摘要
q }9n. {?IUf~<
M3)Id?|]6 +2s][^-KV 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
.8CfCRq ~~WX#Od*$ 设计任务
@Z9>E+udQ <>=abgg
6wyhL-{: @#5?tk0 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
k@2@%02o9C jouT9~[L' 扫描参数空间以获取初始解
T@N)BfkB
FzFP 0
hB]<li)"C ery{>|k 初始解#1的参数优化
X,+N/nku ,aSK L1
BOW`{= !f8]gT zN 最终设计#1的性能分析
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J72U I%ZSh]On
G\S_e7$/ Dt+uf5o( 初始解#2的参数优化
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ZL- ` 3x s#)tiCSVW 最终设计#1的性能分析
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AaJnRtBS~ VirtualLab Fusion一瞥
T:EUI] %@[ ~s,6<
_VAX~Y] 1VO>Bh.Wm VirtualLab Fusion中的工作流程
-gLU>I7wV TZS:(MJ9M 构建
光栅结构
)'t&LWS~ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
i.>d#S ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
=:v5`
: 分析光栅
衍射效率
C]%}L%, ─ Grating Order Analyzer
$PKUcT0N9 使用参数运算寻找初始解
hc5iIJ] ─ Usage of the Parameter Run Document
j2,w1f}T 使用参数优化确定最终解
*Y9' tHI KH76Vts VirtualLab Fusion技术
[%BWCd8Q~P i@spd5.
#jR1ti)p Ng<oz*>U 文件信息
{}v<2bS _,]@xFCOH
\"hP*DJ" G_n~1? QQ:2987619807
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