摘要
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ek_i{'hFd +eVpMD(
l 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
x Ps&CyI *jqPKK/ 设计任务
$;g%S0:3) !'UsC6Y4
0v,`P4_k 55)ep 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
WA)lk>(+ x,@O:e 扫描参数空间以获取初始解
:EmMia-)J !15@M|,OL
1tK6lrhj ;Ef)7GE@\[ 初始解#1的参数优化
TQyFF/K 9/^Bj
;L/T}!Dx 1OJD\wc 最终设计#1的性能分析
1QdB`8in OYCFx2{
}j5@\c48 A 'P}mrY 初始解#2的参数优化
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.LVOaxT Y)-)NLLG;n 最终设计#1的性能分析
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fn"jYSy "q#kh,-C VirtualLab Fusion一瞥
)SZ,J-H08w "}Sid+)<
-
G2M;]Cn d3q/mg 5a VirtualLab Fusion中的工作流程
&JzF QRc=-Wu_( 构建
光栅结构
;|e 0{Jrz ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
b|C,b"$N0 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
0GLB3I > 分析光栅
衍射效率
J}` $WL: ─ Grating Order Analyzer
7'l{I'Z 使用参数运算寻找初始解
[,V92-s;N ─ Usage of the Parameter Run Document
EYj2h
.k 使用参数优化确定最终解
nJ`a1L{N ?
Gu_UW VirtualLab Fusion技术
2nz'/G lbXkZ ,
p[+me o Yoym5<xE 文件信息
?z36mj"`o 6je%LHhL
Bd]DhPhJ ~k_zMU-1 QQ:2987619807
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