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摘要 <s9Sx>Zb RL~\/# 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 cK(}B_D$ q
.tVNKy%
_(
w4 \] {AO3o<-h 本用例展示了...... `y;&M8. •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 9=rYzA?)+ - 矩形光栅界面 18}L89S> - 过渡点列表界面 *gMuo6 - 锯齿光栅界面 S? r:=GS - 正弦光栅界面 3 V8SKBS •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 \z:p"eua z x)BG%{h 光栅工具箱初始化 >/6v`
8F •初始化
U^VFHIm - 开始 6:v8J1G(< 光栅 0w< iz;30 通用光栅光路图 k,X)PQc •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, aMm`G}9n 可直接选择特定的光路图。
1ikkm7 $]|_xG-6{
b 7aAP*$ }=?r`J+Ev; 光栅结构设置 5c{=/}Y •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 mrFMdpaHl%
@*is]d+Ya •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 0 v/+%%4} •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 PM9HfQU? hh+GW*'~
QdO$,i' PA`b~Ct •例如,选择第一个界面上的堆栈。 -
CM;sXq (cC5zv*E 堆栈编辑器 m$QFtrvy •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 4z#CkT •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 BzTm[`(h CrS[FM= +W
gJs~kQU ?Z1pPd@ 矩形光栅界面 *'d5~dz= 9nM {x? •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ZJy
D/9y •此类界面适用于简单二元结构的配置。 lba*&j]w= •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 gxU(& •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 k^R>x V
•在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 '?yZ,t q69a-5q
_'2r=a#` :JW~$4 矩形光栅界面 kwWO1=ikz@ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 , LcMNP r •所选界面在视图中以红色突出显示。 S:Yo9~
E+E5`-V •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 -[^wYr= •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 f} Uw%S=w, |7|mnOBdDf •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 QfcW •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 S'ikr •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 '\_ic=&u S1$\D!|1 HK2`.'D $?*+P``
Ls|;gewp ;GH(A=}/Y 矩形光栅界面参数 T,WWQm •矩形光栅界面由以下参数定义 t{?_]2vl - 狭缝宽度(绝对或相对) RL)'m - 光栅周期 _r^&.'q - 调制深度 ^QYI`u` 4 •可以选择设置横向移位和旋转。 ?#FAa, {K[+nX=#
YRC`2)_'
XZKOBq B] 高级选项和信息 G1|
Tu"
•在传播菜单中,有几个高级选项可用。 $1Xg[>1g5 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 .3ic%u;|D •可以设置总级次数或衰逝波级次数 @B&hR} 4 (evanescent orders)。 F},JP'\X •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 #jDO?Y Sa •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 4SG[_:+! 9wtl|s%A% vo0[Z,aH5 v- {kPc=:# •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 gO$!_!@LM •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 !w
C4ei` •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 '}!dRpx •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 Aq";z.gi+ F"0tv$ SKcAZC #p_ ~L4iW 过渡点列表界面 i uN8gHx •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 2V~Yb1P •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 xX|-5cM; •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 yTZbJx?m [q(7Jv ryPz?Aw(4 过渡点列表参数 Kt`0vwkjvI •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 i5_gz> •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 TcGxm7T yq&]>ox H:~LL0Md% kM9E)uT>(< •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 7J')o^MG •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 &}P62& •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 uvm=i . u}ab[$Q5
xQ$*K]VP wk-ziw 高级选项及信息 \wnQ[UNjP •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 g4-HUc zk 1;H(
z{tyB $/pd[ H[{ 正弦光栅界面 `aSz"4Wd •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 & |