摘要
T:@6(_Z *zrGrk:l
?pW1}:z
7s?#y=M 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
@-dGZ5 *HR
pbe2 设计任务
&S{r;N5u @^UgdD,BS,
z1Ieva] 6~%><C 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
HRyFjAR\? 6^LXctW. 扫描参数空间以获取初始解
&>Ve4!i
q q8d](MaX
kJ5z['4? .8|wc 初始解#1的参数优化
6v3l^~kc' \nEMj,)
tVAo o-% q!:dZES 最终设计#1的性能分析
PG63{ %Z_O\zRqy)
[WR"#y p [C
9g 初始解#2的参数优化
D0jV}oz Q0R05*
W94:% #4bT8kq 最终设计#1的性能分析
ev;&n@k_I F9j@KC(yg
xA
Ez1 ~x,_A>a VirtualLab Fusion一瞥
}?,?2U,8: Ih:Q}V#6
4C3_gm IrL%0&*hS VirtualLab Fusion中的工作流程
_s5^\~ao |iHMAo 构建
光栅结构
Xb%Q%"?~ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
@bA5uY! ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
k4V3.i!E 分析光栅
衍射效率
O"'xAPQW ─ Grating Order Analyzer
dHIk3j-! 使用参数运算寻找初始解
T<0 r, ─ Usage of the Parameter Run Document
&'>m;W 使用参数优化确定最终解
$,~Ily7w G*N[t w VirtualLab Fusion技术
/X_L>or P5?VrZy
I0zx'x)F AZQQge 文件信息
g:fvg!_v CK n2ZL
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|qMG@ QQ:2987619807
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