摘要
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A%By^L- (&/4wI^M 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
,&S0/j ,-E'059 设计任务
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NFEr ,n jmaw-Rx 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
K&NH? b5^>QzgD 扫描参数空间以获取初始解
Er~KX3vF H8? Y{H
uZrp ^ %~Rg`+ 初始解#1的参数优化
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g*YA~J@ # M/n\em"X 最终设计#1的性能分析
*(q?O_3,b X coPkW
5yoi;$~}_0 IA.7If&k 初始解#2的参数优化
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B47 I?~{ A~a 3bCX+" 最终设计#1的性能分析
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!Ea! "} q/I( e VirtualLab Fusion一瞥
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7JQ4*RM K\U`gTGc VirtualLab Fusion中的工作流程
i]k)wr( LS<+V+o2% 构建
光栅结构
*m<[ sS ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
oydP}X ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
,>6a)2xh 分析光栅
衍射效率
W9w(a:~hY ─ Grating Order Analyzer
Ah7"qv'L\ 使用参数运算寻找初始解
n)q8y0if ─ Usage of the Parameter Run Document
9 CZ@IFS 使用参数优化确定最终解
aQx6;PC }>BNdm"Er VirtualLab Fusion技术
+CBN[/Z^i :h34mNU
.p e3L7g a}NB6E)- 文件信息
PA,aYg0f MSM8wYcD
V9"R8*@- eUNaq&M QQ:2987619807
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