摘要
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jqb,^T|j;m 2/B(T5PY@ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
W=I%3F_C"R 0 I;>du 设计任务
g>OGh o k(%RX_]C
7dV^35 KP cpu+"/\ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
"pMXTRb RM%lhDFY 扫描参数空间以获取初始解
"/ @
;6 6<rc]T'|
*DDfdn C[gSiL
初始解#1的参数优化
5>h2WL m='+->O*'l
cf0em! Z# 7HuAF{] 最终设计#1的性能分析
{'>X6: 7@+0E2'
~;bwfp_ mz9Kwxe 初始解#2的参数优化
1D=My1B Q6Jb]>g\H
LT'#0dCC ,,fLK1 最终设计#1的性能分析
Pvbw>k; .!)7x3|$[
HV>|f'45 U?xl%qF`) VirtualLab Fusion一瞥
pSV
8! t@4X(i0
#BT=
K DU}q4u@) VirtualLab Fusion中的工作流程
L d# q' _ 构建
光栅结构
!ZSC" ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
e5veq!*C? ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
&,NHk9.aq 分析光栅
衍射效率
pC#Z]_k ─ Grating Order Analyzer
<@;e N& 使用参数运算寻找初始解
60X B ─ Usage of the Parameter Run Document
}"q1B 使用参数优化确定最终解
w5qhKu!1 u@==Ut VirtualLab Fusion技术
;Y K^&!N e^Jy-?E
9;h1;9sC| -#)xeW.d 文件信息
T3M 4r| @jwUH8g1
(qohb0 r}*2~;:pW QQ:2987619807
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