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摘要 [,^dM:E/ aS vE 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Ij1]GZ`A( e<4z)
a*j <TR #sU~fq 本用例展示了...... h50StZ8Yr •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如:
:XSc#H4 - 矩形光栅界面 es[5B* 5 - 过渡点列表界面 zD^f%p ["# - 锯齿光栅界面 o%%x'uC - 正弦光栅界面 dyzwJ70K •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 OLNn3
J /K) b0QX 光栅工具箱初始化 GB?#1|, •初始化 ^-GX&ODa - 开始 Qz+d[%Q}x 光栅 q7&yb.<KD. 通用光栅光路图 id+m[']+ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, S7ehk*` 可直接选择特定的光路图。 U;{,lS2l eCIRt/ uA
}Tr83B| B"m:<@ " 光栅结构设置 0DB<hpC:5 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 IS2Ij
;b?+:L •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 -\'.JA_ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 X/-KkC (4ci=*3=
kgI=0W> ~,!hE&LE~ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 HwW[M[qA udD*E~1q 堆栈编辑器 h:jI •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 5u)^FIBj •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 A
Ok7G?Y d =(Yl r
s$>m0^ 9Ir~X|}\iL 矩形光栅界面 7lDaok {<}I9D5 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ?PE1aB+{: •此类界面适用于简单二元结构的配置。 e0N=2i?I#z •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 3TiXYH •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 rfXF 01I •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 !qXq
y}?w y:|.m@
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t6bWSz0 c+b:K 矩形光栅界面 )/WA)fWkT •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 ccN &h •所选界面在视图中以红色突出显示。 =!S@tuY
I6hhU;)C •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 _N,KHxsG8B •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 h"BhTx7E} oX2DFgz •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 KSgQ:_u4} •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 [2QY •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 >|_gT%]5 D)*_{
\9>g;qPg} +2V%'{:
UYcyk
$da ]m/@wW9 矩形光栅界面参数 dS3>q<J*a •矩形光栅界面由以下参数定义 do=x9k@Q - 狭缝宽度(绝对或相对) iC\rhHKQ - 光栅周期 ZM-/n> - 调制深度 []=FZ`4 •可以选择设置横向移位和旋转。 )WP]{ W)r %qNj{<&
u]1-h6 1&8j3" 高级选项和信息 2[8fFo> •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 ,<;l"v( •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 %;=IMMK •可以设置总级次数或衰逝波级次数 9{9#AI.G (evanescent orders)。 uGP[l`f|FQ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 %)<oX9E •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 kH>vD =q> c6?c>*z uHUvntr VGTeuu5i •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 7zJrT5 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ]|C_`,ux •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 k Z+ q •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 6:|!1Pg5 PEX26== @sB}q 6> Yn IM- 过渡点列表界面 Q
QsVIHA •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 7GBZA=J •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 nJldz; •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 H7z>S G0 .^[fG59 Pg*?[^* 过渡点列表参数 3D?IG\3 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 nu469 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 XI%RneuDr: RQj`9F m{:" 1] CU#L *kz •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ~4MtDf •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 (B>yaM#5 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 dl*_ m3T ]/aRc=Gn
P|unUW(P 4cXAT9 高级选项及信息 ys&"r":I •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 }"%!(rx %mK3N2N$
['51FulDR ^w;o \G 正弦光栅界面
Z #.GI •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 ql!5m\ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 4 o3)* •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: u4Y6B
]Q - 脊的材料:基板的材料 5z9r S< - 凹槽材料:光栅前面的材料 '`M#UuU fap|SMGt v?Z'[l ?Ia4H 正弦光栅界面参数 +L`V[; - 正弦光栅界面也由以下参数定义: vbr~<JT= •光栅周期 BlkSWW/ •调制深度 Ep^B,;~ - 可以选择设置横向移位和旋转。 (A7T}znG - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 a6;gBoV ]}nu9z< )x$!K[= RtW4n:c 高级选项和信息 r :fwrC •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 &M0o&C-1/ EsT0"{
06PhrPVa!\ C$KaT3I 高级选项及信息 < |