摘要
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O9F#gO|! PSa"u5 O 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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:_ 设计任务
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r= Fr9_!f
{4b8s%:!4 &qZ:"k 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
)>a^%V9 mC84fss 扫描参数空间以获取初始解
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初始解#1的参数优化
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%:[Y/K- Mhg_z.Z 最终设计#1的性能分析
>HQ<KFA (+0yZ7AZ
7(KVA1P66 >]WQ1E[= 初始解#2的参数优化
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.N\/ `<d{(9:+ 最终设计#1的性能分析
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0"$'1g^]7 I ?i,21:5 VirtualLab Fusion一瞥
KR/SMwy CEp @-R
$9O%,U@ +W9#^ VirtualLab Fusion中的工作流程
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^"|: qluaop 构建
光栅结构
qW:\6aEG ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
qct:xviH<| ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
1]Gp\P} 分析光栅
衍射效率
_ ?Z :m ─ Grating Order Analyzer
I%31MU9 使用参数运算寻找初始解
~gvw6e*[ ─ Usage of the Parameter Run Document
?]u=5gqUU 使用参数优化确定最终解
%1VfTr5 -dsE9)&8DX VirtualLab Fusion技术
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6)~J5Fb 9q!./) 文件信息
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Gfn?1Kt{ 3F6=/ QQ:2987619807
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