摘要
m`xYd l`X?C~JhJ
)`W|J%w+ =)iAU/*N 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
`GY]JVW `W1TqA 设计任务
{Ngut 4 s9^%K\8{
e&[~}f? aDLlL?r3 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
,PKUgL}w i"DyXIrk2 扫描参数空间以获取初始解
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E2.!|u2 H#nJWe_9A 初始解#1的参数优化
md\Vw?PkU mB
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Yyw3+3 JH2-' 最终设计#1的性能分析
mmNn,>AO! I>-1kFma;
*|L;&XM&/ Ib/e\+H\ 初始解#2的参数优化
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最终设计#1的性能分析
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=|^R<#%/ a`C2:Z23(# VirtualLab Fusion一瞥
cvtn,Ml6 Yfz`or\@=
{p(6bsn_#] !\Xrl) $j{ VirtualLab Fusion中的工作流程
SU~ljAF4 k$7Kz" 构建
光栅结构
l?^}n(_. ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
{
"f}
}}l ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
| NFDrm 分析光栅
衍射效率
f/,8sGkX; ─ Grating Order Analyzer
3
}#rg 使用参数运算寻找初始解
mGw*6kOIS ─ Usage of the Parameter Run Document
kp)1s>c 使用参数优化确定最终解
a72L%oJ ;_=dB[M VirtualLab Fusion技术
7$"5qJ{ s ZNDjk
3JF" O+@ `yRt?UQRS 文件信息
9m%+ 6#| ZJjm r,1
s|:j~>53 _znn `_N:v QQ:2987619807
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