摘要
79G& 0 P\ rhQv,F9
)zYm]\@ {~a+dEz 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Ce-D^9kC (I0QwB 设计任务
,#blY~h8^ p0b MgP
xa]e9u% $5v:z 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
{wy#HYhv /^^wHW: 扫描参数空间以获取初始解
i-E/#zni rFl6xM;F
`zjbyY 'A)r)z{X 初始解#1的参数优化
DB>.Uf" /+g)J0u
KXvBJA$ >xK!J?!K 最终设计#1的性能分析
SM1[)jZ- +L>?kr[i[
h&O8e;S# 2GW.'\D 初始解#2的参数优化
ML-?#jNa< lN,)T%[0-
]O1}q!s
8AQ@?\Rc"2 最终设计#1的性能分析
vzPuk|q3 HI%#S&d
MbJ|6g99 Z`{ZV5 VirtualLab Fusion一瞥
gK+/wTQ% '%\FT-{
'3eL^Aq 2Pz)vnV" VirtualLab Fusion中的工作流程
2uy<wJE> +204.Yj?D 构建
光栅结构
A$;"9F@ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
}[c,/NH ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
@?YO_</ 分析光栅
衍射效率
KE*8Y4#9 ─ Grating Order Analyzer
\\{+t<?J 使用参数运算寻找初始解
:$5$H ─ Usage of the Parameter Run Document
/@`kM'1:
使用参数优化确定最终解
j8|N;;MN
SdM@7%UK VirtualLab Fusion技术
V9cKl[ ObIL w
zEN3Nn.8 bz4TbGg] 文件信息
9fQFsI uE%$<o*#
n,vs(ZL: yK"T5^o QQ:2987619807
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