摘要
@ws&W=NQ $\/i t
Z7wl~Hk %nJo:/ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
0%xb):Ctw o0AT&<K 设计任务
<uU<qO;6 'xd8rN%T
FVNTE+LW WBKf)A^S 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
b1^wK"# zw'%n+5m 扫描参数空间以获取初始解
r5[pT(XT] RKrNmD*rk*
IqlCl>_j ZxOo&YR3 初始解#1的参数优化
\ v+>qY<q L~/L<M s
6yYjZ< v`L]dY4, 最终设计#1的性能分析
lA4-ZQ2Zp[ f5M;q;
Slo^tqbG ObZhQ.& 初始解#2的参数优化
wIAH,3! yQ^, >eh
5'DY)s-K zrSYLG 最终设计#1的性能分析
|d~'X%b% 3 ;" [WOv
k8J zey]X 3H<%\SYp VirtualLab Fusion一瞥
4V{&[ Z _'G'>X>}WU
R<I#.
KD 6d5J*y2 VirtualLab Fusion中的工作流程
H;<>uELie K@:omT 构建
光栅结构
qGhg?u"n: ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
MBjAe!,- ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
xR$T/] / 分析光栅
衍射效率
`<~=6H ─ Grating Order Analyzer
Vp1ct06^ 使用参数运算寻找初始解
fUCjC*#1 ─ Usage of the Parameter Run Document
QEut@L 使用参数优化确定最终解
)2l @%?9 T(Yp90'6 VirtualLab Fusion技术
7f
k)a I0H]s/*C%9
}=\?]9` [aA@V0l 文件信息
mT -[I<
w
oIZFus
/TPtPq<7:# Id`V`|q QQ:2987619807
~Gh7i>n*