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[论文]应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计 [复制链接]

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离线gangzi0801

技术专家

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2020-08-05

关键词：投影光刻离轴照明自由曲面

摘要：离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求，提出了一种利用自由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系，利用数值求解法得出自相应的折射式自由曲面并对结果进行模拟，分别设计了环形、二极和四极照明，照明效率均达到90%以上，照明均匀性均优于93%。结果表明，可以满足193nm投影光刻照明系统的设计要求。

关键词：光学设计；自由曲面；投影光刻；分辨率增强；照明；光束整形

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