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摘要 |K" nSXzk yKy
)%i 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ZW4$Ks2]Y 6F5g2hBz
~C>clkZ l#~pK6@W 1. 建模任务 bFSs{\zE Lp(i&A
v#EFklOP V"B/4v> 2. 结果 "L!U7|9J SLRF\mh!L
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Km,%p@`m M2\c0^R 3. 文件和技术信息 ^$X|Lq P| hwLM
P&Uj?et" "dT"6, V(8,94vm VX:15705182053 =sAU5Ag68
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