摘要
@F<{/|P f47]gtB-
~{/M_
= n?EgC8b9 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
5;/n`Bd 7z4k5d<^_ 设计任务
pY"WW0p"C c a_mift
iQgg[
) ][$I~nRf 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
4=([v;fc 2F:qaz 扫描参数空间以获取初始解
3Tl<ST\ #{q.s[g*+1
.C%
28fH n^4R]9U 初始解#1的参数优化
SV>tw`2 &W@2n&U.q
."$t&[;s ]$@a.#} 最终设计#1的性能分析
Food<(!.> \;X7DK2
p@Y=6 Bw bqcCA91 初始解#2的参数优化
k XSX<b <% .T'@P7Hdx
h3CA,$HJ ]
4dl6T 最终设计#1的性能分析
WTfjn|a )\akIA
G\@pg;0|y 0B`X056|"| VirtualLab Fusion一瞥
dz_S6o ] @sXv5kZ:
:>1nkm&Eg }D#:NlMp VirtualLab Fusion中的工作流程
gg/`{ e}UQN:1 构建
光栅结构
yH/A9L,Z ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
``-N2U5 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
o!M8V ^vW 分析光栅
衍射效率
[8iY0m_Qe ─ Grating Order Analyzer
)E}v~GW.+ 使用参数运算寻找初始解
+=3=% %?C ─ Usage of the Parameter Run Document
]q]xU, 使用参数优化确定最终解
KNVu[P)rv nuce(R VirtualLab Fusion技术
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yKc-:IBb{u f>N DtG.6 文件信息
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