切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1517阅读
    • 0回复

    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6354
    光币
    25915
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 ~'lT8 n_  
    5zBA]1PY  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 ^nNY| *  
    l%2VA  
    aC[G_ACwc  
    3XlQ4  
    建模任务 9SsVJ<9,R  
    B{&W|z{$  
    _">F]ptI;  
    概观 uX_#NP/2  
    g@^y$wt  
    V\zcv@  
    光线追迹仿真 IrL7%?  
    +@?Q"B5u}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 U\lbh;9G  
    %>Gb]dv?  
    •点击Go！ 1ARtFR2C{b  
    •获得3D光线追迹结果。 <8 <P,  
    ,;}   
     ):PN0.H8  
    LRHod1}mS  
    光线追迹仿真 8<; .  
    &*OwoTgk+  
    > Hv9Xz  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 gGvL6Fu  
    •单击Go！ M,JwoKyg  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     =hTJp/L  
    c;]\$#2  
    Jn{)CZ  
    9ia&/BT7"z  
    场追迹仿真 LmJjO:W}^y  
    4ct-K)Ris  
    .\oW@2,RA9  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 <~uzHg%Y  
    •单击Go！     u W,J5!  
    #d %v=.1  
    F}l3\uC]  
    t`Bk2Cc)+  
    场追迹结果（摄像机探测器） y/S3ZJY  
     'Grej8  
    3y.+03 W  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 _UTN4z2aTG  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 }Y7P2W+4?  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 12#yHsk  
    \uHC9}0  
    t8RtJ2;  
     <7`k[~)VB  
    场追迹结果（电磁场探测器） z{3`nd,  
    I@m(}  
    4Mg%}/cC  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     A v>v\ :.>  
    tF,`v{-up  
    iuWUr?`\  
    文件信息 CP9Q|'oJ  
    ^/?7hbr  
     " l|`LjP5M  
    Yz2N(g[  
     O+mEE>:w%  
    QQ：2987619807 x_O:IK.>  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表