摘要
w#sP5qKv8 fa/p
$bk_%R}s uVw|jj 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
iz`ys.Fu l-'\E6grdH 设计任务
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OJLyqncw mldY/;-H!1 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
_b[Pk;8}j; R1:7]z0B 扫描参数空间以获取初始解
WjBtL52 )Mw 3ZE92
V##T G0 8WG_4e 初始解#1的参数优化
T(*A0 #XAH`L\
y)`q% J& mgBxcmv 最终设计#1的性能分析
x=44ITe1n[ i]zTY\gw8M
[\"<=lb` /<IXCM. 初始解#2的参数优化
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'/F~vSQsR bj+foNvu\ 最终设计#1的性能分析
zvbz3 a h56s ~(?O
X^.~f+d~ '\LU 8VC VirtualLab Fusion一瞥
&. "ltB 1++ Fs
S!~p/bB[+I bY=Yb VirtualLab Fusion中的工作流程
~*G}+Ur$2 8EZ,hY^ 构建
光栅结构
?*U:=| ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
?h ym~, ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
G)7J$4R 分析光栅
衍射效率
ch0x*[N@ ─ Grating Order Analyzer
1.z !u%2 使用参数运算寻找初始解
SQf.R%cg$ ─ Usage of the Parameter Run Document
N_y#Y{c{( 使用参数优化确定最终解
c *Pt;m 7Y*Q)DDy VirtualLab Fusion技术
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