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摘要 r
['zp=9 ^'4I%L" 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 H=*2A!O[_ N`7+]T
xm> y3WC q`HK4~i, 本用例展示了...... t[\6/`YH •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 14p{V}f3 - 矩形光栅界面 -8&P1jrI - 过渡点列表界面 gg$:U - 锯齿光栅界面 OQ4rJ#b - 正弦光栅界面 2Kw i4R •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 4&H&zST//m r,wC5%&Za 光栅工具箱初始化 K#dG'/M|Pb •初始化 Ob|v$C - 开始 ]v0=jm5A 光栅 eyG[1EEU 通用光栅光路图 ^-s`$lTp •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, B'D~Q 可直接选择特定的光路图。 [B%:!Q)@ u\=yY.
l/56;f\IA 6tup^Rlo;$ 光栅结构设置 (_eM:H=e> •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 *r iWrG
(^^}Ke{J •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 D^A#C<Gs •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 >;~ ia3 cd)}a_9
TGI`}# sb</-']a •例如,选择第一个界面上的堆栈。 0#/Pc`zC ;i&t|5y~ 堆栈编辑器 q=+wQ[a< •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 *m`F-J6U •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 =${ImMwj Z xR
LO)p2[5#R d
2z!i^: 矩形光栅界面 6o]>lQ} Fj1'z5$ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 N0UZ%,h\ •此类界面适用于简单二元结构的配置。
u{|^5%) •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 1K[y)q •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 S5wkBdr{ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 j Ysg'Rl 3s Mmg`
%DhLU~VX PfJfa/#pA 矩形光栅界面 iU4Z9z! •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 _&PF (/w •所选界面在视图中以红色突出显示。 5} 1qo7;
tj[-|h •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 CMHg]la •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 0]l9x} t&rr;W] •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 h($Jo •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 #v:A-u •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 )!d_Td\- /UiB1-*b (h%xqXs 910N1E
RzqU`<// N1X;&qZDd 矩形光栅界面参数 Q@.%^1Mp •矩形光栅界面由以下参数定义 #,rP1#? - 狭缝宽度(绝对或相对) p *GAs
C - 光栅周期 ~}s0~j ~ - 调制深度 vXibg •可以选择设置横向移位和旋转。 9,0}}3J @gihIysf
o^<W3Z ~JohcU}d 高级选项和信息 a>Xq •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 I7jIA>ZZi •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 IYB;X •可以设置总级次数或衰逝波级次数 kk+:y{0V (evanescent orders)。 |@* •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 mv1|oFVW •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 F1&7m
)f$l (eO_]<wmky V-zF'KI[ r }Nq"s< •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 EtA ,ow •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 3E:+DF-Z\ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 )-S;j)(+ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 -|_io,eL; [jgC`
Ox+}JB
[ gYfOa`k 过渡点列表界面 -/J2;AkGH •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 T2i\S9X •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 \h7XdmA]~ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 Z%I9:( e}q!m(K]e- a: [m; 过渡点列表参数 j%E9@# •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 v{TISgZ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。
pqxBu 5fud:k +ZeK,Y+Xy {m5R=22^ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 b;t b&o •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 [NguQ]B. •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 )\,hc$<=m r2>y
!Q?
&6@e9ff0 QNCG^ub 高级选项及信息 7\JA8mm •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 X>VxE/ {$^Lb4O[V
wq`\p['Q, wvg>SfV,e 正弦光栅界面 bL18G(5 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 PVUNi: h •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 QzA/HP a •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: h*?/[XY - 脊的材料:基板的材料 Q-Rt - 凹槽材料:光栅前面的材料 Q
OP8{~O n"Q fW~ U 1dX)l d#wK 正弦光栅界面参数 cy4V*zwp - 正弦光栅界面也由以下参数定义: }-ysP$ •光栅周期 3?oj46gP •调制深度 NI%
() - 可以选择设置横向移位和旋转。 O{`r.H1', - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 Bc2PF;n
p(Bn! F6\r"63 7q,M2v; 高级选项和信息 /-jk_8@a •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 =8)q-{p3 )9JuQ_R
B~2\v%J S)d_A 高级选项及信息 9b*1-1" •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 nH]F$'rtA JK9}Kb}; nFfwVqV 锯齿光栅界面 w/m~#`a •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 Gr?[s'Ze •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 1ssEJ;#s •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: h*-j
- 脊的材料:基板的材料 fr<, LC. - 凹槽材料:光栅前面的材料 Dx<CO1%z- d>qxaX;
O<v9i4* RW.
>;|m 锯齿光栅界面参数 y~\K~qjd •锯齿光栅界面也由以下参数定义: (j;6}@ - 光栅周期 ?krgZ;Jj - 调制深度 ~
-hH#5 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 W8
m*co •可以选择设置横向移位和旋转。 .5x+FHu7 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 *m[ow s bqDHLoB\1 -dn\*n5 D>Qc/+ 高级选项和信息 P$= Y 5 •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 cQMb+ Q2Yw icPg<>TQ 探测器位置的注释 :9`T.V<? 关于探测器位置的注释 /hMD
Me •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 /)` kYD6 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 *OQr:e<} •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 D,rs) •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 c{u~=24;%# •可以避免这些干涉效应的不良影响。 z@0*QZ.y1 Ysk,9MR(F H `V3oS~} 文件信息 Gq/f|43}@O n8 eR?'4
'B>%5'SdD C +%&!Q -B-nTS` QQ:2987619807 N}3$1=@Y
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