摘要
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ol }`Wwy %I0}4$ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
cWM: YXRjx.srf 设计任务
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z37Z%^ &(7$&Q 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Why"G1` D J_DonO] 扫描参数空间以获取初始解
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NNp}|a9 Y;eoTJ 初始解#1的参数优化
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u2Ny&6w }*Zo6{B- 最终设计#1的性能分析
.1{l[[= W K~3Ebr
XWXr0>!,? z7k$0& 初始解#2的参数优化
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O5OXw] (Vap7.6;_ 最终设计#1的性能分析
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Vd<K4Tk t)'dF*L VirtualLab Fusion一瞥
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4m\([EO Ro~fvL~Ps VirtualLab Fusion中的工作流程
y@aKNWy}$ v#F-<?Vv 构建
光栅结构
ll2Vk*xs ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
Man^<T%F ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
Khap9a_q- 分析光栅
衍射效率
0R4akLW0 ─ Grating Order Analyzer
bQj`g2eyM 使用参数运算寻找初始解
.l=p[BI ─ Usage of the Parameter Run Document
C=yD3mVz 使用参数优化确定最终解
:*cHA Y$+QNi VirtualLab Fusion技术
eo ?Oir) gb(#DbI
XR+rT "/!'9na{QL 文件信息
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ftaBilkjp ydup)[n QQ:2987619807
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