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    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 }Q\yem  
    pM(y?zGt  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 ]\#RsVX  
    u52; )"&=)  
    t&eD;lg :  
    GExG1n-  
    建模任务 e% 5!  
    1+y&n?  
    XJ?@l3D:  
    概观 TUpEh Q+*  
    ^1*p]j(  
    1"v;w!uh  
    光线追迹仿真 + s[(CI.b  
    5)T{iPU%X  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 ; H:qDBH  
    +S/8{2%?DG  
    •点击Go！ cst=ms  
    •获得3D光线追迹结果。 'kx{0J?  
    /f# rN_4  
     FfD2 &(-R  
    OVj,qL)  
    光线追迹仿真 k?J}-+Bm[|  
    ^xqh!  
    NoKYHN^*w  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 BwEL\*$g  
    •单击Go！ &Q&$J )0  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     .Bi7~*N  
    k?S-peyRO  
    6?,r d   
    IL>g-  
    场追迹仿真 YO,GZD`-o  
    Mm/GI a  
    pn =S%Qf]  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 ^8MgNVoJ)  
    •单击Go！     PMrvUM62  
    eGguq~s`  
    ,%,}[q?]d  
    5@v!wms  
    场追迹结果（摄像机探测器） x`o_&09;CG  
     x1Si&0T0P<  
    i, )kI  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 7 'f>  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 E3gQ`+wNg?  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 l|uN-{ w  
    Y: byb68  
    -7pZRnv  
     L3kms6ch  
    场追迹结果（电磁场探测器） V'6%G:?0a  
    sF<4uy  
    3b[_0  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     u;Z~Px4]v  
    ?VzST }  
    Ur@'X-  
    文件信息 Fh?q;oEj  
     Ng-3|N  
     Z#Zk)  
    $Z;0/\r%  
     9^aMmN&6N2  
    QQ：2987619807 1$ l3-x  
     
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