摘要
"IK QFt' ?5%0zMC
Z+mesj?. ^'UJ&UfX 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
3c#CEuu L5E|1T 设计任务
LD'eq\vO '
9K4A'2[
ERql^Yr Lyx \ s; 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
:/Zy=F9: t+R8{9L- 扫描参数空间以获取初始解
S{v [65 i.0}d5Y
N8<Wm>GLX~ sC8C><y
初始解#1的参数优化
I?).D?o ^Fy{Q*p`(
l?+67cQLA MjO.s+I 最终设计#1的性能分析
Vb=Oz :{iS0qJ
?m)3n0Uh <f
l-P 初始解#2的参数优化
ebbC`eFD a88(,:t
@"`J~uK gAy,uP~, 最终设计#1的性能分析
` |p3@e (GLd"Zq
^ Vl{IsY s!\:%N VirtualLab Fusion一瞥
dS7?[[pg9 9-<EeV_/
mk)F3[ke __}j
{Buk VirtualLab Fusion中的工作流程
AE:IXP|c (lDbArqy 构建
光栅结构
~ccwu ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
K._tCB: ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
u$7od$&S 分析光栅
衍射效率
k79"xyXX ─ Grating Order Analyzer
*\?tW]8< 使用参数运算寻找初始解
#q7`"E=M" ─ Usage of the Parameter Run Document
l]BIFZ~ 使用参数优化确定最终解
p[E}:kak_- lyBae?%& VirtualLab Fusion技术
?8cgQf$ }L.xt88
B~/:["zTh& beLT4~Z= 文件信息
MHs2UN
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_]SV@q^ ;\P\0pI50 QQ:2987619807
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