摘要
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Lm0q/d2|\X bIk4?S 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
eSW}H_3 })q8{Qj! 设计任务
9`@}KnvB? &4M,)Q (
!NKPy+v jCg4$),b 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
1pN8,[hyR7 6$csFW3R 扫描参数空间以获取初始解
D6\k}4n- ?8<R)hJa<
uhwCC ZKB27D_vg> 初始解#1的参数优化
nA=E|$1 bZ+Hu~
em ]0^otM N]|)O]/[ 最终设计#1的性能分析
%Rm`YH? :&RpB^]
wqX!7rD/g) =jU#0FAO 初始解#2的参数优化
"9y0]~ -9s&OKo`({
:<1PCX2 5<oV>|*@{ 最终设计#1的性能分析
)Oj{x0{\Q Eqx |k-<a
#g1,U7vv8 RTL@WI VirtualLab Fusion一瞥
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`2HNQiK'@ 8ROZ]Xh,x VirtualLab Fusion中的工作流程
>kDkv g1" .bRDz:?j 构建
光栅结构
LcHe5Bv% ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
$n::w c
─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
- KaU@t 分析光栅
衍射效率
h]o{>
|d9 ─ Grating Order Analyzer
b X/%Q^Y 使用参数运算寻找初始解
V?jot<|$ ─ Usage of the Parameter Run Document
8Tp!b
%2. 使用参数优化确定最终解
M,DwBEF? okbW. ~ VirtualLab Fusion技术
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qtS+01o QU)AgF[ QQ:2987619807
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