切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1652阅读
    • 0回复

    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6617
    光币
    27234
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 y}.y,\S0  
    p]atH<^;K  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 -K{\S2  
    }[YcilU_  
    F 5b]/;|  
    Ip1QVND  
    建模任务 w+:+r/!g  
    wpPxEp/  
    n=<q3}1Jej  
    概观 9}7oKlyk  
    y0W`E/1t  
    4kN:=g  
    光线追迹仿真 'Y6(4|w (  
    r)*_,Fo|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 qX}dbuDE"P  
    {RWahnr{  
    •点击Go！ (5CX*)R  
    •获得3D光线追迹结果。 yDl5t-0`  
    3M5=@Fwkr  
     5wVi{P5+  
    #oS  
    光线追迹仿真 `K ~>!d_  
    J[Ylo&w3  
    9 ;! uV>-H  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 U7f#Z  
    •单击Go！ [9##Kb  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     w^vK7Z 1$  
    `jl. f  
    DXw9@b  
    2gNBPd)I  
    场追迹仿真 FL*w(Br.  
    /3bca!O  
    G=0}IPfp  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 8wNU2yH+D  
    •单击Go！     x<j($iv  
    IT{.^rP  
    ui:>eYv  
    R _~m\P  
    场追迹结果（摄像机探测器） +RKE|*y  
     #6#BSZ E  
    Qc)RrqYNGF  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 1Rb<(%   
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 =Am*$wGI  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 %)!~t8To  
    )r-|T&Sn  
    CuGOjQ-k~  
     :7AauoI  
    场追迹结果（电磁场探测器） qhHRR/p  
    B[k+#YYY  
    &bRxy`ZH  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     }<x!95  
    T[2f6[#[_  
    -p]`(S%  
    文件信息 -n$rKEC4  
    gx{~5&1  
     3C5D~9v  
    Yk*57&QI  
     I;fw]/M%!  
    QQ：2987619807 =<27qj  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表