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[论文]应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计 [复制链接]

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离线gangzi0801

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2020-08-05

关键词：投影光刻离轴照明自由曲面

摘要：离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求，提出了一种利用自由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系，利用数值求解法得出自相应的折射式自由曲面并对结果进行模拟，分别设计了环形、二极和四极照明，照明效率均达到90%以上，照明均匀性均优于93%。结果表明，可以满足193nm投影光刻照明系统的设计要求。

关键词：光学设计；自由曲面；投影光刻；分辨率增强；照明；光束整形

附件:

应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计.rar (1524 K) 下载次数:88 ，售价:2光币[记录]

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2020-08-05

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离线ttb2016

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只看该作者 1楼发表于: 2020-08-05

感谢分享！

离线anti

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只看该作者 2楼发表于: 2020-08-09

谢谢楼主分享，最近在设计光固化光路，很值得学习

离线sgq123

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只看该作者 3楼发表于: 2020-09-22

谢谢楼主分享，，很值得学习

离线chenfeng1205

助理工程师

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只看该作者 4楼发表于: 2020-11-09

学习学习

离线果冻ssr

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只看该作者 5楼发表于: 2020-11-10

自由曲面资料太少了

离线火车污污

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只看该作者 6楼发表于: 2020-12-28

谢谢分享

离线daxingyang

助理工程师

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只看该作者 7楼发表于: 2021-01-26

光行天下的干货是越来越多了

离线阿伟不熬夜

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只看该作者 8楼发表于: 2021-10-21

数值求解方法和种子曲线扩展方法，两者有什么区别呢

离线煮酒品春秋

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只看该作者 9楼发表于: 2023-01-13

谢谢楼主分享

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