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摘要 2Roc|)-47 eh5gjSqx 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 'uxX5k/D@t I'0@viF"Nx
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<#KA3o\ 1. 建模任务 qhz]Wm P G"XVn~]
KkE9KwZ]W ez6EjUk 2. 结果 }B.H|*uO x3"#POp
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8zR~d%pK 5EebPXBzB 3. 文件和技术信息 4BKI-;v$ WpRc)g:
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