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摘要 &`s{-<t<L nu+^D$ait 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 6Q>:vQ+E 'MX|=K!C
K%L6UQ; vy5Fw&?" 1. 建模任务 ,J+L_S+B~ 4Zu1G#(zP
_kRc"MaB wXp:XZ:]T 2. 结果 Kv!:2br 6
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ct|0zl~ ng|^Zm% 3. 文件和技术信息 ?mC'ZYQI ed5oN^V.<
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