摘要
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^NRf *f`P7q* 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
j0V/\Ep)T< QCE7VV1Rw 设计任务
$(]nl%<Q xIC@$GP
( }Bb=~ W I MBwmg 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
6N5(DD P)J-'2{ 扫描参数空间以获取初始解
hqmE]hwc X;Sb^c"j1
hpPacN +*?l">?|F 初始解#1的参数优化
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2A[hMbL w}zmcO:x 最终设计#1的性能分析
<r$h =hM 0doJF@H
O=(F46 M c@3 5\!9 初始解#2的参数优化
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vZ"gCf3#?3 31a lQ\TH 最终设计#1的性能分析
Zis,%XY emK*g<]
)H{1Xjh- ,f$P[c VirtualLab Fusion一瞥
NR1M W^R k_7b0dr%F
}6/M5zF3 'ET];iZ2 VirtualLab Fusion中的工作流程
Kw"y#Ys] X )tH23 构建
光栅结构
,}gJY^X+ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
bS r"k ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
6AG]7d< 分析光栅
衍射效率
*qy \%A ─ Grating Order Analyzer
#]tDxZ]
6 使用参数运算寻找初始解
C9sU^]#F ─ Usage of the Parameter Run Document
c&',#.9 使用参数优化确定最终解
L'?aoRj ,.cR @5qI VirtualLab Fusion技术
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Cb 文件信息
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