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摘 要 -yP|CZM '99rXw 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 v3p0 O]-)?y/ 建模任务 M]Kxg; DpRGPs
l|kGp~ <?2g\+{s9 倾斜平面下的观测条纹 1>c^-"#e^ Vn=K5nm
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E] 圆柱面下的观测条纹 {6I)6}w!k q1a*6*YB
ut*sx9l /` ;rlH* 球面下的观测条纹 WMw|lV r (]@yDb4 @u>:(9bp e,?qwZK:y VirtualLab Fusion 视窗 htuYctu` 7Dt*++: op2<~v0? .5^7Jwh VirtualLab Fusion 流程 kC_Kb&Q0 M?S&@\}c
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