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摘要 N{H#j6QW 2$Umqt
!.{"Ttn;s R>hL.+l. 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 #xh
M&X nT9Hw~f<j 建模任务 n(#[[k9&Ic E&dxM{`
)Lg~2]'?j J"K(nKXO_? 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ QYps5zcn ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 3QCCX$, ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 {hoe^07XK y#FFxSH> 示例 X7txAp. #xw3a<z ?u gI00@p:m q;.LK8M 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 ]fSpG\yU ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 tA^CuJR ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 T0N6k acl ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 )JhB!P( xy]oj 关于z轴旋转的图示 _k#!^AJ}x S8O,{ @w(X}q1 8On MtP 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 n7.85p@ua 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 [U:P&) R`M@;9I.@ 指向(关于z轴旋转):0° : . PRM+ u7
|>b;M,`OO wli H3vA_ 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 |CAMdU /vpwpVHIpG 指向(关于z轴旋转): 30° 6!H,(Z]j xT-`dS0u h)^|VM
x,HD,VQR/ 注意:方向角度的定义为: Zr(eH2}0D ─ 关于界面坐标轴。 >J#/IjCW ─ 逆时针方向。 & jm1 JAy-N bb\ 指向(关于z轴旋转): -90° BS%pS( rONz*ly|i
yq[.
WPve h]/3doP 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 `VF_rC[? YMVmpcz 关于y轴旋转180°示例 sQ+s3x1y
Tj}%G
4'td6F mY]o_\` 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 +No` 89Y Eqi;m,) 关于y轴旋转180°(未选中) 5s@xpWVot F$i 6
n@6vCdk. u8gqWsvruM 注意: s>%.bAxc 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 @d:GtAW 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: Zu4au< ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 @$nh6l>i ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 ^^< C9 MI-S}Qoe 关于y轴旋转180(选中) FAX[|p y}?PyPz
4*inN~cU C-g,uARX(r 注意: Yj'"Wg 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. wd3OuDrU ,3!TyQ\m' 例1和例2的附加信息 nw#AKtd@x PPh<9$1\g
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pIec\a+ {,1>( 文档信息 ))<vCfuz2 %gWQ}QF H[}lzL) %V#MUi1 1 ^30]2'_ VX:15705182053
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