摘要
"+Xwc+v^ F;`of
BC!l)2 %oC]Rpdu 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
nSgg'I( fs~n{z,ja% 设计任务
Njz,y}\ Es[?yft2Q<
'<6Gz7O * Oyic3F 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
o"QpV
>x C=%go1! $ 扫描参数空间以获取初始解
)p12SGR5 ^vsOlA(4
lKH"PH7*_w Y6^lKw 初始解#1的参数优化
~g>15b3 q w|M~vdm
fIWQ+E z9;vE7n! 最终设计#1的性能分析
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R0*DfJS:Z {&w%3 初始解#2的参数优化
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R!}B^DVt YfF&: "-NU 最终设计#1的性能分析
gEU)UIJ _Y\@{T;^Zb
b^hCm`2w* :qgdn,Me VirtualLab Fusion一瞥
,ulNap"R 90I)"vfW5
EkWe6m N]+x@M @^3 VirtualLab Fusion中的工作流程
n'4D ;4 8a.
|CgI#h 构建
光栅结构
ecf<(Vl} ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
Yn1 U@! ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
!v`q%JW( 分析光栅
衍射效率
NF&\<2kX ─ Grating Order Analyzer
_%i|* 使用参数运算寻找初始解
rYm<U!k ─ Usage of the Parameter Run Document
v6f$N+4c 使用参数优化确定最终解
_eO+O=j_x PMXnupt VirtualLab Fusion技术
4_r8ynq{z |W:kzTT-T
Im6ymaf9 y7,~7f!N2 文件信息
t*.v! o~es>;
9Cf^Q3)5o ]e?*7T] QQ:2987619807
L=HL1Qe$G]