摘要
^oYudb^% eGr;P aG
K|^'`FpPO f tE2@} 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
io^L[ (W'.vEl 设计任务
L^><APlX dw"{inMf
lU&[){ e|2@z-Sp- 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
~+OAAkJ9 ?Q#yf8 扫描参数空间以获取初始解
3d81]!n 9Impp5`/B
YOE!+MiO 6L}}3b h 初始解#1的参数优化
S#{gCc `j)S7KN
Fx6]x$3 O4lHR6M2 最终设计#1的性能分析
E=eK(t(8 yNU.<d 5
{>rGe#Vu Al-;-t#Dc 初始解#2的参数优化
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%3;vDB*L$ 5%)<e- 最终设计#1的性能分析
sjIUW$ bpp{Z1/4
tkjQSz Z(c3GmY VirtualLab Fusion一瞥
F(}~~EtPHo 43m@4Yb
OPe3p {] TG^?J` VirtualLab Fusion中的工作流程
l\t\DX"s_ YDxEWK< 构建
光栅结构
0+dc ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
wY'w'%A? ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
kfj)`x 分析光栅
衍射效率
aP&bW))CI ─ Grating Order Analyzer
%<]4]h 使用参数运算寻找初始解
[@;q#.}Z ─ Usage of the Parameter Run Document
l.nd Wv 使用参数优化确定最终解
{i#z<ttu hteAuz4H VirtualLab Fusion技术
w_ONy9 HzQY\Y6
0ub0[A {'@`:p&3r 文件信息
Qo$j'|lD Mv?$zV"`#
ic;M=dsh: Cno+rmsfT QQ:2987619807
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