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摘要 \z<'6,b =#uXO< 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 `qX'9e3VP+ cITQ,ah
cC>.`1: *}yW8i}36 本用例展示了...... I_N"mnn@Nr •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 0*h\/!e - 矩形光栅界面 2,dGRf - 过渡点列表界面 /I: d<A - 锯齿光栅界面 7CNEP2}:R - 正弦光栅界面 V18w •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 t t#M4n@ T w/CJg
光栅工具箱初始化 ()XL}~I{!A •初始化 UPLr[>Q# - 开始 d4gl V`%. 光栅 Z @j0J[s 通用光栅光路图 {5_*tV<I •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, Hn:%(Rg=aW 可直接选择特定的光路图。 CJ
KFNa 6ffrV
S1zV.] UB?a-jGZK 光栅结构设置 i7*4hYY •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 m<r.sq&;
Z'!jZF~4p •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 <A+Yo3|7 •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 -s4qm)\ 7?B]X%
H@'Y>^z? { 5h6nYu •例如,选择第一个界面上的堆栈。 5(TI2,4 KJJ8P`Kx 堆栈编辑器 mtmtOG_/= •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 !d%OoRSU' •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 kXv
-B-wOj CEZ*a 0}=
!P#lTyz A+:K!|w 矩形光栅界面 LV'v7 2yUH %xkqiI3Ff •一种可能的界面是矩形光栅界面。 v5 $"v?PT •此类界面适用于简单二元结构的配置。 L}x"U9'C •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 8V^gOUF. •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 efRa|7!HK •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 c\"oj&>A zgqe@;{
4ILCvM RG # 矩形光栅界面 )7[>/2aGd •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 o^7}H{AE •所选界面在视图中以红色突出显示。 x~A""*B~
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3y ,* •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 3fn6W)v? •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 ^MDBJ0
I. # 1I<qK •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ($[pCdY •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 \O72PC+ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 js'*:*7 V=\&eS4^" ] E`J5o}op ,7k)cNstW
X -6Se rsy'ZVLUj 矩形光栅界面参数 .\LWV=B •矩形光栅界面由以下参数定义 ,$7LMTVDrE - 狭缝宽度(绝对或相对) 1&U'pp|T - 光栅周期 ]={:VsnL - 调制深度 $Ob]JAf} •可以选择设置横向移位和旋转。 IiS1ubNtZ nEyPNm)
5|wQeosXxI c"77<Db$ 高级选项和信息 C&K%Q3V •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 }a|SgI •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 ~\Fde^1 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 |]Pigi7y- (evanescent orders)。 |&h!#Q{7l •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 IcI y •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 z35n3q }DY^a'wJ- j+PW9>Uh ,|?B5n& •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 !\RR UH* •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 `p*7MZ9- •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ?r2Im5N •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 l4v)tV~ %`-NWAXL +!'6:F J+w"{ O 过渡点列表界面 -P@o>#Em •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 cD-\fRBGK •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 pcoJ\&&W •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 Jel%1'Dc^ |#f
P8OK 6@; w%Ea 过渡点列表参数 z| i$eF;x3 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 @X •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 #^%Rk'W d #y{eV$Q =DGaK0n g6;O)b •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 =+A8s$Pb •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 _av%`bb&z9 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 mzfj!0zR* fb&K.6"
_H<ur?G W5EB+b49KM 高级选项及信息 C Vyq/X •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 `61VP-r #oJ9BgDry
+twJHf_U ;'p X1T 正弦光栅界面 bmzs!fg_~R •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 ^L*:0P~ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 JY_+p9KfyQ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: f*bs{H'5 - 脊的材料:基板的材料 X 4;+` - 凹槽材料:光栅前面的材料
lf[( .'L@$]!G ^h4Q2Mv o [{f{E 正弦光栅界面参数 {SCwi;m - 正弦光栅界面也由以下参数定义: JG0TbM1(Bt •光栅周期 MpGWt# •调制深度 8&3+=<U - 可以选择设置横向移位和旋转。 V~NS<!+q - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 +8mfq\Y1 7?Xfge%\ |JnJ=@-y $ [M8G 高级选项和信息 !NZFo S~ •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 O`rAqO0F q#c\
(LkGBnXE L#m1!+J 高级选项及信息 0waQw7
E •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 Qm^N}>e $*`fn{2 \; $j
"i& 锯齿光栅界面 Mpb|qGi! •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 coyy T •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ^W3xw[{ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: eiJ $}\qJL - 脊的材料:基板的材料 QVQe9{ "0 - 凹槽材料:光栅前面的材料 L&. 9.Ll 7o'kdYJzo
FgKDk!ci G\ru% 锯齿光栅界面参数 - YJ7ne] •锯齿光栅界面也由以下参数定义: Z
r - 光栅周期 gM^ Hs7o, - 调制深度 x_s9DkX •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 NIQNzq?a^ •可以选择设置横向移位和旋转。 w)5eD+n\- •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 3{]csZvW 5ju\!Re3X u\Tq5PYXt u01x}Ff~6 高级选项和信息 qMmh2a& •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 5O]ph[7 118A6qyi 探测器位置的注释 kOs_] 关于探测器位置的注释 P!0uAkt9C •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 v0apEjT •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 l)4KX{Rz{A •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
~%bz2Pd% •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 B24wn8< •可以避免这些干涉效应的不良影响。 j_j~BXhIS (w6 024~ Oz-X}eM 文件信息 ;Ze}i/l .Q>.|mu
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