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摘要 +ho=0> D1-/#QN$1 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 _J,rql@nG< ?:`sE"
]N]Fb3 Pah@d!%A 1. 建模任务 WcSvw PZ6R+n8
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N#9N ^#1 2. 结果 eC<RM Q4 S>T ;`,
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Ln&~t(7 LWqKSNE; 3. 文件和技术信息 T:kliM"z qB_s<cpn>
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