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摘要 8 r_>t2$ g=I8@m 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Kq i4hK Um&(&?Xf
giz7{Ai |4'Y/re 本用例展示了...... E Cyyl •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: M(/r%-D - 矩形光栅界面 B^g ?=|{ - 过渡点列表界面 c y8;@[#9 - 锯齿光栅界面 D_vbSF) - 正弦光栅界面 yn#X;ja- •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 GvBHd%Ot s6>ZREf#J 光栅工具箱初始化 qvPtyc^fN •初始化 ~6p[El#tS - 开始 hdrm!aBd 光栅 R?]02Q 通用光栅光路图 ynbuN x* •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, >y,-v:Vy 可直接选择特定的光路图。 eH{[C* 7Hs%Cc"
Hw4%uS==V :Y [LN 光栅结构设置 >p"c>V& 8 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 55z]&5N
4ecP*g •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 F]<Xv" •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 EVGt 5z
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$/rP "men •例如,选择第一个界面上的堆栈。 ]UmFhBR- 'ET~ 堆栈编辑器 bD?VU<)3 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 [EKQR>s) •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 ]?(-[ s=;uc]9g
h D/*h*}T> Fx2bwut.K 矩形光栅界面 P09;ng67 -[wGX}} •一种可能的界面是矩形光栅界面。 va0{>Dc+ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 NGbG4-w- •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 bJX)$G •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 Ys\Wj%6A •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ye,>A. N'GeHByIT
}n>p4W"OM c_4[e5z 矩形光栅界面 t&AFUt\c •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 TIQkW, •所选界面在视图中以红色突出显示。 ;;#qmGoE
)!P)U(*v •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 3v1iy/ / •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 *Qg _F6y q!|*oUW •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 zdYy^8V|z •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 ']2E {V •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 Gz,i~XX (pv+c, J1C3&t}
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vH :LQ!2 tp6 3@L|Q 矩形光栅界面参数 ?#}N1k\S •矩形光栅界面由以下参数定义 @`q:IIgW - 狭缝宽度(绝对或相对) x-^`~p - 光栅周期 JvVWG'Z" - 调制深度 qVH1}9_ •可以选择设置横向移位和旋转。 .y!<t} 1;Ou7T9w
tMf}
RBs-_o+ % 高级选项和信息 Y^$X*U/q%U •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 {>hC~L?6 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 J IUx •可以设置总级次数或衰逝波级次数 y1dDO2mA (evanescent orders)。 0jy2H2 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 O$_)G\\\m •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 >\KNM@'KI I ?gSG*m l]Ax : Z tX_R_]v3 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 %A1o.{H •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 '
aq!^!z •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 }dgfqq •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 |$8~?7Jv gG<~-8uQ "s0)rqf< (l^3Z3zf& 过渡点列表界面 49GkPy#]L= •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 TN+iA~kQ •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 J??-j •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 47+&L ,)Me ?!A7rb/tj 过渡点列表参数 a{^m-fSaR" •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 f$e[u
Er •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 6#7Lm) g8 ,':fu \2N!:%k 8 OY 3A •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 *|%@6I( •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 _aGOb;h •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 $PTP/^ l{I6&^!KS
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d=x ,J,/."Y 高级选项及信息 iU$] {c2;A •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 re/@D@% }()5"QB
Ktb\ b w *scVJ 正弦光栅界面 q)X$^oE!6 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 IUE~_7 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 mn, =i •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: gw#5jW\ - 脊的材料:基板的材料 qLn/2 - 凹槽材料:光栅前面的材料 "& ])lz[u .k,1f*% `Nz/Oh7 }Lc-7[/ 正弦光栅界面参数 Y-kt.X/Z- - 正弦光栅界面也由以下参数定义: %HGD;_bhI •光栅周期 UK595n;P •调制深度 LJd5;so- - 可以选择设置横向移位和旋转。 E7t+E)=8 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 FQu8vwV6> o3Yb7h9 wQqb`l7+ Yw4n-0g 高级选项和信息 ?5C!<3gM) •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 f[<m<I nygbt<;?
{P*pkc <;vbsksZeH 高级选项及信息 /1"(cQ%? •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 En~5"yW5>] f!\lg a|%J=k>> 锯齿光栅界面 {IxA)v-` •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 Z,sv9{4r •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 .<jr0,i •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: %-)H^i~]% - 脊的材料:基板的材料 $;1#To - 凹槽材料:光栅前面的材料 'qZW,],5 &~8oQC-eF
9!6f-K kE:nsXI
) 锯齿光栅界面参数 [b6R% •锯齿光栅界面也由以下参数定义: -m)X]]~C - 光栅周期 M9!HQ - 调制深度 C<NLE- •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 .:@Ykdm4I •可以选择设置横向移位和旋转。 W#^2#sjO •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 9{RB{<Se!
3L<wQ( HBy[FYa4 G/b^|;41 高级选项和信息 ~D<IB#C •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 hlV=qfc !Fca~31R' 探测器位置的注释 5*+!+V^?X 关于探测器位置的注释 s8ywKTR- •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 -wp|RD,}( •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。
@OV|]u •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 UYk/v]ZA •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 h}*/Ge]aM •可以避免这些干涉效应的不良影响。 @JtM5qB @LS@cCC,a Z3#P,y9@ 文件信息 5>CEl2mSl 695V3R 7
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,%&e z>XrU>} QQ:2987619807 =:&ly'QB&
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