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摘要 ]+FX$+H/A0 =CGD
~p` 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 }q/(D? zmdWVFVv
/1H9z`qV <b3x(/ 本用例展示了...... $)4GCP •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ]9dx3<2_I - 矩形光栅界面 ipgN<|`?@ - 过渡点列表界面 Cbazwq - 锯齿光栅界面 fc[" - 正弦光栅界面 KC#kss •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 cYE./1D a 70d] d+M| 光栅工具箱初始化 5XhK#X%:A •初始化 p3{x <AO/ - 开始 =I
%g;YK 光栅 (X0`1s 通用光栅光路图 6sO •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, Ks9FnDm8 可直接选择特定的光路图。 'nC3:U
#_?426Wfs
M9g~lKs' >Iu]T{QNO 光栅结构设置 s@.`"TF.7 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 )w^GPlh
A%.J%[MVz •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 />2A<{6\=P •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 )er?*^9Z !hwzKm=%N
GMVC&^ G5y]^P •例如,选择第一个界面上的堆栈。 @>qx:jx(-S Tb5$ 堆栈编辑器 *#ob5TBq[ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 -lJx%9> •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 $]Q*E4(kV9 BG(R=,
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e|2vb
GQ 0BbiQXU 矩形光栅界面 &/J.0d-*`` 7.w*+Z>z •一种可能的界面是矩形光栅界面。 _"R3N •此类界面适用于简单二元结构的配置。 4*@G&v?n •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 BXQ\A~P\ •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 L:|X/c9r[ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 h(+m<J R=#q"9qz
_QC?:mv6- U.zRIhA] 矩形光栅界面 B,BOzpb( •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 +cV5h •所选界面在视图中以红色突出显示。 "z{_hp{T^
-D&.)N9ctQ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 }a #b$]Y •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 lOWB^uS%
z&;zU)Jvd •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 =hZ&66 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 kuKnJWv •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ^rxfNcU7 }"g21-T^ 1)P<cNj []6ShcqJ[v
FcA)RsMI* s/W!6JX4 矩形光栅界面参数 }(f.uN_v •矩形光栅界面由以下参数定义 rE
bx%u7Q - 狭缝宽度(绝对或相对) onWYT} c{ - 光栅周期 LP0;n\ - 调制深度 M[`w{A •可以选择设置横向移位和旋转。 Y1yvI 6,V.j>z
a6#{2q yP<:iCY 高级选项和信息 4acP*LkkQ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 A/Fs?m{7U •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 -6em*$k^ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ,\m;DR1 (evanescent orders)。 `ohF?5J, •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 G]m[S- •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ^cPo{xf u$Pf.# i SAidK, l?yZtZ8 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 VAF:Z •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Un8#f+odR •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 NejsI un% •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 DS[l,x YfrTvKX 1S)0
23N $&n240( 过渡点列表界面 w7`@=kVx •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 =JySY@?9 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 _>_ y@-b •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 RB$ 8^# tx|"v|&e2 =xlYQ}-(a 过渡点列表参数 9rf|r
3 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 I")"s •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ?O.6 r" kw-Kx4 ) nkCRe i-"h"nF" •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 YiI:uG!|D •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 *`pec3" •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 e G*s1uQl G(Idiw#WT
:[X}.]" ;t@ 3Go 高级选项及信息 7,&]1+n •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 5f^`4pT :;hBq4h
?+} E 4~pO>6P 正弦光栅界面 ^B"_b?b •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 qdkTg: QJ, •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 g)r,q&* •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 9T0wdK] - 脊的材料:基板的材料 Jk6/i;4| - 凹槽材料:光栅前面的材料 1WA""yb pS|JDMo |)P;%Fy9 as!|8JE` 正弦光栅界面参数 $Bwvw)(% - 正弦光栅界面也由以下参数定义: gQ+_&'C •光栅周期 eQ)ioY •调制深度 ?H7p6mu - 可以选择设置横向移位和旋转。 5-QvQ&eH. - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 0wE8GmG C7*Yg$`{ j"$b%| 0\ytBxL 高级选项和信息 s)7`r6w •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 t;a}p_> HjF'~n
;;"c+ 7[?}kG 高级选项及信息 Y @ ,e •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 v'Py[[R 4#Nd;gM2 cB])A57< 锯齿光栅界面 qpEC!~y •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 7QL) }b.H •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 []fj~hj •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: XuAc3~HAd - 脊的材料:基板的材料 W,oV$ s^ - 凹槽材料:光栅前面的材料 T6?d`i i1 ah@GSu;7
>8HRnCyp/ FUv)<rK 锯齿光栅界面参数 w7ABnX •锯齿光栅界面也由以下参数定义: _q!ck0_ - 光栅周期 ojs/yjvx - 调制深度 d5W[A#} •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 F9G$$%Q-Z •可以选择设置横向移位和旋转。 +z/73s0~ •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 K]azUK7 Erymx$@P 6 VJj(9% Q^5 t]HKn 高级选项和信息 )UU6\2^ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 K0!#l Br `];[T= 探测器位置的注释 / z>8XM& 关于探测器位置的注释 Z"8cGN' •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 k/rkJ|i+p •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 R$'nWzX# •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 "%iR-s_> •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。
!{=%l+^. •可以避免这些干涉效应的不良影响。 o+23?A~+ ~CTRPH 4'eVFu+62 文件信息 "Q!{8 9Y T//+&Sk[
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