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摘要 m]?Z_*1 +;W%v7%< 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 V,KIi_Z R%.`h c+l1l0BA vYRY?~8 C 1. 建模任务 4.,EKw3 d[t0K] a{ST4d'T Bj7*2} 2. 结果 P8m0]T.&x [WDzaRzd 0$|VkMq( IRg2\Hq =G}a%)?As\ qlcd[Y*B 3. 文件和技术信息 `sm Cfh}j6 b%lB&}uw} \oPe"k= cx:_5GF 0#NMNZ
VX:15705182053 !sX$?P%U
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