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摘要 K?zH35f$ E7Y`|nT 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 XoCC/ ,eZ1uBI?
S!3S4:]B^ `P8Vh+7u 1. 建模任务
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P5#r,:zL /s[l-1zW 2. 结果 NX/;+{ \a6^LD}B
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&,FM 6u`)QUmItg 3. 文件和技术信息 }`v~I4i Eg2[k.{P
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