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摘要 Wy,DA^\ef gy _86y@ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 hZ.Sj~>7` R)t"`'6|
`pN"T?Pk Lm9y!>1"O 本用例展示了...... XZA3TZ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: nbw&+dcJ8 - 矩形光栅界面 Y*3qH] - 过渡点列表界面 \CB{Ut+s - 锯齿光栅界面 &Hc8u,| - 正弦光栅界面 5SK{^hw •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 r~u/M0h ` ?{$Q'c_I 光栅工具箱初始化 31wact^ •初始化
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w @cAv - 开始 )dG7$,g 光栅 rOB-2@- 通用光栅光路图 8^$}!9B~JZ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 9IMtqL& 可直接选择特定的光路图。 t</rvAH E Wk'KN o
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4cHv]F 18Vtk"j 光栅结构设置 >f19P+ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 4*lShkL
Us M|OH5k •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 tk<dp7y7 •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 KB7CO: 7<AHQ<#@
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]%urL vd SV6p.d •例如,选择第一个界面上的堆栈。 9]VUQl9gh e1S |&W8 堆栈编辑器 IQoz8!guh: •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 X7{ueP#L •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 LS Na WcPDPu~/
OTL=(k kW4/0PD 矩形光栅界面 N/TUcG|m\ $=4T# W=m •一种可能的界面是矩形光栅界面。 utQE$0F •此类界面适用于简单二元结构的配置。 wZh&w<l' •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 <O?iJ=$ •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 bAeC=?U •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Va\dMv-b MJV)|
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w;YTg 5 1@V""m 矩形光栅界面 >,y291p2 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 nyi}~sB •所选界面在视图中以红色突出显示。 )(9>r/bq
a:Y6yg%1> •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 `ndesP •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。
VD;Ot<% cTHS Pr?< •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 I(#Y\>DG •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 =_\5h=`Yx •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 kTAb
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B"e efy65+~GG JWr:/?
&&xBq? "2i{ L ' 矩形光栅界面参数 F.HD;C-;( •矩形光栅界面由以下参数定义 ?!U=S=8 - 狭缝宽度(绝对或相对) =GL}\I - 光栅周期 2xhwi.u - 调制深度 P_B# •可以选择设置横向移位和旋转。 @vss:'l sNc(aGvy
lTvI;zy zIi|z}WJ 高级选项和信息 $\Bzp<SN` •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 81eDN6
M\ •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 dQYb)4ir •可以设置总级次数或衰逝波级次数 --d<s (evanescent orders)。 (8TB*BhQ_ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 {(w/_C9 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 K~H)XJFF PBbJfm G+stt(k: l_hM,]T0 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 T1m"1Q •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 klxVsx%I{G •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 mTz %;+|L •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 '3 w=D
) P9p:x6 mcy\nAf5% Y ( x_bJ 过渡点列表界面 9 [v=` •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 onRxe\?D( •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 jl;_lcO
•同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 y >r7(qg OSQZ5:g| QO0}-wZR 过渡点列表参数 veAg?N<c
p •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 k{;"Aj:iL •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 oGM Ls Oi AZA< b6:A-jb*I 6!dbJ5x1 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ^E\{&ka |