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摘要 @4]{ZUV 6Nt/>[ 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 be$']}cP 4YR{
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$\|Q+ 7lQ /)`]p1c1%w 1. 建模任务 ZX#60o8 i%,
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cBv"d ~ $?dQ^]<, 2. 结果 z^s\&gix zx*D)i5-
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^P*-bV4 29m$S7[ 3. 文件和技术信息 Pn6~66a6 "_&c[VptWi
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