摘要
)}R0Y=e b6M[q_
5ta `%R_ pad*oPH, 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
M^Yh|%M bP#:Oi0v` 设计任务
A 'be8 g/_5unI}u
2|y"!JqE1 SR
hiQ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
MKCsv+ 6v!`1}
~ 扫描参数空间以获取初始解
/HEw-M9z UgRiIQMq.
=J==i? Paq4 初始解#1的参数优化
M?49TOQA .LZ?S"z$w
r6Dz;uz bs&43Ae 最终设计#1的性能分析
h4}84}5d ]cvwIc">
]q[D>6_ =*.~BG 初始解#2的参数优化
b_krk\e@S @bLy,Xr&
1~FOgk1; }&D WaO]J7 最终设计#1的性能分析
iVr J Q nF:4}qy\
c#]4awHU CxmKz78 VirtualLab Fusion一瞥
}6~hEc*/" Q\vpqE!9
B mb0cFQ Zl!kJ:0 VirtualLab Fusion中的工作流程
'oVx#w^mf hE/cd1iJ$ 构建
光栅结构
v/plpNVp> ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
H41?/U,{ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
;;t yoh~t 分析光栅
衍射效率
7EEl+;wK ─ Grating Order Analyzer
I
34>X`[o 使用参数运算寻找初始解
(mB&m@-N ─ Usage of the Parameter Run Document
VQ@ 使用参数优化确定最终解
/maJtX' Yh7t"=o VirtualLab Fusion技术
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u#~RkY7s tOD6&< QQ:2987619807
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