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摘要 1@nR.v"$ 2Vu|uZd 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 W>DpDrO4ml ap6Vmp
[#9ij3vxd "!Qhk3* 本用例展示了...... T:!sfhrZ~< •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: r
2 - 矩形光栅界面 -I_lCZ{Nbi - 过渡点列表界面 nO|S+S_9 - 锯齿光栅界面 KT g$^"\ - 正弦光栅界面 wyc,Ir •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 *UyV@ ToMX7xz6 光栅工具箱初始化 %*19S.=l •初始化 ASYUKh,h - 开始 Zi[)(agAT 光栅 W#lvH=y 通用光栅光路图 .y\HQ^j •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ,F-tvSc\Q 可直接选择特定的光路图。 ?D\%ZXo Czci6Lz
KqS2 q!H3JL 光栅结构设置 #VO2O0GR •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 .nSupTyG
Ch.T}% •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 9=kTTF s •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 R/Y/#X^b 0}^-, Q,
hx2C<;s4 )-QNWN
H •例如,选择第一个界面上的堆栈。 4KM$QHS5{ &
9]KkY= 堆栈编辑器 Q./lX: •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 {&<}*4D •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 oOL3O@)w> g~y9j88?
n47=eKd70 =3zn
Ta } 矩形光栅界面 a:|4q ;OPCBd r •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ]8_h9ziz •此类界面适用于简单二元结构的配置。 tZ@+18 •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 \G= E%aK •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 Gzir>'d2'V •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 k,@J& )>Q 2G/@
0%qUTGj &S3W/lQs 矩形光栅界面 PPqTmx5S •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 z8j(SI;3 •所选界面在视图中以红色突出显示。 -oZac
}g*-Ty •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 mWusRgj+8 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 y{{EC# vaf9b}FL •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 hY1|qp •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 38m%ifh) •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 YMi(Cyja& _RW[]MN3* 1SFKP$^ 6|KX8\,A@
VBX#
!K1Q N#u8{\ |8] 矩形光栅界面参数 Z M+Hb_6f •矩形光栅界面由以下参数定义 b66X])+4jE - 狭缝宽度(绝对或相对) Y1 P[^ws - 光栅周期 UC1!J
=f - 调制深度 7RP_
^Cr+ •可以选择设置横向移位和旋转。 FqTkUWd,# /SXz_e
nFfCw%T? @:7gHRJ! 高级选项和信息 +^J-'7Vt •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 99 !{[gOv •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 q`aY.dD=O •可以设置总级次数或衰逝波级次数 O8r"M8 (evanescent orders)。 B\_u${C •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 mei_aN7zW •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 &Bn; Vi gx*rSS?=N s\W ;1.>"zX( •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 >fye^Tx •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 |mk}@OEf •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 5b#6 Y •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 V./w06;0 #eC;3Kq#- -L9R&r#_e -WUYE 过渡点列表界面 O|Ic[XfLx •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 cU*lB! •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ,GX~s5S8 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 !/}FPM_ %?f:" *yaX:,'\$ 过渡点列表参数 + |qfgi •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 >J}n@MZ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 {(OIu]: tin|,jA = q{GSsDo-:V sJb)HQ,7x •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 9*KMbd^T •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 )E:,V~< 8 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 v'Vt
.m&9& +oy&OKCa
.H^P2tp @%<?GNS O 高级选项及信息 hoR=%pC* •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 yIIETE `<J#l;y
"W@XP+POAY Yu^H*b 正弦光栅界面 y|.fR>5 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 NGD*ce"w •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 =x^l[>sz •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: MdH97L)L.0 - 脊的材料:基板的材料 tKZ&1E - 凹槽材料:光栅前面的材料
gt_XAH XocsSs |=cCv_y VD24X 正弦光栅界面参数 NQC3!=pQ}Y - 正弦光栅界面也由以下参数定义: [8@kx Cq •光栅周期 90s;/y( •调制深度 RxZm/:yuJ. - 可以选择设置横向移位和旋转。 1s`)yu^`v - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 -2\ZzK0tM 0)AM-/" PXosFz~ 2L2 VVO 高级选项和信息 W7L+8LU; •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 j
u*fyt 1OJ*wI*
~XUOW Y75 $J"%I$%X= 高级选项及信息 w<65S •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 _1sMY hI A XBkJ'jd [5Fd P0 锯齿光栅界面 lc[XFc •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 CE#\Roi x) •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 *bA+]&dj\ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: @P:R~m2 - 脊的材料:基板的材料 )nwZ/&@ - 凹槽材料:光栅前面的材料 h2wN< |