摘要
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Dk+&X-]6x5 kl"+YF5/ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
S a4W` =56T{N 设计任务
?%VI{[y#> M;0]u.D*=
yA)(*PFz >yXN,5d[ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
UG'bOF4 zNY)' 扫描参数空间以获取初始解
`xz<>g9e TZtjbD>B
}BiiE%a L:(1ZS 初始解#1的参数优化
_DrJVC~6@ K"uNxZ
0QvT {CR 5K9 最终设计#1的性能分析
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XxDaz1 U~W?s(Cy% 初始解#2的参数优化
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/B5-Fx7j3 J*l4|^i< 最终设计#1的性能分析
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0<PR+Iv*i >|6iR%"f# VirtualLab Fusion一瞥
f30Pi1/h=c n!6Z]\8~$
hLDA]s rCS#{x VirtualLab Fusion中的工作流程
.>wv\i[p DAg58
=qJ 构建
光栅结构
MG /,== ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
BSq)RV/3 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
+fx8muz:y 分析光栅
衍射效率
(Y+N@d ─ Grating Order Analyzer
bln/1iS 使用参数运算寻找初始解
<*t4D-os ─ Usage of the Parameter Run Document
pq:7F 使用参数优化确定最终解
@$"L:1_ 4d_s%n?C VirtualLab Fusion技术
AH4EtZC=W oo=#XZkk
QRLJ_W^&u x f4{r+ 文件信息
tA$)cg+. DMF
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KluA -
}!H3]tr QQ:2987619807
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