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    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 }Y`D^z~  
    f:u3fL  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 ~[ZRE @  
    -?}Z0e(w  
    mR3-+dB/  
    1n-+IR"  
    建模任务 @Lk!nP  
    ^=.QQo||B  
    C(!A% >  
    概观 nA4PY]  
    1wTPT,k  
    EgB$y"fs  
    光线追迹仿真 e,8[fp-7  
    Ef2i#BoZ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 T6^ H%;G  
    fMl uVND  
    •点击Go！ +DwE~l  
    •获得3D光线追迹结果。 kPvR ,  
    /]>8V'e\  
     ,C;%AS/  
    #C#*yE  
    光线追迹仿真 ?Jy /]j5fI  
    ,We'A R3X  
    @ CNe)&U  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 0/TP`3$X#"  
    •单击Go！ j[Z<|Da  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     `&w{-om\  
    `x:8m?q05  
    \\9I:-j:p  
    \6L,jSoBl  
    场追迹仿真 :N#8|;J1Fl  
    E E^l w61  
    peD7X:K\s  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 pSKw Xx  
    •单击Go！     $az9Fmta  
    L&LAh&%{2  
    F|bg2)|du8  
    U-:"Wx%G  
    场追迹结果（摄像机探测器） a1 v%G  
     5Ei4$T  
    { YMO8  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 E x )fXQ+  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 Y{D?&x%yq  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 q~6a$8+t  
    8k9Yoht  
    $i;m9_16  
     Ge^(Ag}vE  
    场追迹结果（电磁场探测器） 2e^6Od!Y?  
    S=_*<[W%4  
    0u?Vn N<  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     :3A^5}iz  
    7!PU}[:  
    3 4:Y_*  
    文件信息 Zt ;u8O  
    z*e`2n#\  
     bR*} s/  
    p>h}k_s  
     0WQd#l  
    QQ：2987619807 }ki6(_  
     
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