摘要
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hynX5,p;. RD1N@sHDKc 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
d@u)'AY%/ uOU?-WtPz 设计任务
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H)u<$y!8 YN<:k
Wu 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
1_Ag:>#X ]z{f)`;I 扫描参数空间以获取初始解
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h9J%NH -kZOve|5 初始解#1的参数优化
;uK">L[u' k 6)ThIG
:j=/>d],% sh|@X\EZO 最终设计#1的性能分析
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qDzd_E@aR vi:IO 初始解#2的参数优化
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={GYJ.*Ah rElbzL"&< 最终设计#1的性能分析
>AsrPU[ vXA+4 ?ZG
fQ@k$W\ D-GI rw{>5 VirtualLab Fusion一瞥
a1p}y2 &q?A)R
FN)vFQ#J <+%#xi/_ VirtualLab Fusion中的工作流程
%%=PpKYtSD k;AV'r 构建
光栅结构
`!t+sX-n ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
9*"Ae0ok1 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
E}* 分析光栅
衍射效率
`QIYnokL ─ Grating Order Analyzer
G{8> 使用参数运算寻找初始解
P<1ZpL ─ Usage of the Parameter Run Document
5NT?A,r" 使用参数优化确定最终解
X 9lh@`3 [`u3SN/P VirtualLab Fusion技术
fCq >We:gKxr
>>'t7U## +}u{{ 文件信息
G31??L:< #t^y$9^
ATdK)gG ~gjREl,+D# QQ:2987619807
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