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摘要 JK#vkCkyM tvX>{-M 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 dSIH9D K?#]("De6
,jy*1Hjd Ip}Vb6} 本用例展示了...... 4z:#I; •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: rZ_>`}O2 - 矩形光栅界面 oK+
WF - 过渡点列表界面 E?PGu!&u - 锯齿光栅界面 JO@Bf - 正弦光栅界面 )[&_scSa •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Uz%Z&K ? 81X 光栅工具箱初始化 lEPAP|~uw •初始化 [O-sVYB - 开始 d~ng6pA 光栅 vMSW$Bx ; 通用光栅光路图 &jV_"_3n •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, %Hi~aRz 可直接选择特定的光路图。 'ul\Q`N3 l{P\No
DE{h5-g 0MIUI<;j 光栅结构设置 %@ mGK8 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 Jx-wO/
m:`@?n~.. •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 0)uYizJce •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 (L6Cy%KgV }0=<6\+:`
=Pe><k h`MdKX$ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 RE46k`44 KA]*ox6j; 堆栈编辑器 S+x_c4 T •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 sCH)gr@gJ^ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 }4%/pOi:f m8R=?U~!S
Sn3:x5H,l J/D|4fC 矩形光栅界面 g?/XZ5$a5 UWG+#,1J.\ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 00vBpsZj2; •此类界面适用于简单二元结构的配置。 Yq'4e[i •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 FT\?:wpKa •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 y@vj;3: •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ~waNPjPRG #]KgUc5B
K <`>O,
F 8KjRCm,I 矩形光栅界面 7h<> k*E) •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 T|'&K:[TJ •所选界面在视图中以红色突出显示。 gb-{2p>}
gp< =Gmd •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Wr|G:(kw\! •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 A[/I#Im7 A| x:UQlu •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 EZr6oO@Nc •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 cwtD@KC[B •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 2:v <qX |KG&HNfP- 66ohmP@04Z |'hLa
FRyPeZR oNRG25 矩形光栅界面参数 a5wDm •矩形光栅界面由以下参数定义 -Wjh* * - 狭缝宽度(绝对或相对) sk X]8 - 光栅周期 r?p{LF - 调制深度 lH1g[ )) •可以选择设置横向移位和旋转。 h
W.2p+ `^8*<+
$B _Nc*_e ^Vo"fI`=C 高级选项和信息 yFeeG3n3 •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 d/j@_3' •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 E 5kF^P •可以设置总级次数或衰逝波级次数 n9}RW;N+u (evanescent orders)。 h`?k.{})M •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 E <@\>y.[ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 r,'O).7 ,{<Fz% Di.;<v#FL 8M93cyX •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 vl5){@
•层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 t .=Oj •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 1X@b?6 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 YN#XmX% xXOw:A' 7*'@qjTos nPf'ee 过渡点列表界面 fv==Gu%{ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 05)|"EX) •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 M_&4]\PkCy •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 BI/y<6#rR 1ih* gJPpj BJIQ
zn3 过渡点列表参数 IK?]PmN4} •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 _;G=G5r •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 3j&B(aLy jsWX 6(= a|.20w5 6Q$BUL}2? •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 zPBfiK_hV •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 #JS`e_3Rr •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 @XBH.A^7r coAW9=o}
j |td,82. +S0u=u65 高级选项及信息 C1ZyB"{
•同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ZYKd %BICt @E
"WP% REE! y< ud('D 正弦光栅界面 '>]&r |