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摘要 'x{g P?. I0P)DR 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 LOpnPH` ]WR+>)ERb EWNh:<F? 2MQgTFM9 1. 建模任务 xOP%SF xu(5U`K <KqZ.7XfB \.2?951} 2. 结果 S-WD?BFC Or=
[2@Wg 5p}Y6Lc\j I]bqle0M D% }?l f@l$52f3D 3. 文件和技术信息 a'U7 t j9u/R01d wx nD3 QCQku\GLV ?r0#{x~ VX:15705182053 V$%%nG uE
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