摘要
y':65NMda PBgU/zVn
cnj32H^+ F-GH?sfvi 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
r\$`e7d}! f'OcW*t 设计任务
6)_h'v<|M ~;0W
+
Jn"ya^~ Z*YS7 ~ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
VUzRA"DP| 9}'92 扫描参数空间以获取初始解
(BIg [I78<IJc
#&ayWef r}-vOPn`E 初始解#1的参数优化
1Sd<cOEd b?k6-r$j
dUkZ_<5'' [E9)Da_)i 最终设计#1的性能分析
Gp2Cwyv UVgDm&FF
#BX}j&h_ o&Y
R\BI/ 初始解#2的参数优化
$'COsiK7 {VKP&{~O
rAS2qt ;I~UQgE6H 最终设计#1的性能分析
o_cAelI[! ,soXX_Y>
)|KZGr oo]g=C$n VirtualLab Fusion一瞥
lhB;jE UH#S |o4
ww)ow\ -+kTw06_C VirtualLab Fusion中的工作流程
n\u3$nGL1` g&X
X@I8+v 构建
光栅结构
r=<1*u ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
Za7!n{?0 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
ET\rd5Po 分析光栅
衍射效率
RM#.-gW ─ Grating Order Analyzer
pXK-,7- 使用参数运算寻找初始解
spTIhZ ─ Usage of the Parameter Run Document
4q\gFFV4 使用参数优化确定最终解
wPaMYxO/ 8^hbS%s! VirtualLab Fusion技术
mg<S7+ '[Bok=$B)
J1Oe`my r_pZK(G% 文件信息
}ssL;q Z%QU5.
E|x t\* {emym$we QQ:2987619807
p`}G"DM