摘要
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HF}%Ow
/02|b}{ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
<jXXj[M2 u|ia 设计任务
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8D[P*?O B*E:?4(<P 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
QbqEe/*$_ }s{RW<A 扫描参数空间以获取初始解
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/\_`Pkd3m :9q=o|T6D 初始解#1的参数优化
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]N}80*Rl U'@eUY(Ov$ 最终设计#1的性能分析
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xJrRJwL (1gfb*L 初始解#2的参数优化
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ZP5.?A-=C }5-^:}gL 最终设计#1的性能分析
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{0F\Y+ Wfgs[ VirtualLab Fusion一瞥
LL@VR#n"V iZ2|/hnw
=FQ]eb* >Du5B&41 VirtualLab Fusion中的工作流程
znv2: bS_fWD- 构建
光栅结构
x0B|CO ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
=7pLU+ u ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
vQ"EI1=7Z 分析光栅
衍射效率
o^%4w>| ─ Grating Order Analyzer
k/hE68<6i 使用参数运算寻找初始解
VqV6)6 ─ Usage of the Parameter Run Document
i&\N_PUm[ 使用参数优化确定最终解
/H&: 0@z=0}0Z VirtualLab Fusion技术
9MA/nybI #R v&b@K
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