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摘要 t~M_NEPxV '`"&RuB 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 }mK_d9d x +d96Z^KUhv
K}@:>;*9 PGDlSB^O 1. 建模任务 }Q_i#e(S cPSpPx
w4mL/j N3)EG6vE* 2. 结果 Os;\\~e5 `x3c},'@k
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O!jCQ{ T ,q1RJiR 3. 文件和技术信息 BVDo5^&W ^EZoP:x(oE
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