摘要
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v=@y7P1 \lQ3j8U 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
/*y5W-'d^ X3}eq|r9 设计任务
k 3m_L- zfKO)Itd
T<0 r, Kz42AC 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
U)8yd,qG[% j$q5m 24L 扫描参数空间以获取初始解
m:h6J''<Z* BFW b0;+
33DP?nI} -NJpql{Cb 初始解#1的参数优化
o9e8Oj& =Mx"+/Yo*
y-3'qq'E $97O7j@ 最终设计#1的性能分析
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S#M8}+ZD, QZ&(e2z 初始解#2的参数优化
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1+Gq<]@G 3FR(gr$X 最终设计#1的性能分析
c7r(&h wL8ji>"
V#w$|2 |s!
_;6 VirtualLab Fusion一瞥
teS>t!d `TJhH<z"%
] x)>q <u\Hy0g VirtualLab Fusion中的工作流程
mzK0$y#*o D@La-K*5 构建
光栅结构
&"%Ws{Qn] ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
+JtK VF ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
iKaX8c,zI 分析光栅
衍射效率
u"qu!EY2 ─ Grating Order Analyzer
cIw X sx
使用参数运算寻找初始解
sR9$=91` ─ Usage of the Parameter Run Document
CBd%}il 使用参数优化确定最终解
)<V!lsUx'- }9\_s* VirtualLab Fusion技术
Nl YFS?5 h&j2mv(
p"hO6b%V {'4#{zmp 文件信息
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