摘要
SV\x2^Ea0 BgpJ;D+N4
ap6Vmp [#9ij3vxd 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
)E[5lD61 aF;TsB 设计任务
{YGz=5 ^ -I_lCZ{Nbi
nO|S+S_9 KT g$^"\ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
A|>C3S *UyV@ 扫描参数空间以获取初始解
"BVz5? %*19S.=l
+p cj8K% AV2q* 初始解#1的参数优化
W#lvH=y .y\HQ^j
,F-tvSc\Q ?D\%ZXo 最终设计#1的性能分析
Czci6Lz KqS2
x!$,Hcph, 5AjK7[<L 初始解#2的参数优化
.nSupTyG Ch.T}%
9=kTTF s R/Y/#X^b 最终设计#1的性能分析
MV/~Rmd. hx2C<;s4
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H 4KM$QHS5{ VirtualLab Fusion一瞥
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kK1qFe?] ~NcJLU!au VirtualLab Fusion中的工作流程
(jm.vL&5j Z~,.l
构建
光栅结构
G4{qWa/ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
<eh(~ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
K?;p: 分析光栅
衍射效率
aEk*-v#{ ─ Grating Order Analyzer
GY",AL8f 使用参数运算寻找初始解
w7Pe<vT ─ Usage of the Parameter Run Document
F889JSZ% 使用参数优化确定最终解
N*SgP@Bt Xou#38&p> VirtualLab Fusion技术
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(k5DbP[ "~(&5M\8` 文件信息
R|CY4G
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