摘要
6!nb)auVi 9zyN8v2
.%rR ttnXEF 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
yFt7fdl2 .;2!c'mT9 设计任务
iV5I =;H'~
v#|c.<]. N:: ;J 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
DVJc-.x8 co3 ,8\N0 扫描参数空间以获取初始解
/aqN` pJz8e&wyLM
mz*z1`\7v\ 8ilbX)O 初始解#1的参数优化
fhmr*E'J }dUC^04
kA4ei 6iG<"{/U5 最终设计#1的性能分析
)^N8L< /09=Tyy/\
>Gu0& L{f>;[FR 初始解#2的参数优化
Wts{tb Wu( 8G
$O'2oeM _,FoXf7 最终设计#1的性能分析
j>xVy]v= | )6&\WNL-x
+{%(_< _oTT3[7P VirtualLab Fusion一瞥
nZCpT
|M5 0 '7s
^P/D8cXa4 hPz
df*(8 VirtualLab Fusion中的工作流程
i4n
b# 0>=) 构建
光栅结构
O&w3@9KJ? ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
|WU`p ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
RYl3txw 分析光栅
衍射效率
i\;&CzC: ─ Grating Order Analyzer
/]zib@i 使用参数运算寻找初始解
_c8.muQ< ─ Usage of the Parameter Run Document
.)>/!|i 使用参数优化确定最终解
Nf 'dT;s.N 0 jP00 VirtualLab Fusion技术
W 8$=a D?}m
h1#
s2?,' es +){a[@S@x 文件信息
i @9Qb V`,[=u?c
v^W?o}W #)A?PO2 QQ:2987619807
9/daRq$