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摘要 |SXMu_w IbNTdg]/F` 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 9"u@<] ;@ ! d!&
h0EGhJs ztxQv5=:, 本用例展示了...... PezWc18 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: G5e Ls - 矩形光栅界面 N#6A> - 过渡点列表界面 :J)lC = - 锯齿光栅界面 yK2*~T,6@ - 正弦光栅界面 E'kQ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 N<i Vs A?Hjz%EcW 光栅工具箱初始化 RX<^MzCDV •初始化 (nZ=9+j]d - 开始 NB yN}e 光栅 %A[p!U 通用光栅光路图 =[-- Hf •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, )PZ}^Fa 可直接选择特定的光路图。 XU })3]/ nO7o7bc
qYrGe fkUH]CdaB 光栅结构设置 KD3To% •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 %D6Wlf+^n
#RIfR7`T •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 Z*Hxrw\!0 •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 l8d%hQVqT WBIB'2:m
<!nWiwv >^ 1S26 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 - 5Wt9 :/[ZgreN6 堆栈编辑器 XI(@O) •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 4J$f @6 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 r[4F?W *b l{F\
M&T/vByTn_ ZV^J5wYE 矩形光栅界面 )Is*-
W HNyDWD)_ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 RV*Zi\-X •此类界面适用于简单二元结构的配置。 kb\v}gfiD/ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 .W.U:C1 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 Bw7:ry •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 _SW a3O#' 2EcYO$R!
'\YhRU pXlBKJmW 矩形光栅界面 d7zE8)D U7 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 #]HjP\C •所选界面在视图中以红色突出显示。 nhhJUN?8
<RsKV$Je
I •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 /;$ew~} •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 s1apHwJ - IL"#TKKv •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 o%4+I> •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 +!Ag n) •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 R~(.uV`#j k<hO9;#qpL _[tBLGXD @Od u.F1e
`7n,( XdVC>6 矩形光栅界面参数 rz7b%WY •矩形光栅界面由以下参数定义 r+Cha%&D - 狭缝宽度(绝对或相对) 3A1kH` X^q - 光栅周期 e(5R8ud - 调制深度 PS]XLz •可以选择设置横向移位和旋转。 <W^~Y31:0 9'aR-tFun;
1vd+p!n 8rNxd=! 高级选项和信息 TrAUu`?# •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 (_<n0
•传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 @V u[Tg}J •可以设置总级次数或衰逝波级次数 o>%W7@Pr (evanescent orders)。 Q:|E •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 $MGd>3%y •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 \MPy"uC K_.x(Z(;4 #2=3 0 QKQy)g •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 PxY"{-iAM •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ~!u94_: •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 -fn~y1 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 c+VUk*c3 Jy$-) c6.|; 4 =p:6u_@XWj 过渡点列表界面 d1TG[i<J_ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 $^F2
•此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ]F!,Jx •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 g5`YUr+3?h =*N(8j>y iLei-\w6y 过渡点列表参数 d7Z\ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 mmti3Y •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 g}7%3D :}cAq/ wu3ZSLY &nn": •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 eP8wTStC •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 T%F'4_~No •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 57rP@,vj O,PHAwVG%L
x8t1g,QA 3@ SfCG&|e 高级选项及信息 54-x 14") •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 -)/>qFj) 3dfSu'
A2 rRYzN; ,KWeW^z'7 正弦光栅界面 O1PdM52 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 3/D fsv •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 e5Z\v0 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ,;g:qe3D$ - 脊的材料:基板的材料 TzjZGs W[V - 凹槽材料:光栅前面的材料 OXo-(HLE Vj1AW< $vd._j& AkF3F^ 正弦光栅界面参数 )yJjJ:re - 正弦光栅界面也由以下参数定义: ) PtaX|U •光栅周期 BehV
:M •调制深度 V=U %P[S - 可以选择设置横向移位和旋转。 o3yZC z - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 :Wln$L$ 7G(X:! Nz8iU@!a E[y?\{ 高级选项和信息 94+#6jd e •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 X~0P+E# H]-nm+
Jx_4:G W'[!4RQL 高级选项及信息 hd900LA} •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 z&eJ?wb M30_b8[Y_ ][.1b@)qV 锯齿光栅界面 @{j-B
IRZ0 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。
mJ-@:5 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 .Xr_BJ _ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: U6{ RHS[ - 脊的材料:基板的材料 0\/7[nwS - 凹槽材料:光栅前面的材料 d(&vIjy TYp{nWwi
nV'B!q sM4N`$Is23 锯齿光栅界面参数 U+W8)7bc •锯齿光栅界面也由以下参数定义: #ws6z`mt - 光栅周期 tW(E\#!|p< - 调制深度 ='s2S5#1 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 #SL/Jr
DZ •可以选择设置横向移位和旋转。 t.m
$|M> •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 A!NT 2YdHZ +ISB"a X;- ,3dy g?`w)O7v 高级选项和信息 Dq\#:NnKvx •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 ,L`qV b*,R9 探测器位置的注释 &Zov9o:gx 关于探测器位置的注释 9[:nWp^ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 W2REwUps •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 J9/w_,,R$ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 3b|.L
Jz+ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 ^ K/B[8 •可以避免这些干涉效应的不良影响。 %e_WO,R !\p-|51 F
M`pPx 文件信息 DK:d'zb l.C{Ar
Yd]f}5F L&l>?"_ lVMAab QQ:2987619807 MEg|AhP
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