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摘要 1Sc~Vb|> 4iPua"8 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 L&gEQDPgq| n`I
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5Ret,~Vs9| $85o%siS' 1. 建模任务 iDkWW T=p}By3a
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SON>BSF Q]?J%P. 2. 结果 &LxzAL,3! d[Fr
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BQqpFH9 g7Q*KA+ 3. 文件和技术信息 4[EO[x4C hjp?/i%TQ
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