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摘要 G@]3EP c_J9CKqc 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 @\K[WqF$$q c+Q'4E0|
HIg2y lx)^wAO4 1. 建模任务 iq#{*:1 D6"=2XR4n
J4Gzp~{ s,z~qL6& 2. 结果 >3 o4 U2 M\ATT%b:
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E~!$&9\ 3. 文件和技术信息 i8]EIXbMX &K ~k'P~m
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