摘要
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0_izTke (I
g
*iJ%2 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
)+R3C% @cNI|T 设计任务
!Xce iQu ^@eCT}p{
WG4|Jf Y -W vAmi 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
^>uGbhBp 5OE?;PJ( 扫描参数空间以获取初始解
THZ3%o=X Q&{5.}L
y+h=x4t gRSG[GMV 初始解#1的参数优化
"$9ZkADO ]z NL+]1_
Fd'L:A~ d^>s e'ya 最终设计#1的性能分析
AP@d2{"m} )~ kb7rfl
A(5?
ci (avaTUMOqy 初始解#2的参数优化
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_95tgJ y qxh\umm+2 最终设计#1的性能分析
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.quc i(D E>v~B;@ VirtualLab Fusion一瞥
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}o.ZCACYg Dr609(zg^ VirtualLab Fusion中的工作流程
Joj8' /8R1$7 构建
光栅结构
/@e\I0P^ ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
C: cu1Y9 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
V;=T~K|)> 分析光栅
衍射效率
I+SL0 ─ Grating Order Analyzer
]2'~e,"O 使用参数运算寻找初始解
M"V@>E\L ─ Usage of the Parameter Run Document
X:5*LB\/v 使用参数优化确定最终解
!JA63 !bg3 VirtualLab Fusion技术
C+j+q648> 6(=:j"w0
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