP=At  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 u[YGm:}  
    %Zi} MPx  
    +rd+0 `}C  
     # ] QZ  
    场追迹结果（电磁场探测器） fex@,I&  
    cr3^6HB  
    py4 h(04u  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     u_enqC3  
    w>gYx(8b  
    N)T}P\l  
    文件信息 ]DcFySyv  
    X8|,   
     0S"MC9beg  
    U/U);frH  
     Dtk=[;"k2a  
    QQ：2987619807 dH!*!r>  
     
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