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摘要 q!eE~O;A L ,dh$F 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 7upko9d/ :~vodh
7GYf#} N 2Jd(@DcJ2C 1. 建模任务 {E:` Pc`d]*BYi
:_~.Nt ir_XU/ve 2. 结果 <gkE,e9 ^{4BcM7eH
i}sAF/ -AdDPWn
d+D~NA[M .ybmJU*Hg 3. 文件和技术信息 &*=!B9OBI 6]?mjG6
@MES.g Sfz1p #1DEZ4]jjY VX:15705182053 WiS3W;
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