摘要
S&[9Vb }F9#3W&`c b"trg {e P&:[pPG 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
TOa6sB!H KC(z TY 设计任务
rL+.3ZO):P @;hdZLG]`& L5|g\Y` fshG ~L7S9 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Y8lZ]IB
9Nv?j=*$ 扫描参数空间以获取初始解
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~n5wQG &?xmu204 Gp)J[8j ?0JNaf 初始解#1的参数优化
x`I Wo:j "VoufXM: >O~V#1 H CS-jDok 最终设计#1的性能分析
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6m2R .O#7X OqF8KJnO; Sx0{]1J 初始解#2的参数优化
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}5M?{ BYa#<jXtAT k:@N6K/$P^ 最终设计#1的性能分析
u.?jW vcv O2 + K .J+F
HG' i`vy<Dvpz VirtualLab Fusion一瞥
w5/6+@} >@4AxV\ cF9oo%3 lHTr7uF( VirtualLab Fusion中的工作流程
}ALli0n`V) FDGG$z?>m 构建
光栅结构
tuuwoiQ*` ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
TGPZUyi3!= ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
0E
(G1o' 分析光栅
衍射效率
YH^@8
─ Grating Order Analyzer
KQw>6) 使用参数运算寻找初始解
=d:3]M^ ─ Usage of the Parameter Run Document
E m +&I 使用参数优化确定最终解
pm:- E(3# B8.}9 VirtualLab Fusion技术
|m@>AbR5dk kDM?`(r aU[!*n 4Ux D+~*nc ~
g 文件信息
8]1,E E< ^~@3X[No 6uUn qZ@d:u QQ:2987619807
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