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摘要 m-9{@kgAM? t:NTk( 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 b)RU+9x & {E`[`Kf
?n<b:oO vHSX3\( 1. 建模任务 nTxeV% 9SF2
AB<|iJC jq#gFt* 2. 结果 5>+>=)* SRs1t6&y=
C[MZ9r &TYTeJ]
2>BWu d\&{Ev9v 3. 文件和技术信息 KPO?eeT.WZ .U|irDO
8JxJ>I-9p <?UbzT7X ;v%Fw!b032 VX:15705182053 G?$|aQ0j
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