摘要
v`_i1h9p{ T[4[/n>i |`k1zc)9 5v!DYx 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
w$b+R8.n) u1pc5 Y{ 设计任务
/H%<oAjp6 *< $c
= @`IXu$Wm( .o\;,l2 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
(pT(&/\8 /jjW/lr 扫描参数空间以获取初始解
}1a <{& E~<(i': ~}7$uW0ol '&.)T2Kw 初始解#1的参数优化
Qc&-\kQ:$u _uO!N(k. z\Pe{J 2,8/Cb 最终设计#1的性能分析
f%Z;05 TbKP8zw{ ~),;QQ, >bX-!<S 初始解#2的参数优化
k9^+9P^L -~vl+L IFd )OZ5 K9e~Wl<3 最终设计#1的性能分析
o~OwE7H)A [):{5hMA 6?3/Ul} i\kTm?BQZ VirtualLab Fusion一瞥
&\J?[>EJ. <&qpl0U)Y %XEKhy =~GE?}.o VirtualLab Fusion中的工作流程
N_u&3CG QHHW(InG< 构建
光栅结构
Je#!Wd ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
<ICZ"F`S ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
_o@(wGeu# 分析光栅
衍射效率
Fb<n0[m ─ Grating Order Analyzer
g
,/a6M 使用参数运算寻找初始解
[,OJX
N-4s ─ Usage of the Parameter Run Document
,s1&O` 使用参数优化确定最终解
:r1;}hIA9 Qqd6.F VirtualLab Fusion技术
fOa6, T"L0Iy!k; !cq=)xR Zi 2o 文件信息
1*C:hg@ qn2o[x !MZ+- dpK pwJ'3NbS QQ:2987619807
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