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摘要 NPL(5@ @4'bI)
yz CQ .[1"3!T 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 .)zX<~, .5;Xd? 建模任务 _7O;ED+ 1ud+~y$K
:UyNa0$l:" 0M'[|cid| 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ huu v`$~y ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 *f? z$46 ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 a*pwVn G9/5KW}- 示例 q Z,7q JMUk=p<\ KVvzVQ1 _msV3JBr 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 #DN5S#Ic ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 %SwN/rna ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 Ls<.&3X2 ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 (&w'"-` v[aFSXGj) 关于z轴旋转的图示 p;GT[Ds^ fcuU,A +EmT+$>J y}fF<qih'> 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 j=%^CRum 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 #q06K2 c\n&Z'vK 指向(关于z轴旋转):0° 6(Qr!< ?HP54G<{xz
"71,vUW PjH[8:,
注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 T[z]~MJL urlwn*!^s 指向(关于z轴旋转): 30° y;!q E~!3 PP{CK4 Y1?"Ut LIo3a38n?y 注意:方向角度的定义为: QW5S=7 ─ 关于界面坐标轴。 !s>AVV$;0 ─ 逆时针方向。 'THcO*< ,_JhvPWR,) 指向(关于z轴旋转): -90° 1N`1~y JQ>GKu~
SNV[KdvP* ,Zpc vK/S 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 4k
HFfc !J5k?J&{= 关于y轴旋转180°示例 cB;:}Q08# <K~> :4c
F/"Q0% (m 0Cox+QJt 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 NF}QQwG3 ^J?ExMu 关于y轴旋转180°(未选中) 7j>NUx=j3 yqy5i{Y
KuU]enC3 lZY0A#
注意: }Htnhom0n 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 kQ,#NR/q6 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: BFU6?\r ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 [j6EzMN ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 W\'njN v^Eg ,&( 关于y轴旋转180(选中) ;XJK*QDN WjyuaAWY
W+A-<Rh\ |H:JwxH 注意: SIJ:[=5!7 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. =!axQ[)A +E8Itb, 例1和例2的附加信息 jV(\]g"/= egBjr?
~?V+^<P QT1(= wK3 文档信息 U
Hej5-B
T 4}SF a@|/D\C q P<n< j@kL`Q\&I VX:15705182053
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