摘要
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Wo~vhv$E vIl+#9L0 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
l1U=f] 5}$b0<em~ 设计任务
E37<"(; K_?W\Yg
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iUej ~ 9)"! 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
ps
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#rO8K f 扫描参数空间以获取初始解
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ae"]\a\&1o hQ6a~?f 最终设计#1的性能分析
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