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摘 要 /.ZaE+ /co%:}ln 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 l\aUresm "_)|8|gN 建模任务 RZ6~c{ ADBpX>
F@<MT<TRf ;IhPvff 倾斜平面下的观测条纹 3ZN>9` #~e9h9
)Pa*+ew7 Lh!z>IWjOG 圆柱面下的观测条纹 4?]ZV_BD \_>?V5(
j0?>w{e s!`H 球面下的观测条纹 E0jUewG MCd F!{ xN"wF-s4? `oPLl0 VirtualLab Fusion 视窗 O\JD, w cuMc*i$w! :p$EiR nrbazyKm VirtualLab Fusion 流程 bQV("~# *I/A,#4r
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P~d:'Ib z+Z%H#9e VirtualLab Fusion 技术 Z fqQ{_ c.-cpFk^L&
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