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摘要 QJsud{ada B%.XWW$ 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 fsA-}Qc +&U{>?.u
c`F~vrr)X f&n6;N 1. 建模任务 b<1k$0J6 T%opkyP>=
b8>2Y'X 5bfd8C 2. 结果 zUe)f~4 OYj4G?c
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l6AG!8H !%1=|PX_ 3. 文件和技术信息 'K"7Tex GC<zL}
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