摘要
?k$'po*Eq l4$Iv:
EE5mVC& 0s!';g Q 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
m[DCA\Mo@ `6xr:s 设计任务
Xe2Zf wl /1~!
Yfr4<;% I7XJPc4} 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
g[Q+DT +3[8EM#g 扫描参数空间以获取初始解
'!<gPAVTzV ;<l#k7 /
t.Yf8Gy } fJLY\ 初始解#1的参数优化
-pW*6??+? nArG
I}@
Ajm4q_ F%IvgXt5 最终设计#1的性能分析
{I8C&GS Y/ I32@
B!1h"K5.($ tID=I0D 初始解#2的参数优化
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nc^DFP ]j0/.pG 最终设计#1的性能分析
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.Ta (v3om% CE @[Z VirtualLab Fusion一瞥
g OK ;EQ7kuJQ?
#z+?t
cH6++r VirtualLab Fusion中的工作流程
GfV#^qi zbI|3 构建
光栅结构
o Vpq*" ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
A(*c|Aj9 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
F:og :[ 分析光栅
衍射效率
!Ahxi);a ─ Grating Order Analyzer
~REfr}0 使用参数运算寻找初始解
<HnpI ─ Usage of the Parameter Run Document
]\y]8v5( 使用参数优化确定最终解
24u_}ZQzY @`qB[<t8:< VirtualLab Fusion技术
/gn!="J szCB}WY
waU2C2!w ~@DdN5 文件信息
<eZ*LK?
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G6dUm_iB qw
03]a QQ:2987619807
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