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摘要 N?kXATB %p/Qz|W 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 IqfR`iAix 5`^"<wNI
Uk S86`. %a5Sc|&- 1. 建模任务 IB}.J,= PaMi5Pq
0w< iz;30 k,X)PQc 2. 结果 2YuaPq/ 2}[rc%tV:?
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xW/JItF </bWFW~x 3. 文件和技术信息 p&Nw:S 4d!&.Qo9
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