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摘 要 nKI?Sc TefPxvd 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 oMOh4NH,x PzhC *" i} 建模任务 SMfa(+V I 7@m+y
)_?h;wh 84 wm9wnAy 倾斜平面下的观测条纹 %?[0G,JG /FC(d5I
TmM~uc7mj 7r.~L 圆柱面下的观测条纹 m}S}fH( mZuLwd$0
"/2kf)l{4 L{&=SR. 球面下的观测条纹 #\ysn|!J, &] xtx>qg< A..`?oGj j%J>LeTca VirtualLab Fusion 视窗 Ww#!-,*]o 6UL9+9[C UnEgsfN ]!a?Lr VirtualLab Fusion 流程 ]&`=p{Z bD|VT
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