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摘 要 i|^6s87"N2 fO>~V1 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 |pR$' HO $@kw>2 建模任务 U9 *2< c 2oG|l!C
XE*bRTEw !VZj!\I 倾斜平面下的观测条纹 CM1a<bV< gu[dw3L
+:%FJCOT r&sOM_BUF 圆柱面下的观测条纹 lh_zZ!)g "'B%.a#k
9%14k =+S3S{\CK 球面下的观测条纹 \=_q{ a[g|APZz D#1~]d =Zy!',,d,9 VirtualLab Fusion 视窗 oD@jtd>b% i(iP}:3 :&)/vq Pm(:M:a VirtualLab Fusion 流程 (x0*(*A} `j}d=zZ
DF|s,J`98
r;X0B VirtualLab Fusion 技术 _C,@eu"9V ;OU>AnWr(&
8Vhck-wF AWXpA1( 文件信息 xevP2pYG: A'QGTT
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