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摘要 p0tv@8C> z N
t7DK 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 @"~\[z5 ]Yj>~k:K
AH7k|6ku<* w1}[lq@ 1. 建模任务 xv*mK1e .Gv~e!a8
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m!2Dk#t B.WJ6.DkS 3. 文件和技术信息 "/"qg
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