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摘要 (B^rW,V[R LsI8T
uv 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 i<b-$9 VrIR!9%:
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w1`<7L 1. 建模任务 q21l{R{Y 'nT#c[x[0
F+SqJSa PrKH{nyJk 2. 结果 =G9I7Y@ YW2h#PV6_
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,x=S)t ~Jh1$O,9o 3. 文件和技术信息 |kGQ~:k+P srQGqE~
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