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摘要 4(Ov1a> Oy<5>2^P 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 AK=
h[2( 5Xl/L
\A#1y\ok uch>AuF: 本用例展示了...... Tn eq6> •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: A a=u+ - 矩形光栅界面 t6,wjN-J - 过渡点列表界面 yz-,)GB6 - 锯齿光栅界面 N[<H7_/3 - 正弦光栅界面 B|C/
Rk6? •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 !@x+q)2 2u"7T_"2D 光栅工具箱初始化
U3izvM •初始化 t~e<z81p - 开始 ly4s"4v 光栅 ?;wpd';c 通用光栅光路图 5GA\xM- •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, `C_jP|[e 可直接选择特定的光路图。 K]qM~v<A Fi.aC;sx
&O)&k OdQT2PA_ 光栅结构设置
d\H&dkpH •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 yMZHUd
i\4hR? •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 q;fKcblKj •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 OFGsjYLw FYb34LY
TDg@Tg0 Zes+/.sA}] •例如,选择第一个界面上的堆栈。 2>]a) c(U 堆栈编辑器 $55U+)C< •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 c{>uqPTY •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 )jCo%P/ D?~8za`5
[k[u*5hP|F
mv
atUe 矩形光栅界面 x$wd
O O1D6^3w •一种可能的界面是矩形光栅界面。 xq%{} •此类界面适用于简单二元结构的配置。 !mRx$
%ul •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 v!42DA) •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 R//$r%a •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 !)qQbk ]WUC:6x
=39 ?:VoD 1`LXz3uBe 矩形光栅界面 nRb^<cZf •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 wNNB;n`l •所选界面在视图中以红色突出显示。 )9B:wc"
#5&jt@NS •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 /ahNnCtu?1 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 1|ZhPsD.}g 3L_I[T$s •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 1/ZR*fa •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 #fs|BV
! •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 w?mEuXc 85IMdZ7I (X +s-4% lFUWV)J\
tfkr+
/ #hL*rbpT 矩形光栅界面参数 r]P, 9 •矩形光栅界面由以下参数定义 =q(GHg;' - 狭缝宽度(绝对或相对) ~u&|G$1!0 - 光栅周期 \aP6_g:N} - 调制深度 4'Xgk8) •可以选择设置横向移位和旋转。 s?3i)Ymr RGD]8mw
V&Mf:@y gV U1Y6. 高级选项和信息 i2J q|9,g •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 R4e&^tI@* •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 PoShQR< •可以设置总级次数或衰逝波级次数 =l942p (evanescent orders)。 &hV Zx •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 {13!vS%5 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ekQrW%\3 %*z-PT22 DB`QsiC) ~^N]yb •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 b^`AJK •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 XTqm] •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 :Dl%_l •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 W W "i .~=HgOJ $v}<' fP%Fyg^k 过渡点列表界面 Di=9mHC •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 qJ8-9^E,L •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 |G=[5e^s[ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 BH@b1} > %*B`oqo %*)2s,8 过渡点列表参数 :#="% •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
?RD *1 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 (paf2F`~# V!|e#}1/ ^[->
) oYX{R •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 S|R|]J| •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 ;vO@m!h}U •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 iRV;Fks 3vJ12=
tfiqr|z rhY_|bi4P 高级选项及信息 <9@7,2 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 "S(X[Y' -G ?%QG`v
BSXdvI1y H`<?<ak6'M 正弦光栅界面 C?H{CP •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 pbB2wt •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 _|n=cC4Qu •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: v@T'7?s. - 脊的材料:基板的材料 ,5-Zb3\ - 凹槽材料:光栅前面的材料 RR>G]#k BpT"~4oV5 _J"mR]I+ sp8[cO= 正弦光栅界面参数 {HZS:AV0 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: R40W'N1%q •光栅周期 F+j O*F2h •调制深度 ^!>.97* - 可以选择设置横向移位和旋转。 4DM L - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 jmW^`%;7
\ sf! ~%aJFs irFc}.dI 高级选项和信息 sX'U|)/pD •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 5u pShtC '\4fU%
d)*(KhYie@ GAJ~$AiwHH 高级选项及信息 URw!7bTz •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 +#v4B?NR T0L+z/N_m. E*4t8 锯齿光栅界面 >6K4b/.5w •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 </w7W3F •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 cHn;}l!I •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: S1C^+Sla] - 脊的材料:基板的材料 ~x+Ykq0 - 凹槽材料:光栅前面的材料 T#e4":A&x B/u*<k4
^?Vq L\V5 8dV=1O$/ 锯齿光栅界面参数 oQBiPN+v.3 •锯齿光栅界面也由以下参数定义: !d|8'^gc - 光栅周期 iQj2UTds3 - 调制深度 G"f du(.@ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 zPE#[\O21B •可以选择设置横向移位和旋转。 9d] tjT •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 1HXlHic z6}Pj>1 u
S(@?m$ P7Z<0Dt\} 高级选项和信息 y"Ihr5S\ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 Uk"Y/Ddm E~69^cd 探测器位置的注释 iiehrK&T! 关于探测器位置的注释 !SN WB •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 ox
JGJ •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 b7qnOjC •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 y$v@wb5 •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 P[1m0!,B •可以避免这些干涉效应的不良影响。 >EeAPO4 G/%Ubi6% ,?#*eJD 文件信息 8q{1E];:q I<9n(rA
)j(fWshP mj,qQ=n;p !}j,TPpG QQ:2987619807 eTT^KqE>&
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