摘要
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k(,
jfPJ5]Z 0aTbzOn& 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
q4GW=@eD @GZa:( 设计任务
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5rA!VES T fyq]M_5 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
:.[5(' JJ9e{~0I 扫描参数空间以获取初始解
x";.gjI |g a-A+.7
2<o[@w 1X"H6j[w 初始解#1的参数优化
<6b\i5j 8wpwJs&V
G'?f!fz; Ed&,[rC 最终设计#1的性能分析
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ZTo zHoO?tGf
JeTrMa 2 _l!U[{l*d 初始解#2的参数优化
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D*T$ v
,gL)~6!A 最终设计#1的性能分析
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7{+Io E0)mI)RW. VirtualLab Fusion一瞥
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HHF=Q gc2|V6(
?9zoQ[ kk_9G-M VirtualLab Fusion中的工作流程
K jn& &pMlt7 构建
光栅结构
w] 5U ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
COan)<Ku ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
Ro'4/{}+ 分析光栅
衍射效率
i5E:FS^!I ─ Grating Order Analyzer
AYPf)K;% 使用参数运算寻找初始解
d%_78nOh" ─ Usage of the Parameter Run Document
V>>) 7E:Q 使用参数优化确定最终解
h*\TCl) 34m' ]n VirtualLab Fusion技术
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jWv3O&+?X =2g[tsY 文件信息
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